请问Metal-Oganic Source是什么意思啊 ？LDE制程中用到的。
金属有机气相沉积原料，能提供连续不断的源料。主要指TMGA、TMIN、TEGA等，其性质如下：
MO Source特性
三甲基镓Ga(CH3)3
1.英文名： Trimethylgallium，常简写为TMG或TMGa
2.用途：外延成长、化学气相淀积、金属的有机合成。
3.制法：2GaCl3+6MgCH3I→2Ga(CH3)3+3Mgl2+3MgCl2
4.理化性质：
分子量： 114.825
熔点(101.325kPa)： -15.8℃
沸点(191.325kPa)： 55.8℃
液体密度(15℃，100kPa)： 1151 kg/m
气体密度： 4.0 kg/m。
蒸气压(-10℃)： 5.1kPa
(10℃)： 14.7kPa
(30℃)： 37.0kPa
三甲基镓在常温常压下为无色透明有毒液体。在空气中易氧化，在室温自燃，燃烧时发出金属氧化物白烟。高温时自行分解。它在已烷、庚烷等脂肪族饱和烃和甲苯、二甲苯等芳香族烃中以任何比例相溶。与水激烈反应生成Me2GaOH和[(Me2Ga)2O]X，并放出甲烷气。与AsH3、PH3、乙醚类、叔胺及其它路易士碱形成稳定的络合物。与具有活性氢的醇类、酸类产生激烈反应。用烃类溶剂烯释到25%以下的三甲基镓，失去其自燃性。
5.毒性
三甲基镓接触皮肤能引起组织破坏和烧伤。三甲基镓的燃烧产物氧化物白烟，能刺激和腐蚀眼、皮肤和呼吸道粘膜，损伤支气管、肺和肾，严重时可引起肺水肿。
6.安全防护
贮液钢瓶内的液面要用N2、Ar等惰性气体保护。容器及用气设备装置必须事先烘干，抽真空，用惰性气体清洗，赶出空气和水分。经探漏，在确保密封的情况下使用。
三甲基镓无腐蚀性，可以用碳钢、不锈钢、铜、青铜、黄铜、镍等金属材料，不能用铅、镁、锡、锌和铝。可以用聚四氟乙烯、含聚四氟乙烯的石棉、聚三氟氯乙烯聚合体、含碳石棉。尼龙、聚丙烯、氟化橡胶也可短时间使用。不能用硅橡胶、天然橡胶、氯丁橡胶、丁腈橡胶和纤维素、羊毛等纤维类。
三甲基镓着火时，灭火比较困难。一般是用干粉、干砂、二氧化碳和砾石来控制火势，防止火灾蔓延到别处，直至其完全燃烧掉。绝不可用水、泡沫和卤代烃灭火剂。
当三甲基镓泄漏时，首先要切断所有火源，然后用不燃性分散剂制成的乳剂洗刷，或用干燥砂土吸收后拿到空旷地方掩埋。污染的地面要用肥皂或洗涤剂洗刷，洗水经稀释后排入废水系统。
三甲基铝
1、英文名：Aluminium trimethyt，Trinethyluminium.
