真空泵有哪些类型？
凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵，称为机械真空泵。
机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下：
一、变容真空泵
它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。
1、往复式真空泵 ：利用泵腔内活塞往复运动，将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。
2、旋转式真空泵 ： 利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。它大致有如下几种分类：
1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙，减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。
2)液环真空泵 将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时，把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油，所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。
3)干式真空泵 它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体，因此，适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。
4)罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。
二、动量传输泵
它依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。这类泵可分为以下几种形式：
1、分子真空泵 ：它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为：
1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。
2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
按其工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。
一、气体输送泵包括：1、液环真空泵（水环式真空泵）2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等
二、气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。
1.首先应该充分了解被抽气体成分。如气体中含不含可凝蒸气、有无颗粒灰尘、有无腐蚀性、爆炸性等。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。如抽取气体还有腐蚀性，则须选用不锈钢材质。若抽取的气体具有爆炸性，则应该选择水环式真空泵并且配防爆电机，因为水环式真空泵整个工作过程是等温的。
2.真空设备或者零部件对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环式真空泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。若要求不严格，可以选择有油泵，并且加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
3.真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵如水环式真空泵，或者把油蒸气排到室外。
4.如有多台大型水环式真空泵同时工作，循环液应该进行冷却，否则影响真空度。冷却装置可以配备冷却塔，同时须配增压泵对管路加压。
5.真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。通常选择真空泵泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
6.真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
7.真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若环境不允许，应选择无振动的泵或者采取减震措施。
气体传输泵
气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：
变容真空泵
利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种：
（1）往复式真空泵：是利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。
（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。旋转真空泵又有如下几种形式：
① 油封式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。按其结构特点分为如下五种形式。
a旋片式真空泵：转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近，在转子槽内装有两个（或两个以上）旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，此旋片随转子一起旋转，可将泵腔分成几个可变容积。
b.滑阀式真空泵：在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而泵腔分成两个可变容积。
c.定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上下滑动将泵腔分成两个可变容积。
d.余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。
e.多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。
