螺杆真空泵的选型

你好

要选择真空泵了解真空的种类与工作原理

真空泵种类大全

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，因此选用不同类型真空泵组成的真空抽气机组进行抽气的情况较多。为了方便起见，将这些泵按其工作原理或其结构特点进行一些具体的详细的分类是必要的。现分述如下：

一、气体传输泵

气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：

1）变容真空泵

变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵。气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种：

⑴往复真空泵：是利用泵腔内活塞做往复运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。

⑵旋转真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入，压缩并排出。旋转真空泵又有如下几种型式：

①油封式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。按其结构特点分为如下五种型式。

a)旋片式真空泵：转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近，在转子槽内装有两个（或两个以上）旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，此旋片随转子一起旋转，可将泵腔分成几个可变容积。

b）滑阀式真空泵：在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而把泵腔分成两个可变容积。

c）定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上、下滑动将泵腔分成两个可变容积。

d）余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。

e）多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。

②干式真空泵：它是一种不用油类（或液体）密封的变容真空泵。

③液环式真空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体（通常为水或油）抛向泵壳形成泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小容积，故亦称旋转变容真空泵。

④罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子，转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变真空泵。机械增压泵即为这种型式的真空泵。

2）动量传输泵

这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型。

⑴分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式：

①牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。

②涡轮分子泵：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。

③复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合式分子真空泵。

⑵喷射真空泵：它是利用文丘里（Venturi）效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞流和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种：

①液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。

②气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。

③蒸气喷射真空泵：以蒸气（水、油或汞等蒸气）作为工作介质的喷射真空泵。

⑶扩散泵：以低压高速蒸气流（油或汞等蒸气）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸气射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：

①自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵。

②分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸气压强较低的工作液蒸气进入高真空工作的喷嘴，而蒸气压强较高的工作液蒸气进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。

⑷扩散喷射泵：它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种型式。

⑸离子传输泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。

二、气体捕集泵

这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。

1）吸附泵

它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。

2）吸气剂泵

它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种型式。

3）吸气剂离子泵

它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下几种型式。

⑴蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。

⑵溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。

4）低温泵

利用低温表面捕集气体的真空泵

3.1.3 真空泵的性能参数及使用范围

3.1.3.1 真空泵的性能参数

1）真空泵的极限压强

泵的极限压强单位是Pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。

2）真空泵的抽气速率

泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。

3）真空泵的抽气量

真空泵的抽气量单位是Pa m3/s或Pa l/s。是指泵入口的气体流量。

4）真空泵的起动压强

真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。

5）泵的前级压强

真空泵的前级压强单位是Pa，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。

6）真空泵的最大前级压强

真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。

7）真空泵的最大工作压强

真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。

8）压缩比

压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。

9）何氏系数

泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。

10）抽速系数

泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。

11）返流率

泵的返流率单位是g/cm2.s。它是指泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。

12）水蒸气允许量

水蒸气的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。

13）最大允许水蒸气入口压强

最大允许水蒸气入口压强单位是Pa 。它是指在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。

根据你的要求,我认为选取油封式真空泵更好.

原因:

1、它的真空可以抽到很低，这个可以根据种类来选择．最低的真空可以抽到0

2、它是以油类密封可以保证你的湿度

3、它不需要用到水循环系统所以体积也小很多

好凯德RSE250干式螺杆真空泵：

抽气速率（50Hz/60Hz）：3400/4100 L/min；210/250 m3/h；123/3675pxf

真空：9.0*10-2/3*10-2 Torr ；1.2*10-1/4*10-2mbar；12/4Pa

（马达)频率：50/60 Hz

（马达)电压：220~440

（马达)功率：6.7Hp；5kw

（连接）进气:Nw50

（连接）排气:Nw40

（冷却水）流量：3~7 L/min

（冷却水）压力：2.0~4 kg/cm2

（冷却水）温度：15~30 ºC

（冷却水）接头：RC3/8´´

（氮气 ）压力：0.15~0.2 kg/cm2

（氮气 ）稀释流量：0~60 L/min

（氮气 ）密封流量：0~20 L/min

（氮气 ）连接 ：Swagelok1/4´´

尺寸L*W*H：940*430*650

重量： 340kg

噪音：72dB(A)

