C4F6的TLV值

基本信息：

中文名称

三乙基氯硅烷

中文别名

三乙基氯矽氯三乙基甲硅烷三乙氯矽烷

英文名称

Chlorotriethylsilane

英文别名

chloro(triethyl)silane

CAS号

994-30-9

上游原料

CAS号

中文名称

597-52-4

三乙基硅烷醇

617-86-7

三乙基硅烷

994-49-0

六乙基二硅氧烷

544-10-5

1-氯己烷

75-44-5

光气

75-77-4

三甲基氯硅烷

107-06-2

1,2-二氯乙烷

7632-51-1

四氯化钒

下游产品

CAS号

名称

994-30-9

三乙基氯硅烷

124-40-3

二甲胺

513-81-5

2,3-二甲基-1,3-丁二烯

96-35-5

乙醇酸甲酯

71-41-0

正戊醇

79-38-9

三氟氯乙烯

60-12-8

苯乙醇

78-40-0

磷酸三乙酯(TEP)

512-56-1

磷酸三甲酯

更多上下游产品参见：http://baike.molbase.cn/cidian/49985

1、高毒性固体

很少量就能使人迅速中毒甚至致死。

名称 TLV(mg/m3) 名称 TLV(mg/m3)

三氧化锇 0.002 砷化合物 0.5(按As计)

汞化合物

(特别是烷基汞) 0.01 五氧化二钒 0.5

砣盐 0.1(按Tl计) 草酸和草酸盐 1

硒和硒化合物 0.2(se计) 无机氰化物 5(按CN计)

2、毒性危险气体

名称 TLV(ug /g) 名称 TLV(ug /g)

氟 0.1 氟化氢 3

光气 0.1 二氧化氮 5

臭氧 0.1 硝酰氯 5

重氮甲烷 0.2 氰 10

磷化氢 0.3 氰化氢 10

三氟化硼 1 硫化氢 10

氯 1 一氧化碳 50

3、毒性危险液体和刺激性物质

长期少量接触可能引起慢性中毒，其中许多物质的蒸气对眼睛和呼吸道有强刺激性。

名称 TLV(ug/g) 名称 TLV(ug /g)

羰基镍 0.001 硫酸二甲酯 1

异氰酸甲酯 0.02 硫酸二乙脂 1

丙烯醛 0.1 四溴乙烷 1

溴 0.1 烯丙醇 2

3-氯丙烯 1 2-丁烯醛 2

苯氯甲烷 1 氢氟酸 3

苯溴甲烷 1 四氯乙烷 5

三氯化硼 1 苯 10

三溴化硼 1 溴甲烷 15

2-氯乙醇 1 二硫化碳 20

4．其他有害物质

(1)许多溴代烷和氯代烷，以及甲烷和乙烷的多卤衍生物，特别是下列化合物：

名称 TLV(ug/g) 名称 TLV(ug /g)

溴仿 0.5 1,2-二溴乙烷 20

碘甲烷 5 1,2-二氯乙烷 50

四氯化碳 10 溴乙烷 200

氯仿 10 二氯甲烷 200

(2)芳胺和脂肪族胺类的低级脂肪族胺的蒸气有毒。全部芳胺，包括它们的烷氧基、卤素、硝基取代物都有毒性。下面是一些代表性例子：

名称 TLV 名称 TLV(ug /g)

对苯二胺(及其异构体) 0.1mg/m3 苯胺 5

甲氧基苯胺 0.5mg/m3 邻甲苯胺(及其异构体) 5

对硝基苯胺(及其异构体) 1ug /g 二甲胺 10

N-甲基苯胺 2 ug /g 乙胺 10

N,N-二甲基苯胺 5 ug /g 三乙胺 25

(3)酚和芳香族硝基化合物

名称 TLV(mg/m3) 名称 TLV(ug /g)

苦味酸 0.1 硝基苯 1

二硝基苯酚，二硝基甲苯酚 0.2 苯酚 5

对硝基氯苯(及其异构体) 1 甲苯酚 5

间二硝基苯 1 5、致癌物质

下面列举一些已知的危险致癌物质：

(1)芳胺及其衍生物

联苯胺(及某些衍生物) β-萘胺 二甲氨基偶氯苯 α-萘胺

(2)N-亚硝基化合物

N-甲基-N-亚硝基苯胺 N-亚硝基二甲胺 N-甲基-N-亚硝基脲 N-亚硝基氢化吡啶

(3)烷基化剂

双(氯甲基)醚 硫酸二甲脂 氯甲基甲醚 碘甲烷 重氮甲烷 β-羟基丙酸内酯

(4)稠环芳烃

苯并[a]芘 二苯并[c,g]咔唑 二苯并[a,h]蒽 7,12-二甲基苯并[a]蒽

(5)含硫化合物

硫代乙酸胺(thioacetamide) 硫脲

(6)石棉粉尘

6、具有长期积累效应的毒物

这些物质进入人体不易排出，在人体内累积，引起慢性中毒。这类物质主要有：

(1)苯。

(2)铅化合物，特别是有机铅化合物。

(3)汞和汞化合物，特别是二价汞盐和液态的有机汞化合物。

在使用以上各类有毒化学药品时，都应采取妥善的防护措施。避免吸入其蒸气和粉尘，不要使它们接触皮肤。有毒气体和挥发性的有毒液体必须在效率良好的通风橱中操作。汞的表面应该用水掩盖，不可直接暴露在空气中。装盛汞的仪器应放在一个搪瓷盘上以防溅出的汞流失。溅洒汞的地方迅速撒上硫磺石灰糊。

