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真空泵如何选型 真空泵选型方法

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2023-01-14 17:52:26

真空泵如何选型 真空泵选型方法

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2026-04-28 23:51:47

真空泵如何选型选用真空泵时,需要注意下列事项:

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级 

真空泵如何选型选用真空泵时,需要注意下列事项:

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。

3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。

5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。

6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。

7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。

8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

9、真空泵的价格、运转及维修费用。

水环式真空泵的选择

一、泵类型的确定

泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。

泵工作时,需要注意以下两个方面:

1.尽可能要求在高效区内,也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。

2.应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行,不仅效率极低,而且工作很不稳定,易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言,在此区域之内运行,往往还会发生汽蚀现象,产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏,以致泵无法工作。

根据以上原则,当泵所需的真空度或气体压力不高时,可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高,单级泵往往不能满足,或者,要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量,即要求性能曲线在较高真空度时较平坦,可选用两级泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,可选用水环-大气泵或水环-罗茨真空机组作为抽真空装置。

如果只作真空泵用,则选用单作用泵比较好。因为单作用泵的构造简单,容易制造和维护,且在高真空情况下抗汽蚀性好。

如果仅作较大气量的压缩机使用,则选用双作用的泵比较合适。因为双作用泵的气量大,体积小,重量轻,径向力能得到自动平衡,轴不容易产生疲劳断裂,泵的使用寿命较长。

摘要:https://www.chinabaike.com/t/31782/2014/0511/2191272.html

最新回答
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文艺的草莓
2026-04-28 23:51:47

真空泵的选择首先要知道你对真空度的要求,然后就是抽气量的要求真空泵在运行时抽气量是在逐渐减小的,你需要知道平稳运行状况下的。真空泵的抽气量然后根据这个就可以初步选型了。如果真空泵要求不高可以使用水环真空泵。高真空度比较常用的有螺杆泵,罗茨泵等。

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2026-04-28 23:51:47
铭牌上面有所能达到极限真空

不过通常选型的时候,要选择比你所需极限真空小一个数量级的泵

真空泵种类 工作压强范围(Pa) 起动压强(Pa)

活塞式真空泵 1×105~1.3×102 1×105

旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105

水环式真空泵 1×105—2.7×103 1×105

罗茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103

涡轮分子泵 1.3—1.3×10-5 1.3

水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105

油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10

油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105

分子筛吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105

溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1

钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2

锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10

低温泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1

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2026-04-28 23:51:47
微型真空泵、微型气泵选型说明

随着仪器仪表工业的蓬勃发展,体积小巧、无油环保的微型真空泵、微型气泵得到越来越广泛的使用。如何才能在规格繁多的微型泵中选择最恰当的产品呢?

首先要明确微型泵的用途。我们分三大类逐一讨论。

一、如果只是用微型气泵输出压缩空气。

简单地说,就是只用它来打气、充气,泵的抽气口基本不用。这种情况比较简单,按输出压力从大到小依次可选:PCF5015N、FAA8006、FAA6003、FAA4002、FM2002、FM1001。当然还要参考流量指标等相关技术参数。

二、如果是以下几种情况,则应该选用WKA系列产品。

1、用微型泵抽气或抽真空,但有时会有液态水进入泵腔。

2、要求微型泵既能抽气又能抽水。

3、主要用微型泵抽水,但不希望在抽水前靠人工加“引水”。(有些水泵在工作前需要人工加入一些“引水”,这样泵才能把低处的水抽上来,否则泵无法抽水甚至损坏。)WKA系列产品的长处就在于,没有接触到水时,它就抽真空,形成真空后靠气压把水压上来,而后开始抽水。

4、用微型泵抽水,但有些时候可能泵没有水可抽,处于“干转”状态。某些传统水泵畏惧“干转”,甚至是致命的。而WKA系列产品本质上是一种复合功能泵,它集成了真空泵和水泵的功能,有人把它叫作“真空水泵”。因此,在没有水的情况下,它会抽真空,有水的时候它就抽水。无论是抽气状态还是抽水状态,都属于正常工作范畴,也就无所谓“干转”损伤。

三、如果是用微型泵抽气,情况稍微复杂些。

(一)、判断微型泵抽气端工况

用于抽气的微型泵分为两类:气体采样泵和微型真空泵。虽然通常总是不加区分地把它们简单统称为微型真空泵,但从技术角度二者是有区别的,选型时更要特别注意。

简而言之,气体采样泵只能带小负载(即:泵抽气端阻力不能太大),但价格便宜;严格意义上的微型真空泵可以带大负载(抽气端允许大阻力,甚至完全堵塞),但价格稍贵。二者具体区别可以详见文章《关于微型真空泵与气体采样泵的区别》,不再复述。

