磁控溅射中的靶材分为金属合金靶和陶瓷靶，那像一些金属氧化物的靶材为什么叫陶瓷靶呢

磁控溅射吗

镍靶、Ni、钛靶、Ti、锌靶、Zn、铬靶、Cr、镁靶、Mg、铌靶、Nb、锡靶、Sn、铝靶、Al、铟靶、In、铁靶、Fe、锆铝靶、ZrAl、钛铝靶、TiAl、锆靶、Zr、铝硅靶、AlSi、硅靶、Si、铜靶Cu、钽靶T、a、锗靶、Ge、银靶、Ag、钴靶、Co、金靶、Au、钆靶、Gd、镧靶、La、钇靶、Y、铈靶、Ce、钨靶、w、不锈钢靶、镍铬靶、NiCr、铪靶、Hf、钼靶、Mo、铁镍靶、FeNi、钨靶、W等金属溅射靶材。希望可以帮到你

二、根据不同应用方向可分为（了解）

1、半导体关联靶材：

电极、布线薄膜：铝靶材，铜靶材，金靶材，银靶材，钯靶材，铂靶材，铝硅合金靶材，铝硅铜合金靶材等。

储存器电极薄膜：钼靶材，钨靶材，钛靶材等。

粘附薄膜：钨靶材，钛靶材等。

电容器绝缘膜薄膜：锆钛酸铅靶材等。

2、磁记录靶材：

垂直磁记录薄膜：钴铬合金靶材等。

硬盘用薄膜：钴铬钽合金靶材，钴铬铂合金靶材，钴铬钽铂合金靶材等。

薄膜磁头：钴钽铬合金靶材，钴铬锆合金靶材等。

人工晶体薄膜：钴铂合金靶材，钴钯合金靶材等。

3、光记录靶材：

相变光盘记录薄膜：硒化碲靶材，硒化锑靶材，锗锑碲合金靶材，锗碲合金靶材等。

磁光盘记录薄膜：镝铁钴合金靶材，铽镝铁合金靶材，铽铁钴合金靶材，氧化铝靶材，氧化镁靶材，氮化硅靶材等。

常见金属靶材的种类如下：

常规金属靶材镁Mg、锰Mn、铁Fe、 钴Co、镍Ni、铜Cu、锌Zn、铅Pd、锡Sn、 铝AI

小金属靶材铟In、锗Ge、镓Ga、锑Sb、 铋Bi、 镉Cd

难熔金属靶材钛Ti、锆Zr、 铪Hf、 钒V、铌Nb、钽Ta、铬Cr、钼Mo、钨W、铼Re

贵金属靶材金Au、银Ag、钯Pd、铂Pt、铱Ir、 钌Ru、铑Rh、锇Os

半金属靶材碳C、硼B、 碲Te、硒Se

稀土金属靶材钆Gd、钐Sm、镝Dy、铈Ce、钇Y、镧La、镱Yb、铒Er、 铽Tb、钬Ho、铥Tm、钕Nd、错Pr、镥Lu、铕Eu、钪Sc

陶瓷靶材氧化锌铝AZO、氧化铟锡ITO、氧化锌ZnO、 氮化铝AIN、氮化钛TiN、氮化硼BN、钛酸钡BaTiO3、钛酸铋BiTiO3、 碳化硅SiC、钛酸锶SrTiO3、 碳化钛TiC、碳化钨WC、铌酸锂LiNbO3

合金靶材金锡合金AuSn、金锗镍合金AuGeNi、锌铝合金ZnAl、铝铜合金AICu、钴铁硼合金CoFeB、 铁锰台金FeMn、 铱锰合金IrMn.锆钛合金ZrTi、镍铬合金NiCr、铜铟镓合金CuInGa、铜锌锡硫合金CZTS

根据靶材的应用进行划分,主要包括半导体领域应用靶材、记录介质用靶材、显示薄膜用靶材、光学靶材、超导靶材等.

半导体关联靶材

半导体领域应用靶材主要包括电极布线膜用靶材、阻挡膜用靶材、粘附膜用靶材、欧姆接触膜用靶材和电阻膜用靶材.

通常,纯Al和Al合金靶材用于集成电路和功耗较小的分立器件中Au靶材则主要用于功率晶体管和微波器件等阻挡膜用靶材主要是W,Mo等难熔金属和难熔金属硅化物粘附膜用靶材主要有Ti,W等电阻膜用靶材有NiCr,MoSi2,WSi等记录介质用靶材

记录介质用靶材分为磁记录介质用靶材、光记录介质用靶材两类.

磁记录介质用靶材主要有钴铬系合金和铁及铁的氧化物靶材光记录介质常见的膜层有反射膜、记录膜、保护膜等.

反射膜用纯Al或Al合金靶材溅射沉积制成

记录膜用稀土2过渡金属靶材溅射沉积制成,如GdCo,GdFe,DyFe,GdTbFe,FeTbCo等保护膜则用Si靶在N2气氛中反应溅射沉积获得.

显示器件用靶材

透明导电膜包括以金属基、氧化物半导体基为主的各种材料.

目前,ITO靶作为制备高性能透明导电膜的最好材料,还没有其他材料可代替.

除ITO靶外,用于制备显示器件薄膜的靶材还包括:

制备电极布线膜用的难熔金属

制备电极布线膜和遮光薄膜的Al及Al合金靶材

制备电致发光薄膜发光层的ZnS-Mn靶材

制备电致发光薄膜绝缘层的Y2O3和BaTiO3等靶材.