②干式螺杆真空泵：它是一种不用油类（或液体）密封的变容真空泵。
③液环式真空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体（通常为水或油）抛向泵壳内形成泵壳同心的环液，环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积，故亦称旋转变容真空泵。
④罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子，转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变容真空泵。机械增压泵即为这种形式的真空泵。
动量传输泵：这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型。
（1） 分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式：
① 牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得力量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。
②涡轮分子泵：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。
③ 复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联起来的一种复合式分子真空泵。
（2） 喷射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种：
① 液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。
② 气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。
③ 蒸汽喷射真空泵：以蒸汽（水、油或汞蒸汽）作为工作介质的饿喷射真空泵
（3） 扩散泵：以低压高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：
① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵
② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。
（4） 扩散喷射泵：它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种形式。
（5） 离子传输泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。
气体捕集泵
这种泵是一种是气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。
吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵
吸气剂泵：它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种形式。
吸气剂离子泵：它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下几种型式。
（1）蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。
（2）溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。
低温泵：利用低温表面捕集气体的真空泵
按其真空度可以分为：粗真空、高真空、超高真空三大类。
粗真空系
主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。广泛用于食品、纺织、医药、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工艺过程中。该型泵具有真空度高、结构简单，使用方便、工作可靠、维护方便的特点。
主要用于粗真空。抽气量大的工艺过程中。它主要用来抽除空气和其它无腐蚀，不溶于水，含有少量固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空。所吸气体中允许混有少量液体。它被广泛应用于机械、制药、食品、石油化工等行业中。
是获得粗真空的主要真空设备之一。广泛应用于化工、食品、建材等部门，特别是在真空结晶、干燥、过滤、蒸发等工艺过程中更为适宜。
无油(耐腐蚀)立式往复真空泵是卧式真空泵的更新换代产品，是获得粗真空的主要设备。由于采用全密封装置，实现了曲轴箱和汽缸的完全隔离；加上活塞环使用了自润滑材料，便实现了先进的无油润滑。由于无污水排放，所以该型真空泵特别适用于化工、医药和食品等行业的真空蒸馏、真空蒸发、真空干燥、真空浓缩、真空浸渍等工艺过程中。
高真空系
滑阀式真空泵
（Rotary Piston Vacuum Pump）
广泛应用于真空拉晶、真空镀膜、真空冶金、真空热处理、真空浸渍、真空干燥、真空蒸馏、真空练泥、航空航天模拟试验等新材料、新技术、新工艺的生产与研制中。
滑阀真空泵可单独使用，也可作为罗茨真空泵、油增压泵、油扩散泵的前级泵的使用。当抽吸对黑色金属有腐蚀、对真空油起化学反应、含大量蒸汽、大量粉尘的气体时，需附加装置。优点：相比旋片式真空泵耐用性要高好几倍且抽气速率大，价格相对高一点。
用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。它可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用。该型泵广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、医药等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理，真空干燥等工艺过程中。
真空泵
旋片式真空泵
( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
具有结构紧凑，体积小，重量轻，噪音低，振动小等优点。所以，它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如：质谱仪器，冰箱流水线，真空冷冻干燥机等。
