在制备环氧树脂时分层不明显加入甲苯后变成三层的原因

PDMS（polydimethylsiloxane，聚二甲基硅氧烷）在室温下是一种无色、粘稠的液体，因此被称为硅油，是软光刻工艺中常用的聚合物。PDMS是一种廉价、安全和无毒的聚合物，具有良好的透光性和高化学惰性。它是一种具有低杨氏模量的高等级弹性体。由于PDMS既不粘附在AZ4620上，也不粘附在晶圆上，我们在实验中利用PDMS的优良特性，将平面微透镜阵列结构反转并转移到PDMS上，产生一个柔性图案。

倒模工艺开始之前，必须准备好PDMS溶液。由于PDMS在室温下不能固化，所以要添加特定的固化剂。PDMS溶液是通过将PDMS预聚物和固化剂以10:1的质量比混合制备的。在充分搅拌后，混合物中出现大量的气泡，并在真空桶中抽空（也可放置40分钟以上），直到混合气体完全被抽走。然后将先前准备好的平面微透镜阵列模板连接到离心机上，将少量的PDMS溶液慢慢倒在微透镜阵列上，让其慢慢散开并去除任何气泡，相应调整离心机的速度和时间。为了获得厚度均匀的PDMS网板（使用较厚的PDMS网板是为了防止在随后的负压过程中薄膜下垂），这里再次使用了多次旋涂的方式。在涂抹单层后，让薄膜静止约1分钟，然后进行软烘，在加热前寻找气泡，如果气泡没有完全排出，在加热过程中就会形成气泡。一旦旋涂过程完成，薄膜就在65℃的烘箱中烘烤2小时。最后去除薄膜，得到一个厚度约为450微米的柔性PDMS模板，其凹陷的微透镜阵列与微透镜阵列的形状相反

首先依次组装主体和可拆卸式盖子，然后将模具安装在防震台上。然后将柔性PDMS阴性膜连接到加工成顶盖的球状缺陷的顶部，然后放置并连接微流注射腔室。连接一个真空泵进行抽气，此时，柔性PDMS模板在负压下下沉，并与盖子紧密贴合，形成我们需要的弧度。这里的微孔阵列设计允许在PDMS网板上施加更均匀的力，使负压均匀地分布在网板上，并使薄膜拉伸的各向异性降到最低。负压稳定后，毛细管与微流控注射泵（LSP04-1A，朗格恒流泵有限公司）连接，进行粘合。通过微流控注射室的粘合孔和通气孔固定一定量的过量，以有效清除可能存在的空气和杂质。最后，整个装置被置于紫外线设备下，一旦模塑材料固化，它就被脱模，以获得弯曲的微透镜阵列。

设计中选择的成型材料是NOA81（Norland Optical Adhesive 81，Norland Products Inc.），它具有优良的光学透光性，在可见光波长中保持90%以上的透光率，并且具有高度的耐溶剂性，完全固化后硬度不脆。由于其弹性，该结构能够缓解由振动或环境温度的极端变化引起的应力，从而确保固化的复眼结构的长期性能。此外，在紫外光下的固化速度极快，最快的紫外固化在几十秒内完成，这对保护紫外光刻设备非常重要。

PDMS溶于氯仿、二氯甲烷、甲苯等溶剂。

PDMS(polydimethylsiloxane) ，聚二甲基硅氧烷的英文缩写：因其成本低，使用简单，同硅片之间具有良好的粘附性，而且具有良好的化学惰性等特点，成为一种广泛应用于微流控等领域的聚合物材料。简称有机硅。

PDMS作为一种高分子有机硅化合物。具有光学透明，且在一般情况下，被认为是惰性，无毒，不易燃。聚二甲基硅氧烷（PDMS)是最广泛使用的硅为基础的有机聚合物材料，其运用包括在生物微机电中的微流道系统、填缝剂、润滑剂、隐形眼镜。

聚二甲基硅氧烷是一种高分子有机硅化合物，通常被称为有机硅。具有光学透明，且在一般情况下，被认为是惰性，无毒，不易燃。聚二甲基硅氧烷（PDMS）是最广泛使用的硅为基础的有机聚合物材料，其运用在生物微机电中的微流道系统、填缝剂、润滑剂、隐形眼镜。

同时，正己烷是不错的有机硅树脂溶剂。尽量不易苯类溶剂，且应在通风橱内操作，我们有时还要求学生戴3M公司产的防毒面具。甲苯，二甲苯，d5等都可以溶，其中d5无污染无气味无毒

二、环氧树脂固化剂主要有以下几个种类：

1、 脂肪族胺类：主要品种有乙二胺、二乙烯（撑）三胺、多乙烯（撑）多胺等。其特点是，室温下固化，固化速度快，黏度耐高温漆低，易于和其他树脂混用，操作方便。涂膜具有较高的耐溶剂性能。但毒性较大，固化时放热量大，使用期限短，固化受温度、湿度条件的限制，在湿度较大的条件下漆膜泛白。产生桔皮、缩孔等弊病，固化后漆膜耐热性、机械强度较差。

2、 芳香族胺类：主要为间苯二胺、间苯二甲胺等。其特点是，需在加热条件下固化，与树脂混合不便，固化物的耐热、耐蚀性能较为突出。其主要用于加热固化工艺，也可用于作改性胺固化剂的原料。

3、 胺改性固化剂：主要有胺加成固化剂（如590、593固化剂）、T31固化剂、酚氨基醇固化剂。这主要针对脂肪族胺和芳香族胺存在的毒性等问题，通过加成反应或缩合反应对原有胺固化剂进行改进，其特点为挥发性大大降低，称为低毒或无毒固化剂，客服了泛白的缺点，不需诱导期。

4、 聚酰胺固化剂：其固化过程是通过聚酰胺末端的伯、仲胺上的氢（不是通过酰胺基上的氢）与环氧基反应，由于两端氨基的分子间距较大，固化后的密度小，因此固化后的涂膜有优良的韧性；而且由于聚酰胺固化剂的用量要求不严格，因此可以根据需要通过聚酰胺的用量来调节韧性。

5、 酸酐固化体系：酸酐与环氧树脂的固化是与羟基进行反应，反应很慢，往往需高温固化，甚至在200℃下进行，若在酸或碱催化剂存在下，反应很快。其涂膜具有较好的机械强度和耐热性，但固化后漆膜含有酯键，易受碱的侵蚀。该体系常用作环氧粉末涂料、卷材涂料的固化剂，并配以咪唑类固化剂。

6、 多异氰酸酯固化剂：多异氰酸酯可同环氧树脂链上的羟基起反应。优于环氧链上的羟基数目随环氧树脂相对分子质量的增大而增多，因此异氰酸酯适合于同相对分子质量高的环氧树脂溶液（约30%的环氧树脂含量）起固化反应，固化物有良好的耐酸性。异氰酸酯同环氧树脂中羟基的反应活性高，可在低温下进行，特别适用于零度以下的固化。