真空泵有哪些类型

真空泵按工作原理分气体输送泵变容真空泵往复式旋片式油封式旋片式滑阀式定片式余摆线式多室旋片式干式螺杆液环式罗茨真空泵动量传输泵分子真空泵牵引分子泵涡轮分子泵复合分子泵喷射真空泵液体喷射真空泵气体喷射真空泵蒸汽喷射真空泵扩散泵自净化扩散泵分馏式扩散泵扩散喷射泵离子输运泵气体捕集泵吸附泵吸气剂泵吸气剂离子泵蒸发离子泵溅射离子泵低温泵按真空度分粗真空度高真空度滑阀式真空泵旋片式真空泵罗茨真空泵超高真空度气体传输泵

气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：

变容真空泵

利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种：

（1） 往复式真空泵：是利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。

（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。旋转真空泵又有如下几种形式：

① 油封式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。按其结构特点分为如下五种形式。

a旋片式真空泵：转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近，在转子槽内装有两个（或两个以上）旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，此旋片随转子一起旋转，可将泵腔分成几个可变容积。

b.滑阀式真空泵：在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而泵腔分成两个可变容积。

c.定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上下滑动将泵腔分成两个可变容积。

d.余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。

e.多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。

②干式螺杆真空泵：它是一种不用油类（或液体）密封的变容真空泵。

③液环式真空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体（通常为水或油）抛向泵壳内形成泵壳同心的环液，环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积，故亦称旋转变容真空泵。

④罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子，转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变容真空泵。机械增压泵即为这种形式的真空泵。

动量传输泵：这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型。

（1） 分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式：

① 牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得力量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。

②涡轮分子泵：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。

③ 复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联起来的一种复合式分子真空泵。

（2） 喷射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种：

① 液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。

② 气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。

③ 蒸汽喷射真空泵：以蒸汽（水、油或汞蒸汽）作为工作介质的饿喷射真空泵

（3） 扩散泵：以低压高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：

① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵

② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。

（4） 扩散喷射泵：它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种形式。

（5） 离子传输泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。

气体捕集泵

这种泵是一种是气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。

吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵

吸气剂泵：它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种形式。

吸气剂离子泵：它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下几种型式。

（1）蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。

（2）溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。

低温泵：利用低温表面捕集气体的真空泵

按其真空度可以分为：粗真空、高真空、超高真空三大类。

粗真空系

主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。广泛用于食品、纺织、医药、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工艺过程中。该型泵具有真空度高、结构简单，使用方便、工作可靠、维护方便的特点。

主要用于粗真空。抽气量大的工艺过程中。它主要用来抽除空气和其它无腐蚀，不溶于水，含有少量固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空。所吸气体中允许混有少量液体。它被广泛应用于机械、制药、食品、石油化工等行业中。

是获得粗真空的主要真空设备之一。广泛应用于化工、食品、建材等部门，特别是在真空结晶、干燥、过滤、蒸发等工艺过程中更为适宜。

无油(耐腐蚀)立式往复真空泵是卧式真空泵的更新换代产品，是获得粗真空的主要设备。由于采用全密封装置，实现了曲轴箱和汽缸的完全隔离；加上活塞环使用了自润滑材料，便实现了先进的无油润滑。由于无污水排放，所以该型真空泵特别适用于化工、医药和食品等行业的真空蒸馏、真空蒸发、真空干燥、真空浓缩、真空浸渍等工艺过程中。

高真空系

滑阀式真空泵

（Rotary Piston Vacuum Pump）

广泛应用于真空拉晶、真空镀膜、真空冶金、真空热处理、真空浸渍、真空干燥、真空蒸馏、真空练泥、航空航天模拟试验等新材料、新技术、新工艺的生产与研制中。

滑阀真空泵可单独使用，也可作为罗茨真空泵、油增压泵、油扩散泵的前级泵的使用。当抽吸对黑色金属有腐蚀、对真空油起化学反应、含大量蒸汽、大量粉尘的气体时，需附加装置。优点：相比旋片式真空泵耐用性要高好几倍且抽气速率大，价格相对高一点。

用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。它可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用。该型泵广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、医药等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理，真空干燥等工艺过程中。

旋片式真空泵

( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )

具有结构紧凑，体积小，重量轻，噪音低，振动小等优点。所以，它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如：质谱仪器，冰箱流水线，真空冷冻干燥机等。

罗茨真空泵

( Roots Vacuum Pump )

是一种旋转式变容真空泵，须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内，有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。主要用于真空机组的主泵，需要用前级泵辅助。如：水环式真空泵，滑阀真空泵，立式无油真空泵，分子真空泵等。国内最大罗茨真空泵保持纪录为20000L/S。

