什么是“全氟化碳”
相对分子量88.00。在常温下，全氟化碳是无色、无臭、不燃的易压缩性气体，挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一，不易溶于水。在900℃时，不与铜、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%（重量比），然而与可燃性气体燃烧时，会分解产生有毒氟化物。
基本信息：
中文名称
四氟甲烷
中文别名
四氟化碳
英文名称
tetrafluoromethane
英文别名
CARBON
TETRAFLUORIDETetrafluorocarbonRefrigerant
14perfluorocarbonPerfluoromethaneFreon
14Halon
14Tetrafluor-methanCarbon
fluorideFluorocarbon
14TetrafluorkohlenstoffMethane,tetrafluoro
CAS号
75-73-0
合成路线：
1.通过四氯化碳合成四氟甲烷
2.通过四氟乙烯合成四氟甲烷
更多路线和参考文献可参考http://baike.molbase.cn/cidian/113917
英文名：tetrafluoromethanecarbon
tetrafluoride
分子式：CF4
相对分子质量：88.01CAS号：75-73-0
危险性类别：第2.2类
不燃气体化学类别：卤代烷
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
侵入途径： 接触眼睛,接触皮肤,吸入,误食
健康危害： 当中害者因为缺氧不省人事，必须转移到没受污染的地方使之能呼吸新鲜空气或者输入氧气
环境危害： 该物质在常温常压下是气体。吸入高浓度的溶液后，会发生头昏、恶心、呕吐、方向感丧失、失调、昏迷。吸入者会窒息。低温气体会导致冻伤。
英文名：tetrafluoromethanecarbon
tetrafluoride
分子式：CF4
相对分子质量：88.01CAS号：75-73-0
危险性类别：第2.2类
不燃气体化学类别：卤代烷
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
侵入途径： 接触眼睛,接触皮肤,吸入,误食
健康危害： 当中害者因为缺氧不省人事，必须转移到没受污染的地方使之能呼吸新鲜空气或者输入氧气
环境危害： 该物质在常温常压下是气体。吸入高浓度的溶液后，会发生头昏、恶心、呕吐、方向感丧失、失调、昏迷。吸入者会窒息。低温气体会导致冻伤。
