旋片式真空泵使用说明

真空泵使用说明书：

1．查看油位，以停泵时注油至油标中心为宜。过低对排气阀不能起油封作用，影响真空度。过高，可能会引起通大气起动时喷油。运转时，油位有所升高，属正常现象。如是旋片式真空泵真空泵油采用规定牌号的清洁真空泵油，从加油孔加入。加油毕后，应旋一上螺塞。油宜经过滤，以免杂物进入，堵塞油孔。

2．水环式真空泵可在通大气或任何真空度下一次起动。泵口如装接电磁阀，应与泵同时动作。

3．环境温度过高时，油的温度升高，粘度下降，饱和蒸汽压会增大，会引起极限真空有所下降，特别是用热偶计测得的全压强。如加强通风散热，或改善泵油性能，极限真空可得到改善。

4．检查真空泵的极限真空以压缩式水银真空计为准，如计经充分预抽校验，泵温达到稳定，泵口与计直接接通，运转30分钟内，将达到极限真空。总压强计测得之值与泵油和真空计、规管误差有关，有时误差甚至可很大，只能作参考。

5．如相对湿度较高，或被抽气体含较多可凝性蒸汽，接通被抽容器后，宜打开气镇阀，运转20～40分钟后关闭气镇阀。停泵前，可开气镇阀空载运动30分钟，以延长泵油寿命。

6．用油选择：真空泵油的粘度影响起动功率和泵的极限真空，粘度高时对真空度有利，起动功率则大一些。油在泵温下的饱和蒸汽压则会影响泵的极限总压强，越低越好。高速真空泵油和3#扩散泵油的粘度较1号真空泵油大，饱和蒸汽压较1号真空泵油低，但3#扩散泵油价格较高。具体选什么油，可根据上述介绍结合具体使用要求来选择。

(1)一般情况下，凡希望总压强在6X10-2帕以上的应用上海产的高速真空泵油。4升/秒以下小型真空泵也可用1号真空油泵代，8升/秒以上直联泵可用3#扩散泵油代。

(2)如果对真空度要求不高，且油的污染更换频繁，真空泵油供应困难，可采用50号机械油代替。

(3)如果环境温度低，起动困难，极限真空要求不高，可采用粘度较上略低的真空泵油或机械油。

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

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概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

  

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59020945

iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A59020946

iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相

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功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度    600 m3h-1  

353 cfm  

10000 l min-1  

极限真空    7 x 10-4 mbar  

5.3 x 10-4 Torr  

0.07 Pa  

典型轴封氮流量    4 slm  

进气口连接    ISO100  

出口连接    NW40  

15 psi 压降下典型冷却水流量    240 l h-1  

4 l min-1  

重量    415 kg  

极限功率输入    3.4 kW  

电机额定功率    6.1 kW  

油容量    1.43 l  

  

所有数字均为无气镇时的典型值。

 性能

尺寸

1    进气口  

2    出口  

3    抽风口  

4    变频器箱（仅限 iH1000）  

为了使真空泵安全运行，在使用真空泵时，必须严格遵守以下的操作规程。

(1)开泵前的准备工作

①查

认真检查各部分之间的连接是否良好。

②开

打开水箱的进水阀，向水箱灌水至规定水位；打开真空泵的吸人阀和排出阀。

③关

关闭真空罐的进气阀和放油阀。

(2)开泵

一切准备就绪后，即可启动泵。当真空罐达到一定真空度时，可打开抽气阀，对离心泵进行抽气引油；对油罐车抽扫底油时，其真空泵的操作与对离心泵抽气引油的操作相同。

(3)运转中的维护

泵在运转中，司泵员应严守岗位，集中精

力，认真观察，并且做到：①听，随时听泵和电机运转时的声音是

否正常；②看，看真空度、真空罐液面高度、水箱中的循环水、轴

承润滑等是否正常；③摸，用手摸轴承和电机的温度是否正常。

(4)停泵

①先关吸人阀，再打开真空罐的进气阀，最后停泵；

②放空真空罐，关闭有关阀门。

使用旋片式真空泵在起动时应先把系统的连接法门关闭，起动后再慢慢打开连接系统的法门，这样可以避免因进气量过大造成泵内的油液喷出而流失。关闭真空泵之前应先关闭系统连接法门，然后再停泵，这样可以避免系统内反流回气体，破坏系统真空度。