分子式：[(CH3)3Al]2
性质：无色液体，熔点15℃。
沸点126℃。闪点-18℃。密度0.752g/cm3。
2、用途：
石油烃聚合的催化剂、火箭燃烯料、化学气相淀积、外延成长、有机合成。
3、理化性质：
分子量： 72.086
熔点(101.325kPa)： 15.28℃
沸点(101.325kPa)： 127.12℃
液体密度(20℃，100kPa)： 752kg/m
熔化热(15.28℃，101.325kPa)： 122.05 kJ/kg
气化热(127.12℃，101.325kPa)： 581.38kJ/kg
比热容(25℃，101.325kPa)： 2160.389 J/(kg•℃)
蒸气压(10℃)： 0.588kPa
(20℃)： 1.120Kpa
(60℃)： 9.133kPa
着火点： 室温
毒性级别： 3
易燃性级别： 3
易爆性级别： 3
三甲基铝在常温常压下为无色透明液体。反应性极强。空气中自燃，瞬间就能着火。与具有活性氢的酒精类、酸类激烈反应。与水反应激烈，既使在冷水中也能产生爆炸性分解反应，并生成甲烷，有时还能发火。在300℃时缓慢分解产生甲烷。与AsH3、PH3、醚类、叔胺及其它路易士碱形成稳定的络合物。能与己烷、庚烷等脂肪烃及甲苯、二甲苯等芳香族烃以任意比例混溶。用烃系溶剂烯释到25%以下的三甲基铝失去其自燃性。
三甲基铝与一些物质混合接触时的危险性如下表所示：
混合接触危
险物质名称化学式危险等级摘要
氯酸钠NaClO3A
高氯酸钠NaClO4A
过氧化氧H2O2A
过氧化钠Na2O2B
硝酸铵NH4NO3A
硝酸钠NaNO3A
高锰酸钾KMnO4A
氯苯C6H5ClB有激烈反应的危险
硝酸HNO3A
硫酸H2SO4A
三氧化铬CrO3A
亚氯酸钠NaClO2A
溴酸钠NaBrO3A
重铬酸钾K2Cr2O7B
四氯化碳CCl4B有爆炸的危险性
4、生产方法：
①碘甲烷和金属铝反应。
②二甲基银和铝作用。
③参见三异丁基铝。
烷基铝都是无色液体，商品以20%烃类溶液供应。贮运时可用己烷、庚烷、苯、甲苯等烃类作为溶剂。空气中自燃。遇水、氧化剂、卤代烃、醇或其它含氧有机物都能起猛烈反应。加热至177～232℃时自行分解并放出相应的如乙烯、丙烯、丁烯等易燃性不饱和烃类气体。铝的有机化合物全部操作要在惰性气体(N2、Ar)中进行。20%的烃类溶液无自燃性，但在空气中仍发烟。这种溶液的闪点为所用溶剂的闪点。溢出溶液与空气作用放出的反应热能使溶剂挥发，增加其着火危险。
5、毒性特征：
最高容许浓度：0.5 mg/m
三甲基铝接触皮肤能引起组织破坏和烧伤。因为三甲基铝太活泼，它不可能以其原形直接吸人体内。它在空气中自燃时发出对人体有害的氧化铝烟雾。这种烟雾能刺激和腐蚀眼、皮肤和呼吸道粘膜。人吸入后气管和肺受损伤，严重时能引起肺水肿。
遇到吸入氧化铝烟雾的患者，应立即转移至无污染区，安置休息并保持温暖和舒适，并速请医诊治。眼睛和皮肤接触后，立即用大量水充分冲洗后就医。进入口内时立即漱口并急送医院抢救。
铝的有机化合物，其毒性决定于它的分解产物。急性中毒时出现对眼和上呼吸道的刺激作用、抑制神经系统(无麻醉作用)、降低耗氧量、大脑和内脏充血、肺气肿，严重染毒能引起死亡。烷基铝对人的不幸事件大多与火灾和烧伤有关。死亡病例发生在中毒后36～72小时。参见四乙基铅的毒性。
6、安全防护：
工作时必须穿戴氯乙烯或氯丁橡胶防护服，皮或者尼龙的手套，高腰胶靴，护目镜，防毒(酸性气体用)口罩等。工作场所要通风，保持环境空气新鲜干燥。用钢瓶盛装，液面要用N2、Ar等惰性气体保护。在保护气中的含水及含氧量均应小于20PPm。钢瓶要存放在室外阴凉干燥之处，或易燃液体专用库内，要远离火种、热源、可燃物及能与三甲基铝反应的物质。电气设备必须有防火花装置。库温要低于30℃，相对湿度在75%以下。
