光伏镀二氧化硅膜是什么工艺

PECVD( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子增强化学气相沉积，等离子体是物质分子热运动加剧，相互间的碰撞会导致气体分子产生电离，物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子和中性粒子组成的混合物。

据测算，光在硅表面的反射损失率高达35%左右，减反膜可以极高地提高电池片对太阳光的利用率，有助于提高光生电流密度，进而提高转换效率，同时薄膜中的氢对于电池片表面的钝化降低了发射结的表面复合速率，减小了暗电流，提升了开路电压，提高了光电转换效率；在烧穿工艺中的高温瞬时退火断裂了一些Si-H、N-H键，游离出来的H进一步加强了对电池的钝化。

由于光伏级硅材料中不可避免的含有大量的杂质和缺陷，导致硅中少子寿命及扩散长度降低，从而导致电池的转换效率下降，H能与硅中的缺陷或杂质进行反应，从而将禁带中的能带转入价带或者导带。

一、PECVD原理

PECVD 系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器。在低压和升温的情况下，等离子发生器直接装在镀膜板中间发生反应。所用的活性气体为硅烷SiH4和氨NH3。这些气体作用于存储在硅片上的氮化硅。可以根据改变硅烷对氨气的比率，来得到不同的折射指数。在沉积工艺中，伴有大量的氢原子和氢离子的产生，使得晶片的氢钝化性十分良好。

在真空、480摄氏度的环境温度下，通过对石墨舟的导电，使硅片的表面镀上一层SixNy。

3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2

二、Si3N4

Si3N4膜的颜色随着它的厚度的变化而变化，一般理想的厚度是75—80nm之间，表现为深蓝色，Si3N4膜的折射率在2.0—2.5之间效果最好，通常用酒精来测其折射率。

优良的表面钝化效果、高效的光学减反射性能（厚度折射率匹配）、低温工艺（有效降低成本）、生成的H离子对硅片表面钝化.

三、镀膜车间常见事项

膜厚。沉积时间的不同膜厚也是不一样的要根据镀膜的颜色来适当的增加或减少它的沉积时间，片子发白要减少沉积时间，如偏红则要适当的增加

单体太阳电池不能直接做电源使用。作电源必须将若干单体电池串、并联连接和严密封装成组件。以下是我为大家整理的关于层压光伏组件的工艺流程，给大家作为参考，欢迎阅读!

一，准备组质量控制点

准备组准备的主要物料有：电池片，TPT，EVA，涂锡带，玻璃……

电池片外观：电池片不能有隐裂，裂片，破片(崩边缺角)……单片电池片不能有明显颜色不均匀的现象，同一组件的电池片颜色要一致。电性能：每个组件的电性能搭配首先要求的功率要在同一等级，然后在根据电池片的工作电流(IWORK)分档进行搭配，统一功率组件中电池片的工作电流应在同一等级。如果同一等级的电池片缺少时，应选择功率和电流高一等级的进行补片。

激光划片：划片后的电池片不仅在尺寸上符合图纸要求，而且划好的片子放在光学显微镜下观察，要求切割的深度在电池片厚度的1/2—2/3范围内，并且电池片无崩边裂纹，切割面目视平整，光亮。

TPT /EVA：在裁剪TPT /EVA时必须按照物料清单规定的尺寸进行裁剪，在遇到特殊物料时，需要做尺寸上的修改必须通知技术，工艺，此外每个工序之间传达必须要有。与此同时每隔两个小时必须对物料的裁剪尺寸进行测量，并做好记录。

涂锡带：涂锡带的裁剪首先要根据物料清单规定的尺寸进行裁剪，其实在裁剪的过程中要不定时的进行尺寸的测量,涂锡带的浸泡时间与烘烤时间以工艺作业指导书规定为标准。

玻璃：玻璃从仓库拉到车间在使用之间首先要对玻璃尺寸进行确认，在生产的过程中一拖也要进行抽测尺寸。

二，压带质量控制点

首先就是对烙铁头温度，加热台温度进行校准，使必须工作在工艺温度范围内。 焊接表面：焊接表面平整光亮，无焊锡渣，赃污，高点毛刺，助焊剂发白(烙铁头必须每5个工作如换一次并做好记录)。 焊接效果：不能有虚焊，脱焊，掉线……

焊接错位：正面涂锡带末端到电池片边缘距离为3mm(±0.5mm)偏移主栅线<0.5mm 电池片外观检查：不能有隐裂，裂片，破片(崩边缺角)……

三，串带质量控制点

首先就是对烙铁头温度，加热台温度进行校准，使必须工作在工艺温度范围内。 焊接表面：焊接表面平整光亮，无焊锡渣，赃污，

焊接效果：检查电池片的正反面不能有虚焊，脱焊，掉线……涂锡带上不能有高点，毛刺存在。

焊接错位：相邻两电池片正面涂锡带偏移≦1mm，反面涂锡带偏移主栅线距离<1/2主栅线，相邻两电池片之间的距离为2(±0.5mm)

电池片外观检查：不能有隐裂，裂片，破片(崩边缺角)……

四，排版质量控制点

摆片时电池串头部与玻璃边缘距离，尾部与玻璃边缘距离两侧电池串到玻璃边缘距离都必须符合图纸设计要求，汇流带的焊接符合图纸要求， 引线折弯必须要有一定的角度，况且引线不能有变形的现象。 高温胶纸的固定必须按按照图纸设计的去贴，一个都不能少。