爱德华真空泵保养维护/真空技术/BOC干泵维修</span><br>摘要: 爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵, 日常维护检查的内容为观察泵油颜色, 查看油位, 检查<br>进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后, 维修方法是<br>更换老化的密封部件, 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧, 更换损坏的电源器件和<br>电机线圈等。最后给出真空泵的性能改造位置和方法。<br><span >BOC真空泵检查维护</span><br>为延长真空泵的使用寿命和无故障工作时间, 应当对爱德华旋片真空泵进行日常检查维护, 建议按表1 进行定期检查维护,<br>表中的维护频次可根据维修经验进行适当调整。<br>1、检查真空泵油油位<br>真空PUMP启动前, 应先从油窗检查油位是否可见并在“M IN ”刻线以上, 只有达到这个位置, 真空泵才能正常运转。另外,<br>启动新真空泵或真空泵有相当一段时间没有运行时, 还应在泵启动后检查油位是否有轻微下降(3～ 5 mm ) , 这个下降表明<br>泵是带油启动。当发现油位不在工作刻线范围内时,应及时注油至工作刻线范围内。<br>表1 <span >爱德华真空泵检查维护一览表</span><table cellspacing="1"cellpadding="1" width="640" border="1"><tbody><tr><td>爱德华PUMP维修频次<td>真空泵维护项目<tr><td>1、日常维护<br>2、初始运行100 小时每运行6 个月大修<br>3、6 个月<br>4、12 个月<br><br> <td>1、检查泵油油位和颜色<br>2、换油<br>3、清洗内部油过滤器<br>4、检查排气阀和O 形圈, 必要时更换 检查配油器橡胶封,<br>必要时更换，检查马达部件防泄露油封<br> <tr><td>备注：<td>如果泵使用在易污染的、脏的系统时, 应加大换油、清洗过<br>滤器的频次</table><br><br> <br><br><p>2、观察BOC Edwards真空泵油颜色<br>应定期在油窗内观察泵油颜色, 油应当清澈透明, 呈焦黄色, 如若发现泵油变色或出现浑浊,应当及时更换泵油, 否则会影响真<br>空泵的使用寿命和抽真空效果, 建议使用爱德华泵油。排油时建议让泵运行15 m in, 使泵油变热, 以利于泵油流出。<br>3、检查BOC DRY PUMP进气口、排气口的过滤器或阱<br>当进气口、排气口安装有过滤器或阱, 如捕捉罐、灰尘过滤器、干燥阱、化学阱、油雾过滤器等时, 应当定期检查, 以确保进<br>气口和排气口畅通。进气口或排气口堵塞时, 容易造成真空系统真空抽不上去, 严重时, 可引起真空泵内压力上升, 这将导致密<br>封破坏和油箱破裂, 引起物理损伤。<br>4、检查是否漏油<br>应当经常检查油窗、油箱密封垫处、电机轴承盘处以及泵的其他部位是否有泵油渗出, 发现有漏油时应及时进行维修。

首先检查真空泵电机电压是否符合电机要求，并检查电机的转向是否与真空泵所标方向一致，切勿反转（检查时应将真空泵皮带先卸下）。

按照真空泵所标方向旋转皮带轮观察油面位置（油面应处于观察窗上下两条红线之间）和油的质量（油质若为黄白色和黑色则必须更换）。

检查真空泵气镇阀和放油螺塞是否拧紧。

检查真空泵进气口与被抽容器之间连接是否紧密（切勿有漏气点），被抽容器是否密封。

检查真空泵抽气速率是否与被抽容器容积匹配。（不赞成大马拉小车，切勿小马拉大车）

若真空泵使用需要冷却水，则应检查真空泵冷却水进、出口是否畅通。

真空泵所抽介质应符合真空泵的使用要求。

上述条件如均满足即可通电使用。如有条件，最好应先单独测试真空泵的真空度，如符合要求再将其与被抽容器（系统）连接。如不符合要求则应先修理真空泵。

使用时将真空泵排气口连接到室外，防止真空泵排气口排出的气体污染室内环境。

在使用中应根据说明书要求和现场使用环境定期换油。

接在管路上，一头连接在真空泵上面，另一端接在需要抽真空的设备上，打开阀门，启动真空泵，此时压力表指针反时针摆动。

外圈读数为红色，对应红色单位PSI。内圈读书为黑色，对应黑色单位MPa。关闭真空泵保持一段时间，指针没有偏移，就可以正常使用了。

扩展资料：

压力表常见故障：

现场压力表出现的问题是压力指示不准，会出现显示偏高或偏低、指示不回零等问题，这些问题现场工作人员大都是凭着经验告诉维修人员某块压力表坏了需维修。

在拆开后压力表表针还有指示，当然这种情况也可能发生误判断，也许是弹簧管内介质粘稠导致，此外在拆开时要留心是取压阀没有关严导致指针不回零。

使用方法

正确使用真空包装机能有效的延长真空包装机的使用时间

使用前的准备：

1、真空保鲜机器放置平稳，查看合盖是否顺利，松手后是否自动跳起。

2、配备适应机型要求的电源。

3、查看真空保鲜机真空泵油面的位置是否正确，如不正确应调整（详见真空泵使用说明书）。

4、将本机良好接地。

5、接通电源，打开电源开关，合盖，查看真空泵运转是否正常。

使用前的调整：

1、选择真空度加热时间,数字显示，连续可调，根据所用包装材料及加热温度，调整加热时间旋钮，选择合适的加热时间。

2、根据需要选定真空保鲜机封口硅橡胶条的硅胶字，设定封口日期等字符。根据包装袋材料选择所需加热温度，将加热温度旋钮调到相应位置。

3、调整加热时间

真空保鲜机抽气时间,数字显示，连续可调，真空保鲜机抽气时间为数字旋转式0-30秒可调。调整抽气时间的长短，从而达到所需的真空度。

4、选择加热温度

使用时注意事项：

1、打开电源开关。

2、将包装袋压条翻开，把装入被包装物品的包装袋放入工作室内，需封口处平整地放于硅橡胶条上，袋子不要重叠，翻过包装袋压条将包装袋口部压好。

3、（或按上盖边缘）下压上工作室，合盖，本机将按程序自动完成真空包装过程并自动开盖，部分设备配备有急停开关。

4、打开真空盖，取出包装袋，即完成一次工作循环。

5、停止工作时需关上电源开关，拔出电源插头。

使用真空保鲜机时一定要按要求操作！！！