气体采样泵有:PM系列、SA系列、SB系列;微型真空泵有: VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列,这些系列下的所有规格都是真正的微型真空泵,如VM7002、VAA6005、PC3025N等。

对于微型泵抽气端阻力的大小可以用仪器测定,把它与泵的技术参数“进气口允许最大阻力”Por值比较就可以知道选型是否合适。通常根据经验采用简便的方法确定,比如下述几种情况都属于负载较大(即泵的抽气端阻力较大),只能在微型真空泵范围内选型:

①在泵的抽气端要接很长的管道,或管道弯曲点多、弯曲厉害甚至会阻塞封闭,或管道内孔很小(比如小于φ2毫米);

②在管路上有节流阀、电磁阀、气路开关、过滤器等元件;

③泵抽气口与密闭容器连接,或该容器虽未密闭但进气量较小;

④泵抽气口与吸盘连接,用于吸附物体(如集成块、精密工件等);

⑤泵的抽气端与过滤容器相连,容器口放置滤网,用于加速液体过滤。

(二)、判断微型泵排气端工况

以上都是在讨论微型泵抽气端阻力的问题,根据这些判断条件已经缩小了选型的范围,但还必须考虑排气端阻力问题,这样才能最终确定可选范围。

在实际应用中,微型真空泵面临的排气状况是不一样的:一类是排气很顺畅,直通大气;另一类是排气阻力较大,比如在排气管路上有阀、细小弯管、大阻尼传感器、非专用的消音器、在液面以下排气、气体排往密闭或半密闭容器等。在现代设计制造中,把面对不同排气条件的微型真空泵区别对待。“排气口允许最大阻力Por值”这一参数就是标定泵的排气能力,让我们可以用严格的技术手段确定选型是否恰当。

简单地说,对于排气阻力大的系统,我们的选型范围是:FM系列、FAA系列、PCF系列;对于排气阻力小的系统,选型范围是:VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、VBH系列。根据以上几个步骤,我们已经可以确定微型泵的选型范围了。在划定的几个可选系列中,再根据我们对流量和真空度的要求就可以确定具体的型号了。对于质量欠佳的产品未列入本文,尽量不要选用。注意参数选择要留有余量,特别是流量参数。泵接入气路系统后,由于管道、阀门等气路元件要造成压力损失,会衰减流量,因此得到的流量小于泵的标称流量还有一些和选型相关的问题罗列如下,根据使用情况考虑。

1、带负载启动问题。

如果微型气泵在启动前它的抽气口就已经存在真空或排气口已经存在压力,则要考虑泵的另一技术参数:进气口最大启动负载Pis值,排气口最大启动负载Pos值。典型应用事例就是使用微型气泵维持容器内的真空或正压状态,当容器内的真空或正压低于设定值时,需要泵通电启动,高于设定值时停机。可以在自身能达到的极限真空度下启动的产品有:VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、VBH系列;可以在自身能达到的最大输出压力下启动的产品有:FM系列、FAA系列、PCF系列。 该性能对制造商的技术水平要求较高。

2、微型泵的介质温度问题。

根据通过泵的介质气体的温度,选择要普通型的还是要高温型的。

3、微型泵的可靠性问题。

根据微型泵出故障后产生后果的严重性而定,完全根据自己的要求。优质品的平均无故障连续运行时间都大于1000小时,有的高到数千小时。特别注意,这项参数是在满负荷、不间断的运行状态下测定的,是最恶劣的工况,如果实际使用不是满载或连续运行,该数值会高一些,高多少视泵的工况而定。该性能完全是考验制造商的技术实力,从产品外观上可以看出一些,如采用特制电机而非普通低价电机、体积相当的情况下重量较重等。根据产品价格也可略知一二。

4、微型泵的电磁干扰问题。

如果有精密电路控制微型泵,视电路抗干扰能力而定,可能需要订购低电磁干扰的微型泵。

详细资料你可以参考气海机电制造公司的网页

机智的篮球
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2026-04-28 23:51:47
水泵选型的分类

1、根据泵的工作原理和结构分:叶片式泵、容积式泵

(和其他类型的泵)如:喷射泵、空气升液泵、电磁泵、旋片式真空泵

水环式真空泵等

叶片式泵如:离心泵、旋涡泵、混流泵、加油泵、螺杆泵等

容积式泵如:往复泵、转子泵两种

往复泵:电动泵、蒸气泵

电动泵:柱塞(活塞)泵、隔膜泵、计量泵

转子泵:齿轮泵、螺杆泵、罗茨泵、滑片泵等

2、根据介质上分:

清水泵、污水(污物)泵、油桶泵、耐腐蚀泵、隔膜泵

磁力泵

排污泵

离心泵

螺杆泵

油泵等;

3、从使用安装方式上分:

隔膜泵,油泵,加油泵,磁力泵,油桶泵,手摇泵,离心泵,多级泵等。

确定了水泵站的设计流量和设计扬程后,就可以利用有关技术图表,进行确定水泵型号和规格,其方法一、使用水泵性能规格表选泵型水泵厂在产品目录中都提供了这种表格,表中每一个型号的性能都有三行数据,究竟以哪一行为准呢一般设计流量和设计扬程应与性能表列出的中间一行的数值相一致,或是相接近,而又必须落在上、下两行的范围内,因为这个范围是水泵运转的高效率区域,这个型号的水泵就认为是符合实际需要的,水泵算是选定了。

使用水泵选型表选泵型

根据确定的设计扬程和设计流量,在选型表中,横表头查找出与设计扬程相符合或相接近的扬程数值;再在纵表头找出与设计流量相一致或相接近的流量数值,纵横相交于小方块,它标出了

水泵的型号,初步选出泵型。但有时会出现两种泵型都满足设计要求,此时,可把这两种泵型作方案比较,进行技术经济分析然后选定其中一个合适的泵型。这种选择水泵的方法比较简便而又快捷。三、使用水泵性能综合型谱图选泵型将离心泵、轴流泵、混流泵、渣浆泵的工作区域全部综合画在同一张图上,这就构成了农用水泵系列综合型谱图,该图绘制比较复杂,但使用比较方便。根据确定的设计流量和设计扬程,在型谱图上,首先在纵坐标上以设计扬程查找出符合扬程要求,而流量不等的几种水泵,然后再在横坐标上以设计流量来确定选用哪一种水泵。如果设计流量较大时,单泵未能符合要求,可考虑多机作业,但应注意尽量采用相同型号的水泵,以利于施工安装、管理维修。

水泵系列:隔膜泵

磁力泵

排污泵

离心泵

螺杆泵

油泵

加油泵

齿轮泵

油桶泵

手摇泵

旋涡泵

多级泵

化工泵

清水泵

不锈钢泵

玻璃钢泵

塑料泵

往复泵

液下泵

深井泵

潜水泵

自吸泵

计量泵

高温泵

机械密封真空泵系列:旋片式真空泵

水环式真空泵

精明的跳跳糖
轻松的水蜜桃
2026-04-28 23:51:47
你好

要选择真空泵了解真空的种类与工作原理

真空泵种类大全

按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽,大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求,因此选用不同类型真空泵组成的真空抽气机组进行抽气的情况较多。为了方便起见,将这些泵按其工作原理或其结构特点进行一些具体的详细的分类是必要的。现分述如下:

一、气体传输泵

气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出,借以达到抽气目的的真空泵,这种泵基本上有两种类型:

1)变容真空泵

变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵。气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种:

⑴往复真空泵:是利用泵腔内活塞做往复运动,将气体吸入、压缩并排出。因此,又称为活塞式真空泵。

⑵旋转真空泵:是利用泵腔内活塞做旋转运动,将气体吸入,压缩并排出。旋转真空泵又有如下几种型式:

①油封式真空泵:它是利用油类密封各运动部件之间的间隙,减少有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置,故又称气镇式真空泵。按其结构特点分为如下五种型式。

a)旋片式真空泵:转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近,在转子槽内装有两个(或两个以上)旋片,当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触,此旋片随转子一起旋转,可将泵腔分成几个可变容积。

b)滑阀式真空泵:在偏心转子外部装有一个滑阀,转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动,滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动,而把泵腔分成两个可变容积。

c)定片式真空泵:在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子,泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片,当转子旋转时,滑片能上、下滑动将泵腔分成两个可变容积。

d)余摆线式真空泵:在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子,它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。

e)多室旋片式真空泵:在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。

②干式真空泵:它是一种不用油类(或液体)密封的变容真空泵。

③液环式真空泵:带有多叶片的转子偏心装在泵壳内,当它旋转时,把液体(通常为水或油)抛向泵壳形成泵壳同心的液环,液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小容积,故亦称旋转变容真空泵。

④罗茨真空泵:泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子,转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变真空泵。机械增压泵即为这种型式的真空泵。

2)动量传输泵

这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型。

⑴分子真空泵:它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子,使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式:

①牵引分子泵:气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被送到出口,因此,是一种动量传输泵。

②涡轮分子泵:泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子,它在定子圆盘(或定片)间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。