罗茨真空泵
( Roots Vacuum Pump )
是一种旋转式变容真空泵，须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内，有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。主要用于真空机组的主泵，需要用前级泵辅助。如：水环式真空泵，滑阀真空泵，立式无油真空泵，分子真空泵等。国内最大罗茨真空泵保持纪录为20000L/S。
螺杆真空泵的选型如图所示：
螺杆真空泵是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，它是油封式真空泵的更新换代产品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，在国内制药、化工、半导体等对清洁真空要求较高的企业领域得到广泛应用。
螺杆真空泵的优点：
各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。
国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点得以广泛应用。
干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选真空获得设备，日本在螺杆压缩机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。
德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究。中国企业在2008年也将螺杆真空泵的生产进入批量化生产，在化工制药等行业得到很好的应用。
循环水真空泵由水箱、水泵、压力表、止逆阀等部件组成，是以循环水作为工作流体，利用射流产生负压原理而设计的。广泛用于抽滤、蒸发、蒸馏、结晶、减压、升华等作业，是大专院校、医药化工、食品加工等领域实验室的理想设备。
一、工作原理和结构是什么？循环水真空泵的工作水与被压缩气体是一起排出的．因此水环需用新的冷水连续补充．以保持稳定的水环厚度和温度。水环除起“液体活塞”作用．还有散热(对缩压过程)．密封(叶轮与配气板之间)冷却(轴封件)等作用。
二、有什么特点？1、由于采用水循环作业，加入水箱内的水可循环使用，节水效果明显。
2、多功能综合作用。本机除可以提供真空条件外，还可同时进行外循环作业，为反应装置提供循环冷却水。
3、本机与自来水源连接，通过适量补充注水源，可以在较长时间连续作业情况下，保持真空循环水温度和水质不变，即可确保真空度下降，又能实现循环冷却水的供应。
4、本机可单独或同时抽气作业。每个抽气嘴各装一个真空表，可以方便地观察真空度，抽气管路上有止回阀，可防止抽真空作业以外停机时，循环水回流到被真空的设备中去
三、有什么注意事项吗？
请遵守安全规范、人身安全和事故防止等相关规范。
请使用独立的有保护接地的电源插座，并确认保护接地端子已可靠连接。
请将循环水真空泵电源插头完全地插入电源插座中，请不要使用指定以外的电源。
切勿用湿手去插拔电源插头。
不可损毁、修改、拉拽、过度弯曲或扭曲电源线，亦切勿把重物置于电源线上。
请将仪器放置于平稳、清洁、防滑、干燥和防火的台面。SHZ-95 型立式五抽头可直接将仪器放置在平整地面上。
请不要堵住或盖住仪器通风口或散热窗。
请不要在循环水真空泵上放置任何无关用品。
如果您在使用过程中，发现循环水真空泵有异味或有异常噪音（不包括水泵或真空泵工作的声音）时，应立即切断电源，然后在第一时间联系售后服务部。
如果一段时间内不使用循环水真空泵，应将电源线插头断开电源。排空储水箱内的水。
设备不要放置在靠近热源的地方。
不得随意拆卸和调整仪器的零部件，备件损坏时，请仅使用原装备件进行更换。
设备发生故障时，应及时切断电源，并在第一时间联系工厂进行维修指导或返厂检修。
2X型双级旋片真空泵为双级结构、它的工作性能由高压级与低压级二部份组成，它的吸入口与真空容器或真空设备连接，在运转时容器内的气体将大量吸入与排出，当设备获得真空时，高压级排气伐片将封闭，高压级吸入的气体将转送到第二级，并经第二级吸入与排出，这样真空设备可获得了一定的真空，该泵的技术参数为6×10-2pa.根据用户使用情况，可配备真空增压泵，将该泵做为磁级磁，由增压泵的抽气力加强，前级泵连续抽除，能需您的设备获得更高的真空。 2X型双级旋片式系列真空泵适用于冶金、化工、电光源真空、真空镀膜、食品包装、医药、吸塑、电子、干燥等单位使用。
二、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵结构说明
2X系列旋片真空泵，其结构是利用偏心地装在定子腔内的转子和在转子槽内滑动的借弹簧张力和离心力紧贴定子内壁的两块旋片，将定子分隔成二个工作腔，旋片一边容积不断扩大将气体吸入，另一边容积不断缩小，气体压缩达到大气压力时通过排气阀排出，上述操作每转重复二次。2X型旋片式真空泵为双级结构，当吸入压强较高时，高低级腔可同时排气，吸入压强较低时，气体由吸气口进入高级腔，经压缩后通过中壁内气道进入低级腔，再次压缩后，从低级排气阀排出。当泵带有气镇阀时，允许抽除含有少量水蒸气等可凝性蒸气的气体。2X-2A、4A、8A、8、15泵为上下偏心结构，高低级转子采用凸凹槽联结的转动形式。2X-30A、70A泵为侧偏心结构，低级转子套在高级转子轴上的转动形式，并采用泵壳内通冷却水，冷却具有泵温低，极限总压力低的特点。
三、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵用途和使用范围
1、2X型泵是用来对密封容器抽除气体获得真空的基本设备之一。可单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵等的前级泵。可用于真空冶炼、真空焊接、真空浸渍、镀膜、真空浇铸、真空干燥以及化工制药，电真空器件等工业的真空作业。
2、泵可在环境温度5~40℃范围内和进口压强小于1330pa的条件下，允许长期连续工作。
3、泵不适用于抽除含氧过高、有毒的、有爆炸性的、对金属有腐蚀作用的、对泵油起化学反应的，以及含有颗粒尘埃的气体，也不适用于把气体从一个容器输送到另一个容器，作输送泵用。
4、泵在6000Pa的大气压的进口压强下的连续工作时间不得超过3分钟，以免喷油或润滑不良引起泵损坏。
