无油干式机械真空泵的原理及简介
无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：
1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；
4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；
5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。
无油爪式真空泵优势：
结构紧凑,抽速快,效率高。无油运行,设备本身不产生制造污染,噪音小,性能稳定,无需定时保养,节省成本。
泵腔与泵爪含特殊涂层,防腐耐磨,超强的粉尘和腐蚀性气体处理能力,持久耐用,提高生产力。
1、泵腔内不含油,排气口不喷油,对被抽容器和环境均不产生污染；
2、转子悬浮于泵腔内,转子间及其与泵腔间均无摩擦,转子转速高；
3、能抽除腐蚀性、有毒性、放射性及含有粉尘的气体,雅之雷德机电科技无油爪式真空泵适于用作气体输送泵。
无油气泵是指气泵的活塞和气缸之间无润滑油，活塞环是特殊材料，一般用来泵送清洁的特殊气体 ，比如液化气，天燃气等。
无油气泵工作原理：
1、通过容积变化，在体积大的时候吸入空气，在体积变小时(压力变大)排出空气，容积变化是靠着活动的机械部件来实现的，要求有很小的间隙并且有很高的精度，比如爪泵。
2、依靠非常高的机械动转速度，将空气分子定向撞击而携带走，如分子泵。三是低温泵，在接近绝对零度的冷面上，几乎所有的空气分子都被冷冻捕集在表面。
无油气泵最大的优点是不返油，对被抽空间没有油蒸汽污染，不喷油，没有油蒸汽从泵口排出，不污染环境。
属于环保类产品，因此发展前景很好，被称为二十一世纪“绿色真空泵”。无油真空泵又称干式泵，主要包括旋片式、活塞式、螺杆式、涡旋式、涡轮式、爪型泵等等。
扩展资料：
无油真空泵日常使用和维护时，需要注意以下事项：
1、应具有充分良好的通风条件及低于40℃的环境温度。
2、无灰尘及脏物的清洁场所。
3、无水、油等液体会降落到泵上。
4、不直接暴露在阳光里。
5、有足够的周围空间能便于泵的检查，维护和装拆。
6、泵必须安装在平坦的平面上。
7、最好将泵放在类似混凝土坚硬的地基上安装，如果没有条件，也可将泵牢固地安装在钢制或木制的机架上。
干式真空泵很早就出现了,但没有明确的定义。就代替油封式机械泵来说,一般通用的说法是:
能在大气压到10-2Pa
的压力范围内工作在泵的抽气流道(如泵腔)中,不能使用任何油类和液体、排气口与大气相通,能连续向大气中排气的泵,
即称为干式真空泵(也称为无油真空泵)。干式真空泵的分类
现在市场上提供的干式泵种类很多。就其基本原理来分,
只有两类,
即:
①
容积式的无油真空泵,
例如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。这种干式泵的极限压力一般为0.1～10Pa,
抽速为0.01～
0.04m
3?s。
②
动量传输式的无油真空泵,如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接,
在连续流状态下压缩比较高。它是一种粗抽泵,
可从大气压抽到1022Pa。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构,多级串联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为10-2Pa,
抽速为0.02～0.15m
3?s。牵引型干式泵也属于动量传输式的干式泵。
这些干式泵和油封式机械泵相比,
达到同样的极限压力,
其残余气体成分则全然不同,经分析结果明,
油封泵的残余气体,
CnHm
气体(碳氢化合物气体)为其主要成分,
而干式泵的残余气体为空气的组成成分。这就证实了干式泵的抽气不再有油的污染了。
有些干式泵在结构设计上,
如泵的传动齿轮和轴承等仍在使用润滑油,
也有用合成油,
如PFPE
油和其油脂等,并采取一定的措施使油蒸汽在泵腔内不存在,
严格来说不是全无油的泵,
但经分析,
这种合成油的成分在泵入口处是微乎其微的,并无影响。
无油式真空泵有更多种，其中就包含无油式旋片真空泵。
总之，这些真空泵都不是真正意义上的无油，真空无油的是水环式、射流式、蒸汽喷射式等等！
分都没有，下次不回答了！