有机金属化合物一般没有腐蚀性，可以用碳钢、不锈钢、铜、青铜、黄铜、镍等通用金属材料，但是不能用铅、镁、锡、锌和铝。可用聚四氟乙烯、含聚四氟乙烯或碳的石棉、聚三氟氯乙烯聚合体、聚氯乙烯、聚乙烯、聚丙烯等。
三甲基铝等烷基铝一接触空气就着火，而且还没有有效的灭火方法，所以灭火是比较困难的。着火时，一般的对策是先切断所有火源，隔绝其它可燃物，用干粉、干砂、二氧化碳、砾石等来控制火势，使火灾不蔓延到别处。绝不能使用泡沫及四氯化碳等卤代烃灭火剂。
当三甲基铝泄漏时，首先要切断所有的火源，然后用不燃性分散剂制成的乳剂刷洗。如果没有分散剂，可用干燥砂土吸收后拿到空旷处掩埋，或者用苏打粉混合泄漏液后放在空旷处的大钢盘上，上面用废木料或纸盖住，并在严格监督下烧掉。受污染的地面要用肥皂或洗涤剂洗刷，洗水经稀释后排入废水系统。
有机铝化合物可用煤油、汽油及其它碳氢化合物慢慢地洗涤。对于弱的有机铝溶液，只用水洗。但是在碳氢化合物溶液中使用有机铝化合物时，要防止有机铝化合物着火
三乙基镓Ga(C2H5)3
1.名•英文名 ：Triethylgallium．
2.用途
有机合成、化学气相淀积、处延成长。
3.制法：
4.理化性质
分子量： 156.906
熔点(101.325kPa)： -82.3℃
沸点(101.325KPa)： 142.6℃
液体密度(30℃,100kPa)： 1058kg/m
气体密度： 5.4kg/m
蒸气压(30℃)： 1.25kPa
(70℃)： 8.3kpa
(90℃)： 18.5kPa
三乙基镓在常温常压下为无色透明液体；空气中自燃。与水激烈反应放出乙烷气。在乙烷、庚烷等脂肪族饱和碳氢化合物，甲苯、二甲苯等的芳香族碳氢化合物中，以任意比例相溶解。同AsH3、PH3、醇类、叔胺及路易士碱生成稳定的络合物。与含有活性氢的醇类、酸类产生激烈反应。在室温下，在N2、Ar等惰性气体中保存时稳定。
二茂镁
1、英文名称： magnesocene；di (cyclopentadienyl) magnesium
2、分子式：Mg(C5H5)2 又称双(异戊二烯基)镁。
白色晶体。熔点176℃。在100℃时升华。对空气、潮湿、二氧化碳和二硫化碳均很敏感，固态晶体曝置在空气中着火。溶于乙醚、四氢呋喃、苯、二甲苯。棕褐色。强烈水解。与某金属的氯化物反应，可脱去氯化镁而得二茂金属。在二茂镁分子中，化学键属共价键还是金属离子键，目前尚有争论。二茂镁是向过渡金属引入环戊二烯基的一种很有用的试剂。
3、制法：
溴化乙基镁与苯和乙醚反应可脱去乙烷而得溴化茂基镁(C5H5MgBr)，二个分子的后者于220℃及10-2Pa下可缩去一分子溴化镁而得二茂镁。又金属镁与异戊二烯在500℃反应亦可脱H2而得二茂镁。
三甲基铟In(CH3)3
1.别名•英文名 Trimethylindium．
2.用途 外延成长、有机合成、化学气相淀积。
3.制法
4.理化性质•毒性•安全防护
分子量： 159.9
熔点： 89℃
沸点： 135.8℃
液体密度(10℃)： 1568kg/m3
蒸气压(30℃)：0.960kPa (70℃)： 9.60kPa
三甲基铟在常温常压下为无色透明具有特殊臭味的升华性无色结晶。遇冷水部分水解放出甲烷气体。它与己烷、庚烷等脂肪族饱和烃，甲苯、二甲苯等芳香族烃以任意比例相溶。空气中自燃。与AsH3、PH3、醚类、叔胺及其它路易士碱形成稳定的络合物。与具有活性氢的醇类、酸类进行激烈反应。与甲基醚、三甲基磷烷、三甲基砷烷等作用形成配位化合物，但是其稳定性比镓差。光照易引起三甲基铟的分解，长期保存时需要存放在阴凉干燥之处。
最高容许浓度：0.1 mg/m3(以In计)
晚上好，三甲基只是有机化学品分子式中的一种官能团计数称谓，代表此化学品含有至少三个甲基基团（-CH3），一般含有甲基基团的产物都比较活泼，其物理形态从气体至固体都有可能，通常，三甲基容易与芳香环在一起的比较多，请参考。这是三甲苯（三甲基苯）。