四、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵型号及主要技术指标
指标 型号 2X-2A 2X-4A 2X-8 2X-15 2X-30A 2X-70A 备注
2X-8A
抽气速率L/S 2 4 8 15 30 70 1、用坐式压缩式水银真空计在泵口测量
极限压力 关气镇 (Pa) ≤6×10-2
开气镇 ≤6×10-1 ≤1.33 2、用热偶计，电阻计等全压强计测量仅供参考
极限总压力(Pa) -3 ～6×10-1
电动机功率(Kw) 0.37 0.55 1.1 2.2 3 5.5
温升℃ ≤40
噪声 dB(A)LW 72 75 78 80 82 86
进气口径(mm) 25 25 40 40 65 80
25
转速r/min 450 320 320 450 420
550
用油量L 0.7 0.7 2 2.8 2 4.2
0.9
外形尺寸Cm 46×28×35 55×34×41 79×43×54 79×53×54 78×50×56 91×65×70
55×43×44
重量Kg 53 76 158 202 236 338
95
冷却水量L/min >1 >2 水管通径3/8"
五、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵安装说明
1、泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。
2、泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保泵运转平稳，振动小。
3、泵与系统的连接管道应密封可靠，对大泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。(焊接管路时应清除管道中焊渣，严禁焊渣进入泵腔。)
4、在连接管路中，用户可在泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查泵的极限压力。
5、按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。
6、泵通电试运转时，须取下电机皮带，确认泵转向符合规定方向方可投入使用，以防泵反转喷油。(转向按防护罩指示方向)
7、对于有冷却水的泵，按规定接通冷却水。
8、如泵口安装电磁阀时，阀与泵应同时动作。
9、当泵排出气体影响工作环境时，可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。
六、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵使用说明
1、关闭泵上方的阀门
2、有冷却水的泵接通冷却水。
3、近规定转向手盘皮带轮数圈，把泵腔内的油排入油箱内，确保启动不易喷油。(特别在冬季，油粘大，启动负荷大，故请注意)。
4、启动电动机，泵开动运转，观察油窗，检查油位。油位应在油标中心，油位偏高，会造成喷油；油位偏低，会造成润滑不良，泵极限压力达不到出厂指标。
加油、放油位置详见泵指示牌。缓慢打开泵上方的阀门，系统开始工作。
泵不工作时，油窗内几乎看不到油，都进入泵体内，油位以泵运转时为准。
5、冷却水的进水温度以不超过30℃为宜，进出水温差以不超过3℃为宜。
6、当环境温度低于5℃时，应将泵油放出加热到15-30℃后加入泵内启动工作。
7、泵温以油温减去环境温度不超过40℃为宜，否则应加强通风散热或增加冷却水流量。
8、进气温度高于40℃而使泵温过高时，须采取措施冷却气体。
9、当吸入气体对泵油或泵有影响时，在泵口前应装一个合适的过滤装置。
10、当泵抽除含有少量可凝性气体时，启动泵时应打开气镇阀工作半小时，可延长泵油使用时间。
11、当泵抽除含有颗粒、尘埃的气体时，在泵口前应装一个合适的过滤器。
12、关泵前，应先关闭泵上方的阀门与系统隔绝，然后停泵，再拧紧气镇阀，以防漏油，最后关闭冷却水。冬季有冻结的场合应放净泵内冷却水，以防泵腔冻裂。
注：本系列泵的极限压力是指泵不接任何容器，泵温达到稳定，用压缩式真空计在泵口测得的稳定的最低分压力。极限总压力仅供参考。一般情况，单泵运转半小时将达到极限压力。
七、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵维护和保养
1、经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以泵运转时，油位到油标中心为准。
2、经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保泵工作正常。
3、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。当泵抽除含有对泵有腐蚀或使泵油变质，影响泵的性能的气体时，应将气体吸入泵前进行处理，并缩短换油周期。
4、一般情况下，泵工作2000小时后应进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。
5、有条件的对管中同样进行清理，确保管路畅通。
6、重新装配后应进行试运行，一般须空运转2小时并换油二次，因清洗时在泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，再投入正常工作。
7、本系列泵油采用SY1634-70 1#真空泵油。
八、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵常见故障及消除方法 故障 产生原因 消除方法
真空度降低 1、系统漏气
2、油量不足
3、泵油污染严重
4、排气阀片开裂或脱落
5、排气阀座上回油孔堵塞
6、被抽气体温度过高
7、泵久用零件磨损
8、泵密封件老化
检漏、补漏
加油至规定要求
换新油
换排气阀片
疏通回油孔
气体冷却处理
更换磨损零件
更换密封件
喷油 1、油量过多
2、挡油盒、挡油板脱落
3、吸入压入长期偏高
放油至规定要求
重新安装
更换大型号的泵
漏油 1、油封磨损
2、油箱密封垫损坏
3、定子、端面O型圈老化
4、放油螺塞未拧紧或垫片损坏
更换油封
更换密封垫
更换O型圈
拧紧或换垫片
起动困难 1、油温偏低
2、电机缺相
3、皮带偏松
4、泵内有异物
泵油加温后起动
检查电机
调整电机位置
检查，取出异物
九、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵外形尺寸
