干式涡旋真空泵发烫出现异响怎么办

无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。

（1）、罗茨真空泵应安装在干燥、通风良好和清洁的场所。

(2)、罗茨真空泵的环境温度为5-40℃。

（3）、罗茨真空泵应水平安装，其周围应留有充分的余地，便于日常检查、维护保养。装拆方便。

（4）、接通电源后，电机转向应符合泵上转向箭头所示。

（5）、连接被抽容器的管道应清洁.无杂质等异物，孔径不应小于泵口口径，长度宜短，以保证其有足够的通导能力，管道连接应密封不漏。

（6）被抽气体应无颗粒状固体进入泵腔。

（7）、罗茨真空泵与前级泵连接应装弹性管以减少前级泵引起的震动。

（8）、电气设备必须有互锁保护装置，当前级泵停止工作时罗茨泵必须同时停止。

（9）、小泵可以直接启动，大泵须设启动器。

罗茨真空泵使用说明：

新泵就位后先查看油位，齿轮侧油位以油面浸没3-5齿为宜，电机侧以油窗中心略高为宜，轴伸上油杯不应缺油，各部位润滑油均采用1号真空泵油

国外的螺杆泵起步比较早，技术上相对成熟点，但是国内的螺杆泵也研发了很多年了 ，目前技术上面已经与进口泵很接近了。如果不是太追求品牌，追求进口产品的话，还是用国内的比较实在，使用。首先，价格上要比国外的便宜很多，将近3倍多的价钱。第二，售后服务方面，我想大家都应该知道的，进口泵的上门费、修理费、更换配件都是非常昂贵的。第三，现在国内的泵的技术也挺不错的，我们厂以前用的德国普旭的干泵，后来修理、更换配件等等都太不方便、价格太高了，后来别人推荐上海高鹏真空的泵，用起来也蛮好的，

以上是我个人对国内、国外干泵的认识和了解，希望能帮到LZ！！！

从2021年初开始，干式螺杆真空泵就“出圈”了。到了11月，光伏行业的业务出现了爆发式的增长，再次引起了业内人士的关注，也再次将干式螺杆真空泵推上了风口浪尖。与此同时，逐渐能够抢占国际高端市场的国内螺杆干式泵厂商也引起了大家的关注。干式螺杆真空泵是一种高科技产品，主要用于高纯度真空工艺。具有高真空度，能适应恶劣的工作条件，并具有抽取冷凝和颗粒气体的能力。特别适合洁净环境，容易做防腐处理。干式螺杆泵(RSP干式螺杆真空泵)光伏行业是干泵的“消费大户”之一，在电子、化工、生物医药、金属加工、食品加工等领域的应用也十分广泛，不可或缺。干式螺杆真空泵由于技术含量高，生产厂家自然要求更高。公司的自主研发能力、技术工程师的综合素质、拥有的技术专利数量以及使用的生产和检测设备都对产品质量起着决定性的作用。这些也是买家在选择国产干泵厂家时会重点考虑的几点。螺杆泵真空装置(干式螺杆泵装置)中国有几家知名的干式螺杆真空泵制造商。你会选择哪一家作为你的供应商？刚才提到的几个方面，必须重点调查。其他因素包括品牌历史、品牌声誉和市场份额。豪凯德是干式泵制造商之一。由于螺旋干式泵的应用受到工业领域的青睐，公司的生产和R&D热情非常高，特别是随着光伏产业的快速发展。目前，公司的干式螺杆真空泵已经开始批量供应给国内外多家光伏制造企业。同时，加快锂电池和半导体行业真空泵的研发和生产。

国产干式螺杆泵，首先有两个问题是不能解决的。

1:加工设备：五轴联动技术限制出口，国内买不到机床啊，加工精度不行。

2:材质质量：国内的金属冶炼相对差一些，温度变化也容易引起卡死。

国内现在做的也很多，一般都是采用3d转2D，然后加工生产。质量相对来说不稳定，但是价格便宜。

干式真空泵的定义

干式真空泵很早就出现了,但没有明确的定义。就代替油封式机械泵来说,一般通用的说法是:

能在大气压到10-2Pa

的压力范围内工作在泵的抽气流道(如泵腔)中,不能使用任何油类和液体、排气口与大气相通,能连续向大气中排气的泵,

即称为干式真空泵(也称为无油真空泵)。干式真空泵的分类

现在市场上提供的干式泵种类很多。就其基本原理来分,

只有两类,

即:

①

容积式的无油真空泵,

例如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。这种干式泵的极限压力一般为0.1～10Pa,

抽速为0.01～

0.04m

3?s。

②

动量传输式的无油真空泵,如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接,

在连续流状态下压缩比较高。它是一种粗抽泵,

可从大气压抽到1022Pa。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构,多级串联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为10-2Pa,

抽速为0.02～0.15m

3?s。牵引型干式泵也属于动量传输式的干式泵。

这些干式泵和油封式机械泵相比,

达到同样的极限压力,

其残余气体成分则全然不同,经分析结果明,

油封泵的残余气体,

CnHm

气体(碳氢化合物气体)为其主要成分,

而干式泵的残余气体为空气的组成成分。这就证实了干式泵的抽气不再有油的污染了。

有些干式泵在结构设计上,

如泵的传动齿轮和轴承等仍在使用润滑油,

也有用合成油,

如PFPE

油和其油脂等,并采取一定的措施使油蒸汽在泵腔内不存在,

严格来说不是全无油的泵,

但经分析,

这种合成油的成分在泵入口处是微乎其微的,并无影响。