控制界面：SEMI E73-0299

室温操作范围：5 ºC ~40 ºC

其实你所说的小型真空泵是微型真空泵的一种通俗叫法，此外微型真空泵还叫做抽气泵、打气泵、气体采样泵等。真对你提出的选型问题以下提供一些资料以供你参考：

微型真空泵、微型气泵选型说明

随着仪器仪表工业的蓬勃发展，体积小巧、无油环保的微型真空泵、微型气泵得到越来越广泛的使用。如何才能在规格繁多的微型泵中选择最恰当的产品呢？

首先要明确微型泵的用途。我们分三大类逐一讨论。

一、如果只是用微型气泵输出压缩空气。

简单地说，就是只用它来打气、充气，泵的抽气口基本不用。这种情况比较简单，按输出压力从大到小依次可选：PCF5015N、FAA8006、FAA6003、FAA4002、FM2002、FM1001。当然还要参考流量指标等相关技术参数。

二、如果是以下几种情况，则应该选用WKA系列产品。

1、用微型泵抽气或抽真空，但有时会有液态水进入泵腔。

2、要求微型泵既能抽气又能抽水。

3、主要用微型泵抽水，但不希望在抽水前靠人工加“引水”。（有些水泵在工作前需要人工加入一些“引水”，这样泵才能把低处的水抽上来，否则泵无法抽水甚至损坏。）WKA系列产品的长处就在于，没有接触到水时，它就抽真空，形成真空后靠气压把水压上来，而后开始抽水。

4、用微型泵抽水，但有些时候可能泵没有水可抽，处于“干转”状态。某些传统水泵畏惧“干转”，甚至是致命的。而WKA系列产品本质上是一种复合功能泵，它集成了真空泵和水泵的功能，有人把它叫作“真空水泵”。因此，在没有水的情况下，它会抽真空，有水的时候它就抽水。无论是抽气状态还是抽水状态，都属于正常工作范畴，也就无所谓“干转”损伤。

三、如果是用微型泵抽气，情况稍微复杂些。

（一）、判断微型泵抽气端工况

用于抽气的微型泵分为两类：气体采样泵和微型真空泵。虽然通常总是不加区分地把它们简单统称为微型真空泵，但从技术角度二者是有区别的，选型时更要特别注意。

简而言之，气体采样泵只能带小负载（即：泵抽气端阻力不能太大），但价格便宜；严格意义上的微型真空泵可以带大负载（抽气端允许大阻力，甚至完全堵塞），但价格稍贵。二者具体区别可以详见文章《关于微型真空泵与气体采样泵的区别》，不再复述。

气体采样泵有：PM系列、SA系列、SB系列；微型真空泵有： VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列，这些系列下的所有规格都是真正的微型真空泵，如VM7002、VAA6005、PC3025N等。

对于微型泵抽气端阻力的大小可以用仪器测定，把它与泵的技术参数“进气口允许最大阻力”Por值比较就可以知道选型是否合适。通常根据经验采用简便的方法确定，比如下述几种情况都属于负载较大（即泵的抽气端阻力较大），只能在微型真空泵范围内选型：

①在泵的抽气端要接很长的管道，或管道弯曲点多、弯曲厉害甚至会阻塞封闭，或管道内孔很小（比如小于φ2毫米）；

②在管路上有节流阀、电磁阀、气路开关、过滤器等元件；

③泵抽气口与密闭容器连接，或该容器虽未密闭但进气量较小；

④泵抽气口与吸盘连接，用于吸附物体（如集成块、精密工件等）；

⑤泵的抽气端与过滤容器相连，容器口放置滤网，用于加速液体过滤。

（二）、判断微型泵排气端工况

以上都是在讨论微型泵抽气端阻力的问题，根据这些判断条件已经缩小了选型的范围，但还必须考虑排气端阻力问题，这样才能最终确定可选范围。

在实际应用中，微型真空泵面临的排气状况是不一样的：一类是排气很顺畅，直通大气；另一类是排气阻力较大，比如在排气管路上有阀、细小弯管、大阻尼传感器、非专用的消音器、在液面以下排气、气体排往密闭或半密闭容器等。在现代设计制造中，把面对不同排气条件的微型真空泵区别对待。“排气口允许最大阻力Por值”这一参数就是标定泵的排气能力，让我们可以用严格的技术手段确定选型是否恰当。

简单地说，对于排气阻力大的系统，我们的选型范围是：FM系列、FAA系列、PCF系列；对于排气阻力小的系统，选型范围是：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、VBH系列。根据以上几个步骤，我们已经可以确定微型泵的选型范围了。在划定的几个可选系列中，再根据我们对流量和真空度的要求就可以确定具体的型号了。对于质量欠佳的产品未列入本文，尽量不要选用。注意参数选择要留有余量，特别是流量参数。泵接入气路系统后，由于管道、阀门等气路元件要造成压力损失，会衰减流量，因此得到的流量小于泵的标称流量还有一些和选型相关的问题罗列如下，根据使用情况考虑。