二甲基汞 ，化学式(CH 3 ) 2 Hg，是一种含汞有机化合物。易挥发，易燃，剧毒。亦是已知最危险的有机汞化合物，对胎儿的神经系统、智商和记忆等有危害，数微升即可致死。
基本介绍中文名 ：二甲基汞 英文名 ：DIMETHYLMERCURY 别称 ：Methyl mercury ionMERCURY DIMETHYL 化学式 ：C2H6Hg 分子量 ：230.66 CAS登录号 ：593-74-8 EINECS登录号 ：209-805-3 熔点 ：−43 °C 沸点 ：93-94 °C 水溶性 ：2.961 g/mL 25 °C 闪点 ：42 °F 安全性描述 ：:chemicalbook/RiskAndSafety.#Safety 危险性符号 ：T+,N 危险品运输编号 ：UN 3383 6.1/PG 1 基本信息,理论数据,生态学数据,计算化学数据,毒性数据,物理性质,制备,用途,危害,火灾危险,处置方法, 基本信息 二甲基汞，英文名称：Dimethyl mecury 。英文缩写：DMM。分子式：CH3HgCH3。化学式：C2H6Hg。相对分子质量：230.6 。与氯化汞反应，生成氯化甲基汞。 理论数据 生态学数据 其它有害作用：该物质对环境可能有危害，对水体应给予特别注意。 计算化学数据 1.疏水参数计算参考值（XlogP）:无 2.氢键供体数量:0 3.氢键受体数量:0 4.可旋转化学键数量:0 5.互变异构体数量:无 6.拓扑分子极性表面积0 7.重原子数量:3 8.表面电荷:0 9.复杂度:2.8 10.同位素原子数量:0 11.确定原子立构中心数量:0 12.不确定原子立构中心数量:0 13.确定化学键立构中心数量:0 14.不确定化学键立构中心数量:0 15.共价键单元数量:1 毒性数据 二甲基汞能渗过乳胶，溶解橡胶和生胶。美国达特茅斯学院的Karen Wetterhahn毒物化学教授，因在实验中不慎将二甲基汞洒在手上，二甲基汞渗过她戴着的乳胶手套后接触皮肤，最终不治身亡。 物理性质 常温常压为无色液体，具有挥发性,易燃味带甜.有毒.易溶於乙醇和乙醚.不溶于水. 相对密度:3.1874(20℃) 。沸点（bp）:92℃(98.66千帕)。熔点（mp）-43℃（98.7kPa）。闪点（flash pt）:20℃ 。折光率（Ri）:1.5452。 制备 由甲基锂与氯化汞在乙醚的环境下反应生成， 由汞、钠和碘甲烷反应，生成二甲基汞和碘化钠。 用途 制备三甲基镓和氯化甲基汞 危害 1、与明火, 高温或强氧化剂会引起燃烧。 2、其毒性非常高, 0.1ml是致死! 是一种脑神经毒素（Neutrotoxin，神经毒素这个名称是从英语： Neurotoxin 直译过来，源于希腊语：νευρών nevron / neuron ，即神经元及拉丁语： toxicum ，即毒药，再源于希腊语：τοξικόνφάρμακον toxikon pharmakon ，即毒箭。） 二甲基汞可穿过橡胶，聚氯乙烯，生胶， 接触时必要带特别手套。 3.危害环境，对水生生物具有长期危害。 火灾危险 遇明火,高温及强氧化剂会引起燃烧危险. 处置方法 泡沫,雾状水,砂土,二氧化碳. 由甲基溴化镁或甲基锂与氯化汞在四氢呋喃或乙醚中反应制得。用于制备三甲基镓。
由金属原子与碳原子直接相连成键而形成的有机化合物称为有机金属化合物。如甲基钾（CH 3 K）、丁基锂（C 4 H 9 Li）等。醋酸钠（CH 3 COONa）、乙醇钠（CH 3 CH 2 ONa）等有机化合物，分子中虽然也含有金属原子，但金属原子不是与碳原子直接相连成键，因此不属于有机金属化合物。有机金属化合物可用通式R—M表示，式中R代表烃基，M代表金属原子。
