螺杆真空泵
螺杆真空泵它利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。
一、产生和优点
目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点。
干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选真空获得设备，日本在螺杆压缩机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究。螺杆泵的技术关键问题。中国的威海智德真空科技有限公司在2008年也将螺杆真空泵的生产进入批量化生产，在化工制药等行业得到很好的应用。
二、主要结构
传动轴连接主动转子，通过同步齿轮带动从动转子旋转，在壳体上开有冷却水通道，用来冷却转子和排气口温度，同步齿轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似，一般真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上，目前通用的是直连电机，用联轴器与转子连接，极少数用皮带或者传动链传动。 等螺距螺杆泵由于无内压缩过程，排气温度非常高，如冷却效果不好，会造成转子和机壳变形，影响抽气效果。冷却机壳是必不可少的一个环节，水冷是最常见的方法，在机壳本体、轴承外侧通冷却水，可以达到冷却壳体进而冷却转子的目的。
三、国内外生产公司概况
1、威海智德真空科技有限公司是中国最早研发干式螺杆真空泵的企业，从2004年起便开始进行型线与结构性能方面的研究。在2007年国内干式螺杆真空泵的市场基本被国外厂家占据的时候，公司投入大量资金将该产品转入批量化的生产，并得到国家的大力支持获得各类省级国家级科技奖项和资金。公司生产的GENT干式螺杆真空泵极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式/喷射式/水环式真空泵的更新换代产品，在国内各大制药和化工企业得到大量应用。针对不同工艺条件，其过流部件（即转子和泵体等与气体接触的部分）均有防腐涂层，包括镍磷涂层和PTFE两种。
2、德国莱宝公司在2002年底正式推出的SREWLINE系列螺杆式无油压缩真空泵是一种专门为工业应用(非半导体应用)设计的干式泵，它是一种全新的设计，是专门用来解决工业应用中艰苦的真空问题，如粉尘、焦油等。此泵也是采用变螺距转子，有内压缩过程，泵腔内无轴承和密封，大大降低了故障率，泵腔内没有内部阀门，因而耐粉尘和焦油能力强，此泵的螺杆采用内部中空冷却，可以降低转子温度和热变形，螺杆寿命长。
3、德国普旭公司的COBRAN系列螺杆泵，制程工艺最理想的真空泵，特别适用于化工和制药行业的各工艺流程。普旭是世界上最大的真空泵、鼓风机和压缩机的供应商之一，真空泵的质量较高，相比其他厂家，在欧洲市场占有率极高，价格偏贵。
4、德国里奇乐的VSA/VSB系列，VSA系为等螺距转子，市场评价较好，性能稳定。VSB系列是变螺距转子设计（非线型齿形设计），同其他几家一样，通过内压缩来改变泵的功耗和排气温度，不用两级压缩中间冷却，单级即可实现很高的真空度。在密封件上做了改进，静态密封元件优选Viton材料，在有特殊要求的情况下选择PTFE或者添加有PTFE的密封件。动态密封元件在真空泵吸入侧用双密封唇；真空泵排气侧用简单的带有防止气体外溢的密封圈，以防止固体物质进入泵内。
从2021年初开始，干式螺杆真空泵就“出圈”了。到了11月，光伏行业的业务出现了爆发式的增长，再次引起了业内人士的关注，也再次将干式螺杆真空泵推上了风口浪尖。与此同时，逐渐能够抢占国际高端市场的国内螺杆干式泵厂商也引起了大家的关注。干式螺杆真空泵是一种高科技产品，主要用于高纯度真空工艺。具有高真空度，能适应恶劣的工作条件，并具有抽取冷凝和颗粒气体的能力。特别适合洁净环境，容易做防腐处理。干式螺杆泵(RSP干式螺杆真空泵)光伏行业是干泵的“消费大户”之一，在电子、化工、生物医药、金属加工、食品加工等领域的应用也十分广泛，不可或缺。干式螺杆真空泵由于技术含量高，生产厂家自然要求更高。公司的自主研发能力、技术工程师的综合素质、拥有的技术专利数量以及使用的生产和检测设备都对产品质量起着决定性的作用。这些也是买家在选择国产干泵厂家时会重点考虑的几点。螺杆泵真空装置(干式螺杆泵装置)中国有几家知名的干式螺杆真空泵制造商。你会选择哪一家作为你的供应商？刚才提到的几个方面，必须重点调查。其他因素包括品牌历史、品牌声誉和市场份额。豪凯德是干式泵制造商之一。由于螺旋干式泵的应用受到工业领域的青睐，公司的生产和R&D热情非常高，特别是随着光伏产业的快速发展。目前，公司的干式螺杆真空泵已经开始批量供应给国内外多家光伏制造企业。同时，加快锂电池和半导体行业真空泵的研发和生产。
要选择真空泵了解真空的种类与工作原理
真空泵种类大全
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，因此选用不同类型真空泵组成的真空抽气机组进行抽气的情况较多。为了方便起见，将这些泵按其工作原理或其结构特点进行一些具体的详细的分类是必要的。现分述如下：
一、气体传输泵
气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：
1）变容真空泵
变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵。气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种：
⑴往复真空泵：是利用泵腔内活塞做往复运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。
⑵旋转真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入，压缩并排出。旋转真空泵又有如下几种型式：
①油封式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。按其结构特点分为如下五种型式。
a)旋片式真空泵：转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近，在转子槽内装有两个（或两个以上）旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，此旋片随转子一起旋转，可将泵腔分成几个可变容积。
b）滑阀式真空泵：在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而把泵腔分成两个可变容积。
