997氧化铝陶瓷在光刻机上有哪些应用

广泛用于燃煤电厂、钢铁、冶炼、机械、煤炭、矿山、化工、水泥、港口码头等企业的输煤、输料系统、制粉系统、排灰、除尘系统等一切磨损大的机械设备上，均可根据不同的需求提供不同类型的产品。

氧化铝陶瓷是一种以氧化铝（Al2O3）为主体的陶瓷材料，用于厚膜集成电路。氧化铝陶瓷有较好的传导性、机械强度和耐高温性。需要注意的是需用超声波进行洗涤。氧化铝陶瓷是一种用途广泛的陶瓷，因为其优越的性能，在现代社会的应用已经越来越广泛，满足于日用和特殊性能的需要。

类别

氧化铝陶瓷分为高纯型与普通型两种。

高纯型氧化铝陶瓷系Al2O3含量在99．9%以上的陶瓷材料，由于其烧结温度高达1650—1990℃，透射波长为1～6μm，一般制成熔融玻璃以取代铂坩埚；利用其透光性及可耐碱金属腐蚀性用作钠灯管；在电子工业中可用作集成电路基板与高频绝缘材料。

普通型氧化铝陶瓷系按Al2O3含量不同分为99瓷、95瓷、90瓷、85瓷等品种，有时Al2O3含量在80%或75%者也划为普通氧化铝陶瓷系列。

其中99氧化铝瓷材料用于制作高温坩埚、耐火炉管及特殊耐磨材料，如陶瓷轴承、陶瓷密封件及水阀片等；95氧化铝瓷主要用作耐腐蚀、耐磨部件；85瓷中由于常掺入部分滑石，提高了电性能与机械强度，可与钼、铌、钽等金属封接，有的用作电真空装置器件。

以上内容参考百度百科-氧化铝陶瓷

透光性氧化铝耐磨陶瓷的制备方法：
1、将 001-05wt%的氧化镁粉末、001-02wt%氧化钇粉末与氧化铝粉末调制成混合粉末；
2、将占总量1-10%的聚乙烯醇添加剂以水溶液形式加入到前面调制成的混合粉料中；
3、将所得的混合物加入粘结剂，制成适用于注射模塑成形的混炼物，其中，粘结剂和聚乙烯醇合计量为总体积35-70% ；
4、所得的混炼物进行注射成型，加热温度为80-200℃,压力为50-200MPa；
5、注射成型后的产物脱除粘结剂和聚乙烯醇温度为1000-1200℃。脱除粘结剂的氧化铝耐磨陶瓷素坯，在1650-1950℃温度下烧结。
制备的陶瓷材料的体积密度为396g/cm3，维氏硬度1660-1930,总透过率介于95-98%之间。

氧化铝的主要成分为Al2O3。是一种难溶于水的白色固体。无臭、无味、质轻，极硬，耐磨，耐高温的陶瓷。通常常将其烧制成球衬、衬板、衬片，管道，橡胶复合板，填料球（粉）……，以及各种特定的形状。用于需要耐腐蚀、耐高温的场合以及作为研磨、抛光、填充物使用。