基本介绍中文名 ：有机金属化合物 外文名 ：metallo-organic compound 别名 ：金属有机化合物 学科 ：化学化合物简介,化合物命名,制备,一般性质,常用化合物,丁基锂,二甲基锌,三乙基铝, 化合物简介 有机金属化合物在生产和生活中用途广泛。例如，在制备高分子化合物时，常用烷基铝作催化剂，在有机合成中，有机金属化合物可提供碳负离子、自由基和卡宾等活泼中间体，因此有机金属化合物是一类极为有用的合成试剂。近年来由于多种有机金属化合物在生物活性研究的推广和套用，使有机金属化合物的生物活性和药理作用的研究和套用日益深入发展。因此，掌握一些有机金属化合物的基础知识是必要的。 生物体记忆体在的金属离子常常是利用氮、氧等电负性大的原子，通过配位键与有机分子结合。这些化合物并不属于有机金属化合物。但是，过渡金属与有机化合物生成的碳一金属配位体的研究使有机金属化合物与有机金属配合物之间的距离日益缩小。酶分子中的金属离子对维持生物大分子构象，酶催化功能极为重要。例如锌离子是碳酸酐酶的组成部分，血红蛋白体内运载氧的功能也是通过血红素中铁离子与氧可逆结合来完成的。 化合物命名 有机金属化合物的命名，最常见的是在有机基团后面加上金属的名称。 例如： CH3Li：甲基锂；(CH 3 ) 2 Hg：二甲基汞 ；(CH 3 CH 2 ) 3 Al：三乙基铝； 有时把相应的有机金属化合物看作矽烷或锡烷等的衍生物来命名。 例如： (CH 3 ) 4 Si：四甲基矽烷；(CH 3 CH 2 ) 3 SnCH 3 ：乙基甲基锡烷； 当有机金属化合分子中的金属原子除了与有机基团相连外，还连有其他原子时，可将其看作是带有有机基团的无机盐来命名。 例如： CH 3 CH 2 Mgl：碘化乙基镁；CH 3 ZnCl：氯化甲基锌；(CH 3 ) 3 PbH：氢化三甲基铅。 制备 1、由活泼金属与卤代烃反应制备第一主族以及镁、锌等活泼金属与卤代烃反应，可制备相应的有机金属化合物。例如： 反应方程式 2、由格氏试剂制备格氏试剂与无水金属卤化物反应，可用于制备较不活泼金属的有机金属化合物。 例如： 反应方程式 3、由烷基锂与金属卤化物反应制备由烷基锂与较不活泼的金属卤化物反应，可用于制备另一种有机金属化合物。例如： 反应方程式 一般性质 有机金属化合物的性质，主要取决于金属原子与碳原子之间所形成的化学键。由于金属的活泼性不同，金属原子与碳原子所形成的化学键的性质则不同。因此，有机金属化合的性质不能一概而论。有机有金属化合物的性质有如下三种情况： 离子化合物的性质 含活泼金属的有机金属化合物，由于碳—金属键的极性强，此类金属化合物具有离子化合物的性质。 例如：甲基锂(CH 3 K)，分子中的C—K键主要表现出离子键的特征。该化合物常温下为固体，具有由甲基负离子和钾正离子所形成的许多性质，特别是具有非常活泼的游离碳负离子的性质。例如在空气中可燃烧、极易与湿气结合、与酸性物质或氧化剂可发生剧烈反应等。 共价化合物的性质 由不活泼金属形成的有机金属化合物，由于碳—金属键具有极性共价键的性质，此类金属有机化合物具有共价化合物的性质。 例如：二甲基汞[(CH 3 ) 2 Hg]，分子中的C—Hg键主要表现出共价键的性质。该化合物常温下为无色液体，可溶于大多数有机溶剂，常温下不与水、氧气及多数无机酸反应，在加热或光照条件下可分解成汞和甲基游离基，甲基游离基立即二聚合成乙烷。从受热分解成游离基这一反应来看，二甲基汞是一种有机化合物，C—Hg键具有共价键的性质。 路易斯酸性 由镁、铝、镓、铟等金属形成的有机金属化合物，碳—金属键具有极性共价键的性质。而当铝、镓等第三主族元素形成的有机金属化合分子中，金属原子周围不是8电子饱和稳定结构，具有形成二聚体或接受电子对以达到饱和稳定结构的倾向。 例如：三甲基铝常以二聚体的形式存在，三甲基镓能与路易斯碱（如三甲胺、乙醚等）形成1∶1的配合物。这说明第三主族元素形成的有机金属化合物是作为路易斯酸与路易斯碱电子给予体原子共享孤对电子以达饱和的电子层结构。 