①抽除式，真空泵抽吸系统中的气体，并将气体分子排至系统之外。

②捕集式。真空泵捕集系统中的气体分子，直接吸附在泵工作壁面上而不排出系统。

(2)按真空泵结构分类

①机械式。这类真空泵类似于压缩机，属于容积型的有往复式与回转式结构，还有属于动力式的涡轮分子泵，它们都属于抽除式真空泵。

②喷射泵。有喷射泵与扩散泵两种形式，还有将二者组合在一起的增压泵，也都属于抽除式真空泵。

③吸着式。依靠物理或化学方法使气体分子吸着在泵壁表面，属于捕集式真空泵。

(3)按真空泵在系统中的工作职能分类

①主抽气泵。实现所要求压力的主要工作泵。

②预抽气泵。当主抽气泵不能在大气状态直接开始抽吸时，需要预抽泵先抽至某一压力，主抽气泵方能进入工作。

③前级泵。当主抽气泵不能将所抽气体直接排入大气时，需串接前级泵排送。

④维持泵。当主抽气泵完成所要求的压力停止工作后，由于系统泄漏或表面蒸发等原因，压力可能升高，因此用维持泵继续抽吸。

1、分类 a类，机械泵：油封机械泵（单级），油封机械泵（双级），分子泵，罗茨泵；

b类，蒸汽喷射泵：水银扩散泵，油扩散泵，油喷射泵；c类，干式泵：溅射离子泵，钛升华泵，吸附泵，冷凝泵，冷凝吸附泵。

2、各自结构，a机械泵就是通过机械原理抽气而抽真空的，一般都有定子，转子，和旋片，阀门等组成。机械泵一般抽真空度较低，油封机械泵抽到10（-2）次方就不能往下抽了，但罗茨泵和分子泵由于其巧妙的设计，可以抽到10（-4）甚至更高。b蒸汽喷射泵就是利用加热气化使高速喷出的蒸汽的动量携带气体分子出来，从而抽真空的，蒸汽喷射泵因为是由蒸汽携带气体出来的，一般都会有蒸汽污染。注：蒸汽携带气体出来之后蒸汽会冷凝回流，再蒸发，再携带，依次循环。蒸汽喷射泵抽的真空度比一般机械泵高，但是也高不了多少，主要是会有污染。

c干式泵，每种的原理结构都大不同，优点就是无污染，抽的真空度高，能抽高真空，最高可以达到10（-12）的极限真空，缺点是技术要求太高了，而且抽到10（-12）一般来说连续抽个几个月才能达到，时间好长哦。我用冷凝泵抽到10（-4）都得四五个小时哦，而且干式泵无法从大气压直接抽到高真空，得用前两种泵抽到一定真空度后，干式泵才能开始工作，继续抽到更高真空。

3、应用领域，太多了，半导体，化工，镀膜，最简单的做个灯泡也要用真空泵啊，抽光了空气才能灌氮气和其他气体啊，总之要用到高纯和低压的地方大都要用到真空泵。

2X型旋片式

一、2X型旋片式真空泵的概述：

2X型旋片式真空泵为双级结构，它的工作性能由高压级与低压级二部分组成，它的吸入口与真空容器或真空设备连接，在运转时容器内的气体将大量吸入与排出。当设备获得真空时，高压级排气阀片将封闭，高压级吸入的气体将转送到第二级，并经第二级吸入与排出，这样真空设备可获得一定的真空。该泵的技术参数6×10-2pa。根据用户使用情况，可配备真空增压泵，将2X型旋片式真空泵为前级泵，由于增压泵的抽气力加强，前级泵连续抽除，能使你的设备获得更高的真空。

二、2X型旋片式真空泵的用途及适用范围：

由于现代科学技术的高度发展，2X型旋片式真空泵的应用遍及各个科学领域和各种企业事业单位，其主要表现在：

1、可供冶金、化工、轻工、石油、医疗、制药、印染、电器、电真空、半导体、食品、原子能、纺织等科研机关、大专院校、工矿企业作科研和生产与教学之用。

2、由于2X型旋片式真空泵是用黑色金属制造，而且比较精密，整个泵的工作都是与油联系在一起的，所以它不适用于抽除含氧过高的、有毒的、有爆炸性的浸蚀黑色金属的和对真空油起化学作用的各种气体，也不可做为压缩机和输送泵使使用。如有气镇装置的泵，可抽除一定量的可凝汽体。