c）定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上、下滑动将泵腔分成两个可变容积。
d）余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。
e）多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。
②干式真空泵：它是一种不用油类（或液体）密封的变容真空泵。
③液环式真空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体（通常为水或油）抛向泵壳形成泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小容积，故亦称旋转变容真空泵。
④罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子，转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变真空泵。机械增压泵即为这种型式的真空泵。
2）动量传输泵
这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型。
⑴分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式：
①牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。
②涡轮分子泵：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。
③复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合式分子真空泵。
⑵喷射真空泵：它是利用文丘里（Venturi）效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞流和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种：
①液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。
②气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。
③蒸气喷射真空泵：以蒸气（水、油或汞等蒸气）作为工作介质的喷射真空泵。
⑶扩散泵：以低压高速蒸气流（油或汞等蒸气）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸气射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：
①自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵。
②分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸气压强较低的工作液蒸气进入高真空工作的喷嘴，而蒸气压强较高的工作液蒸气进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。
⑷扩散喷射泵：它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种型式。
⑸离子传输泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。
二、气体捕集泵
这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。
1）吸附泵
它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。
2）吸气剂泵
它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种型式。
3）吸气剂离子泵
它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下几种型式。
⑴蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。
⑵溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。
4）低温泵
利用低温表面捕集气体的真空泵
3.1.3 真空泵的性能参数及使用范围
3.1.3.1 真空泵的性能参数
1）真空泵的极限压强
泵的极限压强单位是Pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。
2）真空泵的抽气速率
泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。
3）真空泵的抽气量
真空泵的抽气量单位是Pa m3/s或Pa l/s。是指泵入口的气体流量。
4）真空泵的起动压强
真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。
5）泵的前级压强
真空泵的前级压强单位是Pa，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。
6）真空泵的最大前级压强
真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。
7）真空泵的最大工作压强
真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。
8）压缩比
压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。
9）何氏系数
泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。
10）抽速系数
泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。
11）返流率
泵的返流率单位是g/cm2.s。它是指泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。
12）水蒸气允许量
水蒸气的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。
13）最大允许水蒸气入口压强
最大允许水蒸气入口压强单位是Pa 。它是指在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。
根据你的要求,我认为选取油封式真空泵更好.