由于 铬在溅射时直接由固态直接变为气态，故虽然铬的溅射系数很大，膜层沉积速率很快 所以达不

到想要的效果

主要应用在：

1、微电子领域

2、平面显示器用靶材

3、存储技术用靶材

根据铝合金的成分和生产工艺特点,通常分为形变与铸造铝合金两大类.工业上应用的主要有铝-锰,铝-镁,铝-镁-铜,铝-镁-硅-铜,铝-锌-镁-铜等合金.变形铝合金也叫熟铝合金,据其成分和性能特点又分为防锈铝,硬铝,超硬铝,锻铝和特殊铝等五种.

铝合金是纯铝加入一些合金元素制成的，如铝—锰合金、铝—铜合金、铝—铜—镁系硬铝合金、铝—锌—镁—铜系超硬铝合金。铝合金比纯铝具有更好的物理力学性能：易加工、耐久性高、适用范围广、装饰效果好、花色丰富。铝合金分为防锈铝、硬铝、超硬铝等种类，各种类均有各自的使用范围，并有各自的代号，以供使用者选用。

铝合金仍然保持了质轻的特点，但机械性能明显提高。铝合金材料的应用有以下三个方面：一是作为受力构件；二是作为门、窗、管、盖、壳等材料；三是作为装饰和绝热材料。利用铝合金阳极氧化处理后可以进行着色的特点，制成各种装饰品。铝合金板材、型材表面可以进行防腐、轧花、涂装、印刷等二次加工，制成各种装饰板材、型材，作为装饰材料。

成本低，而且使用一种加工工艺可以大量生产同样的零部件，这也是他的特点之一。

它的材料特性是轻、容易加工、以及在可耐强度方面不象碳素纤维有一个最大受力范围。这是什么意思呢？也就是说，碳素纤维因为有纤维的特性所以在一定的纤维方向上受力能力很强，但是在在别的方向上的受力就会很差。在制造一个比较大的零部件时可能会使用好几层碳素纤维，在超过受力能力时该零部件就会象酥饼一样变得一层一层的。而铝合金在承受了一定的力量后，会慢慢变形再损坏。

还有就是铝合金容易加工和具有高度的散热性。特别是车辆引擎部分特别适合使用铝合金材料。这里几乎完全是铝合金的一家天下。

此外，铝合金的加工工艺多种多样。通用性较强。

铝合金专利技术集:

1、保温隔热推拉铝合金门窗

2、保温隔热推拉铝合金门窗框和门窗扇

3、爆炸焊接铝合金复合钎料的制造方法

4、本体开槽自扣压合式铝合金－不锈钢复合型材

5、本体开槽自扣压合式铝合金－不锈钢复合型材

6、玻璃推拉铝合金窗

7、测定熔融铝合金中镁含量的方法

8、插装式铝合金框架

9、车体的铝合金护屏侧端盖

10、衬塑抛光电泳仿不锈钢铝合金管材

11、单盘组装箱式铝合金内浮盘

12、单元插装式铝合金杆塔

13、淡水用铝合金牺牲阳极材料

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15、多功能铸铝合金速测仪比较器

16、多节装配式铝合金扬声器盆架

17、二种型材铝合金或塑钢玻璃扇推拉门窗

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41、冷室压铸铝合金无拔模斜度的压铸方法

42、利用耐腐蚀铝合金层保护镍基合金制品的表面

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44、铝合金、玻璃钢复合保温门窗型材

45、铝合金、塑钢门窗密封改造

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47、铝合金扁铸锭同水平热顶铸造装置

48、铝合金表面化学纹理直接蚀刻的方法

49、铝合金薄膜及靶材和使用它的薄膜形成方法

50、铝合金窗户保护帘

51、铝合金磁力封闭推拉窗

52、铝合金窗用欧式五金件安装槽口

53、铝合金电缆桥架

54、铝合金电暖气

55、铝合金叠梁闸

56、铝合金防盗窗

57、铝合金复合精炼变质方法

58、铝合金防盗窗的组装结构

59、铝合金弧型绿板

60、铝合金护栏

61、铝合金挤压模的表面激光合金化处理方法

62、铝合金挤压铸造的方法

63、铝合金卷帘门底梁型材

64、铝合金卷闸门窗用导槽结构

65、铝合金门窗安全栓

66、铝合金门、窗的边框型材

67、铝合金门窗挂轮装置

68、铝合金门窗扣钩

69、铝合金门窗扇框架型材

70、铝合金门窗套

71、铝合金门窗中间锁

72、铝合金密封型推拉窗

73、铝合金散热器

74、铝合金砂面处理机

75、铝合金梳棉机盖板

76、铝合金推拉窗

77、铝合金推拉窗防盗锁具

78、铝合金推拉门窗锁

79、铝合金型材

80、铝合金型材模具

81、铝合金型材气动多工位模具

82、铝合金压铸型腔、冲头润滑剂

83、铝合金压铸用水基涂料

84、铝合金异管型采暖散热器

85、铝合金用的快速凝固颗粒金属细化变质剂的生产方法

86、铝合金直线快速接续管

87、铝合金制热交换器

88、铝合金铸造用保温胃口套制造新工艺及其产品

89、铝或铝合金工件的制备方法、含水镀液和其应用、组件和其制备方法

90、铝或铝合金用洗净剂及洗净方法

91、铝及铝合金熔体电磁过滤复合净化装置

92、铝及铝合金熔体复合净化方法

93、铝及铝合金熔体复合净化装置

94、门窗上亮用隔热式铝合金上边框型材

95、门窗用隔热式铝合金中立型材

96、密封节能组合铝合金阳台

97、模铸用铝合金材料及投影电视用耦合器的表面处理方法

98、木铝复合结构铝合金窗玻璃压条

99、内开铝合金保温节能窗

100、内开式内镶木隔热铝合金窗