特种的气体，用于半导体的高纯度气体（或者叫电子气体）是一种生产半导体、液晶、太阳能电池等各种电子产品时使用的特殊的高纯度气体。从大的方面来说，有用于制作半导体配线的气体材料、用于蚀刻（进行半导体细微加工工程）、用于生产设备清洁工艺的气体。

比方说，三氟化氮是被广泛应用于生产设备的清洁气体（Cleaning Gas），六氟化钨是作为半导体的钨配线材料，其需求正急剧上升。

作为NAND（非挥发性存储半导体）、DRAM（挥发性存储半导体）等存储半导体的蚀刻气体（Etching Gas），氯气、溴化银、氟甲烷、四氟化碳、八氟环丁烷、六氟丁二烯等的需求正在增长。

扩展资料

电子特气是集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产中不可缺少的基础和支撑性材料，被广泛应用于薄膜、掺杂、腔室清洗、光刻、刻蚀、清洗、载气、保护气等工艺。2018年电子特气在半导体前道制造所需材料中占比高达18%。

中国电子特气的发展对我国半导体芯片产业的发展起着至关重要的作用，也直接关系到国民经济发展和国家战略安全。

日韩贸易摩擦把半导体材料对一个国家的重要性体现得淋漓尽致，仅仅高纯度氟化氢，光刻胶和氟化聚酰亚胺三种产品就能对整个韩国国民经济构成严重影响。日韩半导体材料事件也为国内半导体产业敲响了警钟，未来半导体材料的国产化进程将会加速。

参考资料来源：百度百科-电子特气

中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司是2016-12-21在河北省邯郸市注册成立的有限责任公司(自然人投资或控股的法人独资)，注册地址位于河北省邯郸市肥乡区化工工业聚集区纬五路1号。

中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司的统一社会信用代码/注册号是91130407MA0832ML8J，企业法人王少波，目前企业处于开业状态。

中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司的经营范围是：研发、生产、销售特种气体六氟丁二烯；工业气体；电子化学品；锂电新材料；有机氟化物；医药中间体三氟甲磺酸、三氟甲磺酸锂、三氟甲磺酰氟、三氟甲磺酸酐、三氟甲磺酸三甲基硅酯、双（三氟甲磺酰）亚胺、双（三氟甲磺酰）亚胺锂、双（三氟甲磺酰）亚胺钾、双氟磺酰亚胺锂、双氟磺酰亚胺钾、N-苯基-双（三氟甲磺酰）亚胺；难熔金属制品；精细化学品全氟丙基双乙烯基醚、全氟对乙基环己烷磺酸钾；钨制品；贵金属衍生品；氦中氮、氮中氦、氖中氪、氖中氙、氩中氧、氦中氧、氮中氧、氖中氧、氦中氢、氮中氢、氩中氢、氮中氟、氖中氟、氩中二氧化氯、氦中三氯化硼、氮中三氟化氮、四氟化碳中氧、氖中氯化氢、氖中氢、氢中氙、氩中甲烷、氦中甲烷、氮中甲烷、氖中甲烷、氦中乙烯、氩中乙烯、氮中乙烯、氖中乙烯、氢中磷烷、氮中磷烷、氦中磷烷、氢中乙硼烷、氢中锗烷、氮中乙硼烷、氦中氟、甲硅烷中磷烷、（氩、氙）和氖混合气、（氯化氢、氢）和氖混合气、（氟、氪）和氖混合气、（氟、氩）和氖混合气、氮气、氦气、氩气、氖气、氪气、氙气、氧气、甲烷、氢气、六氟乙烷、八氟丙烷、八氟环丁烷、四氟化硅、氟化氢、氯化氢、碳酰氟、三氟化氮、六氟化钨、三氟化硼、锗烷、四氟化碳、六氟化硫、氟化钡、氟化氢钾、硫酸、硫酸镍、六氟丙烯、砷化氢、三氟甲烷、磷化氢、二氟甲烷、氟甲烷、羰基硫、氯化亚砷、三氟化砷、三氟化磷、三氟化氯、四氯化硅、硒化氢、氢溴酸、锑化氢、三氯氢硅、乙烯、丙烯、氯气、氯三氟甲烷、五氟氯乙烷、氟气、氘气、氯铂酸、硝酸铑、乙硼烷、氨气、三氯化硼、一氧化二氮、一氧化碳、甲硅烷、二氧化碳、溴化氢、一氧化氮、二氯硅烷、正硅酸乙酯、二氧化硫、乙炔、（以上经营范围为危险化学品经营许可范围，有效期至2021年10月11日）；氟化钙、硫酸钡、氯化钾、磷酸钙、四氟化锗、乙硅烷、六氟乙硅烷、氘代氯仿、氘代甲醇、氘代乙烯、硫酸钾、导热油的研发、生产和销售；经营本公司生产所需的原辅材料、商品和技术进出口贸易（国家禁止或限制经营的商品或技术除外）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）。本省范围内，当前企业的注册资本属于一般。

通过百度企业信用查看中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司更多信息和资讯。