常用化合物 有机金属化合物种类很多，套用广泛。随着工业的发展、科学的进步，对有机金属化合物的研究和使用将会更加深入、更加广泛，下面介绍几种常用的有机金属化合物。 丁基锂 有机锂化合物是重要的碱金属有机化合物，它在有机合成和高分子化合物的制备方面有重要的价值。丁基锂是套用较多的一种。 丁基锂可溶于苯或环己烷中，其性质与格氏试剂相似，且比格氏试剂活泼。能发生一些很有使用价值的反应。 1、与烃反应 丁基锂与含有较活泼氢原子的烃反应，锂原子取代活泼氢原子，生成新的有机锂化合物和正丁烷。 丁基锂与烃反应 上述反应可看作是具有强碱性碳负离子的锂盐从底物中除去一个质子获得新的碳负离子的过程。此种反应代表从简单的有机锂化合物制备较复杂的有机锂化合物的一种方法，称为烃的金属化。 2、与二氧化碳反应 丁基锂与二氧化碳反应，先生成戊酸锂，戊酸锂再与丁基锂反应，其生成物水解最后得到酮。 反应方程式 3、与烯烃的加成反应 丁基锂与烯烃反应，发生碳碳双键加成。若与不对称烯烃加成，锂原子加在含氢原较少的双键碳原子上。如： 与烯烃加成反应 4、合成高分子化合物的催化剂 丁基锂和其他有机锂化合物，可作为由烯烃合成高分子化合物的催化剂。例如由乙烯聚合成聚乙烯，由异戊二烯聚合成聚异戊二烯（合成天然橡胶）等。 二甲基锌 有机锌化合物通式为R 2 Zn，分子中都含有直线型C—Zn—C骨架。 二甲基锌[(CH 3 ) 2 Zn]常温下为具有挥发性的液体，沸点44℃，其化学性质不如有机锂化合物活泼。 二甲基锌常用作聚合反应的催化剂，如作各种烯烃单体和羰基化聚合时的引发剂，也是齐格勒一纳塔复合催化剂的组成成分。在有机锌作为引发剂的情况下，聚合速度和聚合物的分子量随复合催化剂的组成的不同而变化。 三乙基铝 有机铝化合物种类很多，按照铝原子所连烃基的数目不同，可分为三大类： R 3 Al、R 2 AIZ、RAIZ 2 ； 其中R代表烃基，Z代表H、F、Cl、Br、I、OR、SR、NH 2 、NHR、PR 2 等。 三乙基铝为无色液体，与空气接触时可迅速氧化甚至自燃，遇水时与水发生强烈反应，生成氢氧化铝和乙烷，且产生大量的热，故三乙基铝通常溶于烃类溶剂中保存，使用时需格外小心。因三乙基铝化学性质活泼，热稳定性差，较难制得其纯品。三乙基铝工业上套用广泛，如三乙基铝和四氯化钛组成的复合催化剂称为齐格勒一钠塔催化剂，可使乙烯在常压下进行聚合，也能使丙烯进行定向聚合，所以三乙基铝在工业上大量生产，广泛套用。
为了写完光刻胶的研究任务，挑了南大光电， 本文写完的时候也是一个月前，一直放到草稿箱里到今天才发 ，所以一些信息可能没更新（比如南大光电的光刻胶通过的客户认证）。
公司的主营业务主要有MO源、光刻胶、电子特气、ALD前驱体产品。
我想此刻我们的心情是一样的。
为了了解这2个英文字母+1个汉字，估计我得对各个概念如剥笋般层层研究。首先看MO源，即“高纯金属有机源”，是制备LED、新一代太阳能电池、相变存储器、半导体激光器、射频集成电路芯片等的核心原材料，在半导体照明、信息通讯、航天等领域有极重要的作用。公司2010年在国内MO源的市场份额60%，全球15%。
它的下游客户，带“光电”二字的公司很多，可以进一步了解到，这个东西应该主要应用于光电子行业，如LED和太阳能电池。
好了，虽然不知道这个东西，但至少可以了解到它是做半导体的某种核心基本材料，看样子是不可或缺的。而且公司是这一块的绝对龙头（都60%市占率了还能说啥？）。
MO源“是利用先进的金属有机化学气相沉积（以下简称‘MOCVD’）工艺生成化合物半导体材料的关键支撑原材料，因而又被称为MOCVD的‘前体物’。MO源的质量直接决定了最终器件的性能，因此MOCVD工艺对MO源的质量要求很高，其中纯度是衡量MO源质量的关键指标。”