原因:
1、它的真空可以抽到很低，这个可以根据种类来选择．最低的真空可以抽到0
2、它是以油类密封可以保证你的湿度
3、它不需要用到水循环系统所以体积也小很多
真空泵厂家如下：
1、藤原
台州藤原工具有限公司旗下品牌，该品牌喷漆枪是一键喷涂，高效省漆，高效雾化，省漆，采用全金属材质，铜芯喷嘴，高雾化帽。在全国设有二十多家销售服务中心，营销网络遍及全国。
2、伯仲真空
属于山东伯仲真空设备有限公司，它是中国专业生产真空泵及真空泵成套设备的骨干企业，2005年至2007年，公司获得了淄博市工商局授予的"2005年度企业年检免检企业"、"守合同重信用企业"、"淄博市诚信企业"与"文明诚信双百佳"等光荣称号。
3、大焊
大焊五金的品牌负责人是大焊五金旗舰店，自大焊五金品牌创立至今，一直努力用高质量的产品与较好的服务对待用户，目前大焊五金在经营的产品主要有真空泵。
4、达尔拓
成立于2014年，自成立以来，达尔拓品牌以诚信、共赢、开创经营理念，创造良好的企业环境，坚持用自己的服务去打动客户，深受广大客户和消费者的青睐。
品牌达尔拓主营产品涵盖无油真空泵，无油空压机，空气压缩机，旋片真空泵，工业泵，旋片式真空泵，空压机，冷冻式干燥机，冷冻干燥机，真空泵，压力罐，气泵空压机，压缩机，空气泵，电动喷涂机，空压机配件，打钉枪，螺杆空压机，精密过滤器，吹尘球等领域。
5、千岛
属于杭州千岛泵业有限公司(建德市科技实验厂)，二十七年来我公司与浙江工业大学及浙江省机电设计研究院通力合作一直致力于防腐、环保、真空设备的研制、生产和销售。
区别在于：性能特点不同、应用范围不同、工作原理不同。
1、性能特点不同：罗茨真空泵的特点是：启动快，耗功少，运转维护费用低，抽速大、效率高，对被抽气体中所含的少量水蒸汽和灰尘不敏感；水环真空泵结构紧凑，泵的转速较高，一般可与电动机直联，无须减速装置。吸气均匀，工作平稳可靠，操作简单，维修方便。
2、应用范围不同：罗茨真空泵广泛用于真空冶金中的冶炼、脱气、轧制，以及化工、食品、医药工业中的真空蒸馏、真空浓缩和真空干燥等方面。主要应用于煤矿（抽瓦斯），化工，制药，矿山，造纸，食品，啤酒，建材，塑料，冶金，电器等行业。
3、工作原理不同：罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵。水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。
扩展资料：
真空泵的选择：
1、真空泵选型中，确定的产品需保证能顺利抽出工艺过程中释放出来的各种气体。真空泵的应用工艺中，气体介质多种多样，易燃易爆的、易凝结的、易化反、易腐蚀的等，选用的真空泵就需保证适用性。例如，工艺过程会产生大量水蒸气，选用的真空泵就必须适合抽水蒸气。
2、真空泵的极限真空度，必须高于工艺生产要求的真空度，至少要高一个数量级，并且设备适合在要求的工作真空度范围内工作。
3、真空泵的抽速要大于工艺过程中的最大放气量。为保证真空度，真空泵选型中涉及工艺过程中持续放气的，真空泵或者真空系统的抽速要满足大于工艺过程中的最大放气量。
4、真空泵选型中，选用的真空泵其工作介质和制造材料须满足工艺要求。真空泵应用，尤其是在医药、化工、电池等领域，抽取的介质往往是具有腐蚀性的气体，这时就要求设备要有相应的防腐措施。
5、需连续生产的工艺中，所选用的真空泵必须满足连续性生产的需要。必要时，设置自动更换的备用真空泵，减少意外导致的生产中断。如果工艺过程中放气量越来越小，可以设置维持泵，以实现节能降耗。
6、真空泵使用的经济性。真空泵选型过程中，多种真空泵能同时满足工艺需求时，要进行成本和运转费用的经济性分析，选用经济性好，运行可靠，维修量小，使用与维修方便的真空泵。
参考资料来源：百度百科-罗茨真空泵
参考资料来源：百度百科-水环真空泵
1、如果是直接抽水：选用水泵即可
2、抽含水蒸气（水汽）的空气：选用水环泵或隔膜泵（水汽少的情况下）
3、抽热空气含水汽：选用真空泵+冷却器的方式
4、抽气含有腐蚀性：选用化工防腐泵
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