3、2X型旋片式真空泵可以用来直接获得真空度在10-3托以下的真空作业，以及配合其它真空设备获得真空度10-3托以上的真空作用之用。

4、2X型旋片式真空泵一般在不底于5℃的室温及不高于90%的相对温度的环境内使用。

可根据用户使用情况，配备真空增压泵，将该泵做为前级泵，由于增压泵的抽气力加强，前级泵连续抽除，设备能获得更高的真空。

X型旋片式

一、X型旋片式真空泵的介绍及用途：

X型旋片式真空泵系单级旋片式真空泵，国内首创的能抽除大量水蒸气的新产品，由于泵本身带有油再生装置和可靠的气镇装置，延长了泵油的使用寿命。X型旋片式真空泵用来对密封容器抽除气体所获得真空的基本设备，适用于电子器件制造，真空干燥、过滤、浸渍、涂膜、焊接、冶炼及实验室装备等（工艺品专用泵）。它可单独使用，也可作为增压泵、扩散泵的前级泵使用，但不适用于自一容器抽至另一容器作输送泵用。当抽除含氧过高的、有爆炸性的、对黑色金属有腐蚀性的、对真空油起化学反应的有水的、有灰埃的等等气体时，应加附设装置。主要型号有：X-100型单级旋片式真空泵、X-150型单级旋片式真空泵。

二、X型旋片式真空泵的特点：

1、相对于XD系列单级真空泵具有极限真空高，对于滑阀真空泵可通过调整消声针阀来控制噪声，由于其转子偏心质量小，且对转子作了平衡，故振动小。

2、X系列旋片式真空泵抽气效率高。

3、X系列旋片式真空泵气镇性能好。

X系列旋片式真空泵有经过特殊设计的气镇装置可向排气腔充入干燥气体，从而大大降低排出气体中蒸汽的分压力。当其低于泵温下的饱和蒸汽压时即可随充入空气排出泵外，而避免凝结在泵中。

4、X系列旋片式真空泵配有温控水量调节阀。

泵工作时通过泵自身所配上述调节水压，可将泵温调至75oC±5oC，从而提高排出泵外，但应使泵温不超过80oC（油箱测温点）。

5、X系列旋片式真空泵有油水分离器。

它能够使泵油中的杂质和凝结物积存到油水分离器的底部，通过安装在底部的放水阀排出泵外。

2XZ型旋片式

一、2XZ型旋片式真空泵概述：

2XZ型旋片式真空泵为双级直联结构，它的工作性能由高压级与低压级二部份组成，它的吸入口与真空设备连接，在运转时将容器内的气体大量吸入与排出，当设备获得真空时，高压级排气阀封闭，高压级入口的气体将转送到第二级，并经第二级吸入与排出真空设备可获得了一定的真空，2XZ型旋片式真空泵的技术参数为6×10-2Pa，泵与电机连轴，高转速，外型小，结构紧凑，流动性工作方便，可用于电真空器件制造、保温瓶制造、真空焊接、印刷、吸塑、制冷设备修理以及仪器仪表配套等。因为它具有体积小、质量轻、操声低等优点，所以更适宜于实验室里使用。

二、2XZ型旋片式真空泵的特点：

2XZ型旋片式真空泵具有体积小，重量轻、噪声低、起动方便等优点。此外，还有防止返油的措施（2XZ-8）和无防止油封漏油污染场地的措施。

1、2XZ型旋片式真空泵是获得真空的基本设备，它可单独作用，亦可作为各类高真空系统的前级泵和预抽泵。

2、2XZ型旋片式真空泵进气口连续敞通大气运转，不得超过三分钟。

3、泵不适用于抽除对金属有腐蚀性的，对泵油起化学反应的、含有颗粒尘埃的气体，以体含氧过高的，有爆炸性的气体。

4、泵有得作压缩泵或输送泵用。

5、2XZ型旋片式真空泵的工作环境：温度5℃-40℃范围内，相对温度不大于90%，进气口压强小于1333Pa的条件下允许长期连续运转。

6、装接电源时，按电机标牌的规定接线，应注意电机旋转方向与支座上的箭头方向一致。

7、连续被抽容器的管道，其直径应不小于泵的进气口直径，且管道应短和弯头少，同时注意管道的泄漏。

8、每次起动前着重查看油位，以停泵时注油至油标玻璃直径的4/5高度为宜。

9、具泵油采用清洁的SY1634-701号真空泵油。

10、2XZ型旋片式真空泵可在通大气或任何真空度下一次起动。XZ-1单级型泵如果起动困难，可拨掉进气管塞帽起动，随后投入运转。

WX型无油型

一、WX型无油真空泵概述：

WX型真空泵系无油真空泵，是一种获得真空设备之一。WX型无油真空泵的极限真空为6×10-2Mpa。它具有结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。是一种使用范围非常广泛的机械真空泵。与一般油润滑的真空泵相比，无油真空泵的使用范围更广泛，应用于各种物品的吸收和输送，自动机械的物料供给设备。