气相沉积不难理解，我个人通俗理解是，用化学气体或蒸汽附在材料上，形成一个涂层。化合物半导体就是之前我在《三安光电年报解读》中讲到的SiC、GaN之类。所以我对MO源这句话的通俗理解就是：为了做出SiC之类的第三代半导体，你得用上气相沉积（MOCVD）工艺，那为了用好这个工艺，你得用上高纯度的MO源。
MO源有60多种，三甲基镓和三甲基铟是最主要的两种MO源，其中又以三甲基镓的用量最大，使用比例在80%左右，三甲基铟使用比例平均不超过10%。
招股书继续写道：
看到这里林北清楚多了：三安、乾照等LED外延片供应商，使用的是MOCVD技术，把MO源上的原材料附着在衬底上，外延生长出化合物半导体，也就是我们常说的LED外延片。事实上，90%以上的MO源都被用于生产LED外延片。所以，对MO源市场前景的判断，关键就看LED的市场前景，而其需求又和MOCVD设备直接相关。
话虽如此，往后的报表却很不乐观。LED后来进入产能过剩阶段，MO源价格也跟着讲，毛利也从80%陆续下降到70%、60%、50%，其中用量最大的三甲基镓的毛利率更是从上市前最高70%掉到6%。
即电子特种气体，号称半导体生产过程中的“粮食”。具体可以看一下林北写过的《华特气体年报解读》。
公司于2013年成立了全椒南大材料，2016年才完成高纯磷烷、砷烷产品的产线建设；2019年直接并购山东飞源，又获得了三氟化氮、六氟化硫的生产能力。特气业务增长迅速，17年开始每年营业额是3600万、7800万、1.64亿，已经比MO源还多，毛利率也稳定在50%左右。
特气这个行业不太好理解，主要是气体太多太杂，各个环节要用到的气体也不一样。在《华特气体年报解读》一文中，林北明确表示对特气公司只看不投，因为真的不懂。
2016年公司参股了北京科华微电子材料有限公司，经过笔者研究，北京科华应该是目前国内技术实力最强的光刻胶企业，唯一一家通过了EUV光刻胶“02专项”研发。但是现在在北京科华的工商信息上，看不到南大光电了，记录显示是2019年初转让掉的。
2018年，“193nm光刻胶及配套材料关键技术开发项目”和“ArF光刻胶开发和产业化项目”获得国家02专项的正式立项，获得中央财政拨款1.3亿。公司新设了光刻胶事业部，成立“宁波南大光电材料有限公司”。
总而言之，公司虽然有光刻胶的概念，但并没有实际开展业务，而且充满不确定性。不像晶瑞股份等是从g线、i线开始做，而是一上来就搞ArF，而且都处在“专项科研”阶段。
说它是业务有点勉强，它是公司16年和 科技 部签订的一个研究项目“ALD金属有机前驱体产品的开发和安全离子注入产品开发”。前驱体就是一个东西之前的形态，就像暴龙兽之前是亚古兽，再之前是滚球兽一样，额，这是我的理解。
ALD即原子层沉积，前面讲到气相沉积，就相当于给衬底烘一层蒸汽让物质附在上面，而ALD更厉害，直接以单原子膜的形式一层一层地附在上面。ALD懂了，前驱体懂了，ALD前驱体是什么，抱歉，我还没看懂。
南大光电是一家典型的高 科技 公司，所以林北只研究了它的行业，用来辅助最近的光刻胶行业调查任务，并没有对财务进行分析。总而言之，南大光电之前做MO源，但最近这门生意好惨。为了走出困境，公司积极布局电子特气行业，经过3年努力，特气的业务已经超过了老业务MO源。
然后是我关心的光刻胶行业，作为南大的校企（大股东南京大学资产经营有限公司），公司也理所当然地能拿到国家科研专项任务，一上来就高举高打研发ArF光刻胶，这可是中国目前没有办法供应的产品，同样还在研发的还有北京科华和容大感光。当然，所有这些公司都还在研发中，还没有一家投放市场，接着光刻胶的概念，好几年股价震荡的南大光电迎来大涨。
2019年1月，南大光电卖掉了北京科华的股份，价值1.7亿，获得了近2000万投资收益，占利润总额的28.87%，多好的一只母鸡就这么被卖掉了，现在公司多了一家技术NB的竞争者。但笔者不是公司高管，对此举不好评论。