1、带负载启动问题。

如果微型气泵在启动前它的抽气口就已经存在真空或排气口已经存在压力，则要考虑泵的另一技术参数：进气口最大启动负载Pis值，排气口最大启动负载Pos值。典型应用事例就是使用微型气泵维持容器内的真空或正压状态，当容器内的真空或正压低于设定值时，需要泵通电启动，高于设定值时停机。可以在自身能达到的极限真空度下启动的产品有：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、VBH系列；可以在自身能达到的最大输出压力下启动的产品有：FM系列、FAA系列、PCF系列。 该性能对制造商的技术水平要求较高。

2、微型泵的介质温度问题。

根据通过泵的介质气体的温度，选择要普通型的还是要高温型的。

3、微型泵的可靠性问题。

根据微型泵出故障后产生后果的严重性而定，完全根据自己的要求。优质品的平均无故障连续运行时间都大于1000小时，有的高到数千小时。特别注意，这项参数是在满负荷、不间断的运行状态下测定的，是最恶劣的工况，如果实际使用不是满载或连续运行，该数值会高一些，高多少视泵的工况而定。该性能完全是考验制造商的技术实力，从产品外观上可以看出一些，如采用特制电机而非普通低价电机、体积相当的情况下重量较重等。根据产品价格也可略知一二。

4、微型泵的电磁干扰问题。

如果有精密电路控制微型泵，视电路抗干扰能力而定，可能需要订购低电磁干扰的微型泵。

在此我还要补充说明一点国内做微型真空泵的企业起步较晚，其产品跟国外的还是有一定差距的，据我公司试用国内外产品的情况看来要想找高性能的还是国外的好；但我们也不要盲目的崇尚国外，这些年国内以“气海机电制造公司”为首的一小部分厂家的产品已经突飞猛进，产品质量已和国外产品相差无几，价格却比国外的便宜。我公司的选项经验就是能在“气海机电制造公司”产品内选型的就在该公司选项，不能的在考虑别的国内公司，最后才考虑国外的产品。

选用泵时，需要注意下列事项：

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，最好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。

3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

9、真空泵的价格、运转及维修费用。

水环式真空泵的选择

一、泵类型的确定

泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。

泵工作时，需要注意以下两个方面：

• 尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。

• 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。

二、根据系统所需的气量选择真空泵

初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。

关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照我公司网页 真空计算公式。

面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型

代号 主要特点 极限真空度

mmHg 工作真空度

mmHg 抽速范围

m3/min 密封形式

SK

国内设计单级水环真空泵，结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。 -700 -300~-650 0.15~120 盘根、

机械密封

2SK

国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。 -735 -300~-700 1.5~30 盘根、

机械密封

2BV

采用西门子先进技术，机泵同轴，结构紧凑，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列0.4~6m3/min抽速的水环真空泵。 -735 -300~-700 0.45~8.33 机械密封

2BE1

采用西门子先进技术，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列6~120m3/min抽速的水环真空泵。 -735

-640 -300~-700

-300~-600 5~400 盘根、

机械密封

SZ

50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于老用户。 -640~-700 -300~-650 1.5~27 盘根

SZB

50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于水泵引水，目前已被SK系列水环泵替代。 -600 -300~-550 0.33~0.66 盘根

从2021年初开始，干式螺杆真空泵就“出圈”了。到了11月，光伏行业的业务出现了爆发式的增长，再次引起了业内人士的关注，也再次将干式螺杆真空泵推上了风口浪尖。与此同时，逐渐能够抢占国际高端市场的国内螺杆干式泵厂商也引起了大家的关注。干式螺杆真空泵是一种高科技产品，主要用于高纯度真空工艺。具有高真空度，能适应恶劣的工作条件，并具有抽取冷凝和颗粒气体的能力。特别适合洁净环境，容易做防腐处理。干式螺杆泵(RSP干式螺杆真空泵)光伏行业是干泵的“消费大户”之一，在电子、化工、生物医药、金属加工、食品加工等领域的应用也十分广泛，不可或缺。干式螺杆真空泵由于技术含量高，生产厂家自然要求更高。公司的自主研发能力、技术工程师的综合素质、拥有的技术专利数量以及使用的生产和检测设备都对产品质量起着决定性的作用。这些也是买家在选择国产干泵厂家时会重点考虑的几点。螺杆泵真空装置(干式螺杆泵装置)中国有几家知名的干式螺杆真空泵制造商。你会选择哪一家作为你的供应商？刚才提到的几个方面，必须重点调查。其他因素包括品牌历史、品牌声誉和市场份额。豪凯德是干式泵制造商之一。由于螺旋干式泵的应用受到工业领域的青睐，公司的生产和R&D热情非常高，特别是随着光伏产业的快速发展。目前，公司的干式螺杆真空泵已经开始批量供应给国内外多家光伏制造企业。同时，加快锂电池和半导体行业真空泵的研发和生产。

