真空泵的作用

真空泵是一种旋转式变容，必须有前级泵配合，使用在较宽的压力范围内，才能产生较大的抽速，真空泵类型包括水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等。

目前真空泵是我国国民经济各行业，应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种，被广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。

真空泵的工作原理是 利用机械、物理、化学或物理化学的方法，对被抽容器进行抽气 ，从而在这个封闭空间中改善、产生和维持真空。

一、真空泵抽取真空（机械法）：

1、变容真空泵，是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的。这种泵分往复式、旋转式两种。 

2、动量传输泵，它依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。分子真空泵水蒸汽喷射泵、扩散泵属于这一类。 

二、工作原理：

气体捕集式真空泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵内表面上的真空泵，有以下几种形式：  

1、吸附泵：依靠具有大表面积的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。   

2、吸气剂泵：它是一种利用吸气剂以化学方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。 

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1、液环泵：

虽然液环泵属于粗真空泵，但在中国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等领域仍然有着很大的市场。

液环泵工作原理在国外，液环泵的销售额占全部真空泵市场的14%，仅次于干泵，由于液环泵大部分是铸件，加工要求也不高，属劳动密集型产品。

2、滑阀泵：

由于滑阀泵比较耐用、可靠，国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，滑阀泵工作原理但是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。

3、直联旋片泵：

随着真空技术在各个应用领域的不断扩大，直联旋片泵的需求量越来越大。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关，价格又远比国外的泵便宜，所以国产泵仍然有竞争优势。

关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题，确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠，同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。

真空泵分类广泛，主要有WLW系列立式无油真空泵、W型往复式真空泵、2X,2XZ型旋片式真空泵、ZJ，ZJH型罗茨真空泵（ZJH型为专利产品）、2SK、SK型水环式真空泵、2BV、2BA型水环式真空泵、H、2H型滑阀真空泵、TLZ型真空泵、SL型罗茨鼓风机、JZJHX型罗茨旋片真空机组、JZJHS型罗茨水环真空机组、JZJHWLW型立式无油真空机组、JZJP型罗茨水喷射真空机组、JZJHBA型罗茨水环真空机组、RPP型水喷射真空泵、JZJH2H型罗茨滑阀式真空机组等型号。

真空是指压强远小于101.325千帕（kPa）（即1大气压）的稀薄气体空间。按气体压强大小的不同，通常把真空范围划分为：低真空1×105 ～1×102Pa，中真空1×102~1×10-1Pa，高真空1×10-1～1×10-5Pa，超高真空1×10-5～1×10-9 Pa，极高真空1×10-9Pa以下。真空泵是用以抽除特定密封器内的气体，使该容器获得一定真空度的基本设备，由于现代科学技术的高度发展，真空泵的应用遍及各个科学领域和各种企业事业单位，可供冶金、化工、轻工、石油、医疗、制药、印染、电器、电真空、半导体、食品、原子能、纺织等行业应用。

真空泵广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。。

真空泵是利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构，立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。

卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。

泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。

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干式机械真空泵的应用：

1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

参考资料来源：百度百科-真空泵

参考资料来源：百度百科-干式真空泵

1、制药和化工

真空泵应用领域包括医药、农药、化妆品与盥洗卫生品、肥皂与合成洗涤剂、表面活性剂、印刷油墨及其助剂、粘接剂、感光材料、水处理剂与高分子絮凝剂、造纸助剂、皮革助剂、矿物浮选剂、铸造用化学品、金属表面处理剂。

适用产品：真空机组、水环真空泵系列、滑阀真空泵系列、往复真空泵系列。

2、真空镀膜、真空干燥、表面处理

在真空中制备膜层包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段但一般来说真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空泵应用领域在镀膜行业、表面处理以及干燥环节起着至关重要的作用。

适用产品：真空机组、罗茨真空泵系列、滑阀真空泵系列、旋片真空泵系列等。

3、真空冶炼、砖头、陶瓷制造业

真空泵用途体现在真空技术对于冶金、砖陶行业来说是非常关键的一个部分、它可以用来防止金属在加工过程中因高温而被氧化。通过真空将砖和陶瓷里面的水分和空气排出以确保其拥有最高的品质。

适用产品：滑阀真空泵系列、旋片真空泵系列、真空机组、水环真空泵系列。

4、食品包装、挤奶、饮料行业

真空包装技术起源于20世纪40年代。1950年聚酯、聚乙烯塑料薄膜成功地用于真空包装、此后真空包装便得到迅速发展。真空包装是将包装容器内的空气全部抽出密封、维持袋内处于高度减压状态、空气稀少相当于低氧效果使微生物没有生存条件以达到果品新鲜、无病腐发生的目的。

适用产品：水环真空泵系列、旋片真空泵系列、无油真空泵系列、真空机组。

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真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到最佳配置，选择真空系统时，应考虑下述各点：

首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。

在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。

检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。

检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。

参考资料来源：百度百科-真空泵

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。