二、WX型无油真空泵系列旋片式真空泵的用途：

无油真空泵可具体应用于下列各项工作中：

1、自动包装线上的真空吸拉列开装、装料。

2、印刷机械上的纸张真空吸送。

3、各种液体注入瓶内的高效率真空灌装。

4、各种塑料制品的真空吸塑成形。

5、物体表面在真空状态下的气密性试验。

6、纸箱及瓶类物品的标签真空吸送粘帖。

7、真空吸引固定下的照相制版。

8、真空状态下的利用压力差引导气体分析。

9、各种医药机械自动线上的配套使用。

10、加工上的非磁性零件夹用的真空吸盘夹具。

11、各种容器在真空状态下的检漏试验。

12、食品加工机械上的应用。

13、中西药厂真空蒸馏干燥。

14、医院手术室的真空吸引。

15、院校、研究所、厂矿实验室气体分析，理化实验。

16、各种医疗仪器的配套使用等。

XD型旋片式

一、XD型旋片式真空泵概述：

XD型旋片式真空泵为单级旋片式联轴式结构。它的工作性能是高转速，低噪声，抽速快，效率高。XD型旋片式真空泵只需空气冷却，有防返油结构，防止泵油返入被抽系统，泵内装有排气过滤器，有效消除油雾，运转平衡，振动小，可以在任意压强下工作。XD型旋片式真空泵泵的技术参数2×10-2Pa，已普遍适用食品真空包装，医药、印刷机械纸张输送，玻璃工业输送，真空夹具，干燥等单位的使用。

二、XD型旋片式真空泵的特点：

1、XD型旋片式真空泵可以在任意入口压强下工作，最大的特点。

2、在XD型旋片式真空泵的内部装有油雾消除器，能有效地消除泵排出的气体中的油雾，避免油雾对周围环境的污染。

3、在XD型旋片式真空泵的吸气口装有逆止阀，当泵停止时逆止阀与泵内专门设置的孔的联合作用下，可以立即使泵与被抽系统隔离，防止泵油返入被抽系统，同时保持了被抽容器的真宽度，因而使用本型真空泵洋就可以不需要再配置带有放气的真空截止阀，从而可以减少用户的使用费用。

4、XD型旋片式真空泵配有油气分离器，它与油雾消除器一起组成了有效的消音系统，能消除排气噪音，避免噪音污染。

5、XD型旋片式真空泵和电动机直接联接安装，采用空气冷却，不需水冷却管道，因此本型是一种结构紧凑，安装简便的设备。

6、结构设计合理，振动小，不用地脚螺栓即可工作。

旋片式真空泵适用范围：

气体类型：常温无其它混合物的清洁干燥空气，不许有含其它粉尘及水分的空气。

工作要求：进口压强在大于6500Pa时连续工作时间，不得超过3分钟以免喷油引起泵损。

工作要求：进口压强在小于1330pa的条件下，允许长时期连续工作。

环境温度：真空泵一般在不低于5℃的室温及不高于90%的相对湿度的环境内使用。

旋片式真空泵其工作压强范围为101325－1.33×10-2（Pa）属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。

真空泵与水环真空泵的最大区别就是真空泵包括水环真空泵。

对于真空助力系统的真空来源，装有汽油发动机的车辆由于发动机采用点燃式，因此在进气歧管可以产生较高的真空压力，可以为真空助力制动系统提供足够的真空来源，而对于柴油发动机驱动的车辆，由于发动机采用压燃式CI（Compression Ignition cycle），这样在进气歧管处不能提供相同水平的真空压力，所以需要安装提供真空来源的真空泵，另外，对于为了满足较高的排放环保要求而设计的汽油直喷发动机GDI（Gasoline Direct Injection），在进气歧管处也不能提供相同水平的真空压力来满足真空制动助力系统的要求，因此也需要真空泵来提供真空来源。真空泵主要由泵体、转子、叶片以及进排气口等部分组成，如图4所示，以单叶片真空泵为例，当驱动扭矩通过发动机凸轮轴和真空泵连接器来使转子旋转，从而带动塑料的单叶片沿着真空泵容腔的轮廓，并以容腔的偏心位置进行转动，图4位置的单叶片的上侧分为两个容腔，左侧为真空腔，随着单叶片的旋转其容腔的容积越来越大，从而产生真空度同时通过与真空助力器相连接并带有单向阀的进气口使真空助力器增加真空度，右腔为压缩腔，随着单叶片的旋转其容腔的容积越来越小，将润滑油和从真空助力器中抽取的空气压缩到发动机。

来自发动机的润滑油从转子中心进入来润滑真空泵容腔和相应的部件，并起到对单叶片上的浮动端子和容腔轮廓之间的密封作用。真空泵的作用就是产生负压，从而增加制动力。 汽车发电机的真空泵一般都是油泵，也就是真空泵芯跟发电机的轴是一起转动的，通过不断的吸油、抽油，使真空泵泵壳内产生负压，也就是真空。真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。