③复合分子泵:它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合式分子真空泵。

⑵喷射真空泵:它是利用文丘里(Venturi)效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵,适于在粘滞流和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种:

①液体喷射真空泵:以液体(通常为水)为工作介质的喷射真空泵。

②气体喷射真空泵:以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。

③蒸气喷射真空泵:以蒸气(水、油或汞等蒸气)作为工作介质的喷射真空泵。

⑶扩散泵:以低压高速蒸气流(油或汞等蒸气)作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸气射流中,被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的,这种泵适于在分子流状态下工作。可分为:

①自净化扩散泵:泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵。

②分馏式扩散泵:这种泵具有分馏装置,使蒸气压强较低的工作液蒸气进入高真空工作的喷嘴,而蒸气压强较高的工作液蒸气进入低真空工作的喷嘴,它是一种多级油扩散泵。

⑷扩散喷射泵:它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种型式。

⑸离子传输泵:它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下,输送到出口的一种动量传输泵。

二、气体捕集泵

这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵,有以下几种型式。

1)吸附泵

它主要依靠具有大表面的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。

2)吸气剂泵

它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种型式。

3)吸气剂离子泵

它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上,以达到抽气的目的。它有如下几种型式。

⑴蒸发离子泵:泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气材料上,以实现抽气的一种真空泵。

⑵溅射离子泵:泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上,以实现抽气目的的一种真空泵。

4)低温泵

利用低温表面捕集气体的真空泵

3.1.3 真空泵的性能参数及使用范围

3.1.3.1 真空泵的性能参数

1)真空泵的极限压强

泵的极限压强单位是Pa,是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作,在不引入气体正常工作的情况下,趋向稳定的最低压强。

2)真空泵的抽气速率

泵的抽气速率单位是m3/s或l/s,是指泵装有标准试验罩,并按规定条件工作时,从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。

3)真空泵的抽气量

真空泵的抽气量单位是Pa m3/s或Pa l/s。是指泵入口的气体流量。

4)真空泵的起动压强

真空泵的起动压强单位为Pa,它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。

5)泵的前级压强

真空泵的前级压强单位是Pa,它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。

6)真空泵的最大前级压强

真空泵口最大前级压强单位是Pa,它是指超过了能使泵损坏的前级压强。

7)真空泵的最大工作压强

真空泵的最大工作压强单位是Pa,它是指对应最大抽气量的入口压强。在此压强下,泵能连续工作而不恶化或损坏。

8)压缩比

压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。

9)何氏系数

泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。

10)抽速系数

泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。

11)返流率

泵的返流率单位是g/cm2.s。它是指泵按规定条件工作时,通过泵入口单位面积的泵流质量流率。

12)水蒸气允许量

水蒸气的允许量单位是kg/h,它是指泵在正常环境条件下,气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。

13)最大允许水蒸气入口压强

最大允许水蒸气入口压强单位是Pa 。它是指在正常环境条件下,气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。

根据你的要求,我认为选取油封式真空泵更好.

原因:

1、它的真空可以抽到很低,这个可以根据种类来选择.最低的真空可以抽到0

2、它是以油类密封可以保证你的湿度

3、它不需要用到水循环系统所以体积也小很多

壮观的小白菜
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2026-04-28 23:51:47
按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体传输泵和气体捕集泵。

气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出,借以达到抽气目的的真空泵,这种泵基本上有两种类型:变容真空泵(往复真空泵,旋转真空泵);动量传输泵(分子真空泵,喷射真空泵,扩散泵,扩散喷射泵,离子传输泵)。

气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵,这种泵基本上有四种类型:吸附泵,吸气剂泵,吸气剂离子泵,低温泵。

常用国产真空泵的汉语拼音代号及名称

W 往复真空泵 Z 油扩散喷射泵(油增压泵)

D 定片真空泵 S 升华泵

X 旋片真空泵 LF 复合式离子泵

H 滑阀真空泵 GL 锆铝吸气剂泵

ZJ 罗茨真空泵(机械增压泵) DZ 制冷机低温泵

YZ 余摆线真空泵 DG 灌注式低温泵

L 溅射离子泵 IF 分子筛吸附泵

XD 单级多旋片式真空泵 SZ 水环泵

F 分子泵 PS 水喷射泵

K 油扩散真空泵 P 水蒸气喷射泵

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忧伤的西牛
2026-04-28 23:51:47
进、出气口可以用冷阱捕捉气体中的制程,但排气一定不能密封,会引起泵的排气压力升高,负载变大,真空下降,制程沉积,影响泵的使用寿命。你可以在排气冷阱后在通入压缩空气,进行稀释。但最根本解决方法是接排气到室外,进行处理。