真空泵分类广泛，主要有WLW系列立式无油真空泵、W型往复式真空泵、2X,2XZ型旋片式真空泵、ZJ，ZJH型罗茨真空泵（ZJH型为专利产品）、2SK、SK型水环式真空泵、2BV、2BA型水环式真空泵、H、2H型滑阀真空泵、TLZ型真空泵、SL型罗茨鼓风机、JZJHX型罗茨旋片真空机组、JZJHS型罗茨水环真空机组、JZJHWLW型立式无油真空机组、JZJP型罗茨水喷射真空机组、JZJHBA型罗茨水环真空机组、RPP型水喷射真空泵、JZJH2H型罗茨滑阀式真空机组等型号。

工业生产减压蒸馏DMF，选择真空泵需要考量以下几点：

1、真空度是否稳定——稳定的真空度有助于提高产品品质；

2、真空度是否够高——较高的真空度有助于降低蒸馏温度，提高蒸馏效率；

3、真空泵类型是否适合——真空泵类型较多，应多方咨询，再做选择。

原来有用水泵来做的，由于DMF可以溶于水，用水泵需要应加装缓冲或防倒吸措施，要不影响产品质量。水泵真空度相对来说低一些，效果不如真空度高的真空泵。

水环罗茨机组真空度也不是很高，DMF的沸点比较高，如果真空度不高效果也不会很好。罗茨机组受前级机械泵的限制，只能在前级泵基础上提高一个数量级。

DMF很多情况下，应用于食品行业，对污染比较敏感。如果真空泵有油或有水对产品品质有极大影响。最好选择干式泵，进口干泵比较贵。如果想选品质好的国产干泵，你可以问问我们家，我们是航天部下属的曌越真空事业部，可以给你们做真空系统方案。

我们生产的曌越干式真空泵，不但真空度又高又稳，而且可以100%高纯度二次回收。

凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵，称为机械真空泵。

机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下：  

一、变容真空泵

它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。  

1、往复式真空泵 ：利用泵腔内活塞往复运动，将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。

2、旋转式真空泵 ： 利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。它大致有如下几种分类：  

1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙，减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。

2)液环真空泵 将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时，把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油，所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。

3)干式真空泵 它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体，因此，适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。

4)罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。

二、动量传输泵 

它依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。这类泵可分为以下几种形式：

1、分子真空泵 ：它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为：

1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。  

2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。 

3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。

按其工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。

一、气体输送泵包括：1、液环真空泵（水环式真空泵）2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等

二、气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。

随着真空技术的不断发展，人们所能获得的真空范围越来越广，从绝对压力1. 0133×l05Pa到133. 32×10- '5Pa。因此，将真空区域划分如下：

粗真空：压力范围为101.3×l03～1. 3332×l03Pa (10～760mmHg)

低真空：压力范围为1. 3332×l03～133.2×lO-zPa (10-2～lOmmHg)中真空：压力范围为133.2×10-z—133.2×l0-7Pa (10-4～10-2mmHg)高真空：压力范围为133.2×10-4—133.2×l0-7Pa (10'7-10-4mmHg)超高真空：压力范围低于133.2×l0-7Pa(低于l0-7mmHg)化工生产中，一般在粗、低真空区域内操作即能达到生产要求。 真空泵的种类按工作条件可分为干式真空泵和湿式真空泵。于式真空泵只能从设备里抽出气体，其真空度可达到96y/—99. 9}/；湿式真空泵可抽取气液混合物，其真空度可达到80%—85%。真空泵的主要性能有抽气速率和极限真空等指标。1．抽气速率单位时间内抽吸气体的体积叫抽气速率，用符号S表示，单位为1113／h或d/s，它表明真空泵的抽气能力。2．极限真空极限真空又称残余压力，指真空泵所能达到的最低绝对压力值，用符号声＆表示，单位为Pa。3．真空度和真空度百分数真空度是大气压力和真空系统中绝对压力的差值，用符号户，表示，单位为Pa。即p。-101.3×l03_p (Pa)式中p-真空系统中的绝对压为，Pa。