铺设绝缘TPT与TPT时必须以引线折弯处为对准点。、

检查中板内不允许有杂物(焊锡渣，头发，tpt丝)电池片无隐裂，裂片，破片(崩边缺角)……现象。

五，层压质量控制点

层压机的参数设置必须符合工艺文件要求，层压机温度点检与实际温度在±2为合格，在更换物料(EVA)时相对应的工艺参数必须做调整。

对每次层压之后的高温布，硅胶板上残留的EVA胶必须及时的清理。

每天的温度点检和交联度实验必须去做，并且还要去核对标准看是否在正常范围内。 组件EL测试与外观检测严格按照《晶体硅太阳能组件检验规范》检验标准

六，装配质量控制点

装配质量控制点主要表现在：在组框机进行组完边框之后要不定时的留意边框的B面是否有划伤的现象，组好之后长边框与短边框之间的缝隙不能超过0.5mm，对组好边框之后的组件要定时的测量对角线的尺寸，并做好记录。

七，测试质量控制点

在标准测试环境下进行测试：STC条件：1000w/m2，AM1.5，温度25oC±2 oC。

校准程序须严格按照作业指导书进行操作， 组件标贴符合设计要求，字迹清晰，印刷清洁

八，包装质量控制点

包装控制点主要表现在：对组件背面缺胶的现象必须要很敏感，正面刮胶与清洁必须做到没有赃物附着在玻璃上面。

纸箱外观应该洁净，没有明显划痕。产品型号，数量，制造厂商信息清晰可见。

外箱应该有易碎或禁压标签，标签的粘贴牢固，整齐，美观。 打包后打包条与箱体边缘间距对称、美观

太阳能电池组件构成及各部分功能：

1) 钢化玻璃 其作用为保护发电主体(如电池片)，透光其选用是有要求的， 1.透光率必须高(一般91%以上)2.超白钢化处理

2) EVA 用来粘结固定钢化玻璃和发电主体(如电池片)，透明EVA材质的优劣直接影响到组件的寿命，暴露在空气中的EVA易老化发黄，从而影响组件的透光率，从而影响组件的发电质量除了EVA本身的质量外，组件厂家的层压工艺影响也是非常大的，如EVA胶连度不达标，EVA与钢化玻璃、背板粘接强度不够，都会引起EVA提早老化，影响组件寿命。

3) 电池片 主要作用就是发电，发电主体市场上主流的是晶体硅太阳电池片、薄膜太阳能电池片，两者各有优劣晶体硅太阳能电池片,设备成本相对较低，但消耗及电池片成本很高，但光电转换效率也高，在室外阳光下发电比较适宜薄膜太阳能电池，相对设备成本较高，但消耗和电池成本 很低，但光电转化效率相对晶体硅电池片一半多点，但弱光效应非常好，在普通灯光下也能发电，如计算器上的太阳能电池。

4) EVA 作用如上，主要粘结封装发电主体和背板

5) 背板 作用，密封、绝缘、防水(一般都用TPT、TPE等材质必须耐老化，大部分组件厂家质保都是25年，钢化玻璃，铝合金一般都没问题，关键就在与背板和硅胶是否能达到要求。)

6) 铝合金 保护层压件，起一定的密封、支撑作用

7) 接线盒 保护整个发电系统，起到电流中转站的作用，如果组件短路接线盒自动断开短路电池串，防止烧坏整个系统接线盒中最关键的是二极管的选用，根据组件内电池片的类型不同，对应的二极管也不相同

8) 硅胶 密封作用，用来密封组件与铝合金边框、组件与接线盒交界处有些公司使用双面胶条、泡棉来替代硅胶，国内普遍使用硅胶，工艺简单，方便，易操作，而且成本很低。

EVA主要用于晶硅电池的封装，少部分薄膜也有采用，主要起到保护电池以及将电池片与盖板玻璃紧密贴合的作用。目前市场使用的产品以Dupont的Tedlar最为知名，但也有不少其他国际大厂在生产各种产品，如3M等，国内亦有几家能够用于太阳能的生产商，如福斯特、斯威克等；

PVB目前主要用在薄膜电池、双玻组件、建筑一体化（BIPV）等领域，生产企业和产品型号均较少，目前以Dupont、Kuraray等为主，国内也有个别企业正在尝试生产，如鑫富药业等。

2、层压工艺

PVB、EVA对温度的要求不一样。EVA热塑性好，对设备要求没有PVB高。PVB对温度的要求较高（155℃左右），对层压机的要求比较高。

3.其他

PVB是建筑材料，对气体阻隔性能非常好，而且粘结性能很好，耐候性好很多。缺点在于对水汽的阻隔性能太差，这对太阳能电池而言是不可接受的。而且过于柔软不好操作。价格也是EVA的3倍以上。

（一） 从产业链各环节看，技术发展参差不齐、产能供需存在缺口，制约产业健康发展从国内太阳能产业链内部来看，太阳能光伏技术整体水平不高，核心技术多依赖国外.

在光伏行业，有着一条清晰而完整的产业链，主要涵盖包括硅料、硅片、太阳能电池、光伏组件、应用系统在内的5个产业链环节。每一环节都需要不同的设备技术和组织.

光伏产业目前已经涉及到的，包括很多方面，以后会更多：1、集中式光伏发电站； 2、分布式户用光伏发电站；3、风光互补路灯、光伏路灯、高速警示灯光伏供电、道路.

从现在看来，太阳能企业要想把握住这场行业发展大潮，面临着诸多挑战。据中利腾. 国内企业只要完成3~4个商业项目，整个产业链就会比较完整。

光伏行业属于新能源产业，各个地方政府都比较重视，但是总体来说，南方比北方更重视光伏行业，光伏行业主要还是集中在以无锡、深圳、包头、济宁为代表性的城市。.

光伏产业是指太阳能发电产业，包括太阳能电池（单晶硅、多晶硅、薄膜等）、配套组件（光伏接线盒、光伏电缆、逆变器等等）。光伏跟光热都属于太阳能产业