真空泵如何正确操作

操作方法：

1、打开水箱上盖，注入清洁凉水，水位高度以略低于溢水嘴为限。

2、接通电源插头，打开启动开关，泵开始工作。

3、用手指堵住抽嘴，对应的真空表能达到接近-0.1Mpa真空度表示泵工作正常。

4、本机各抽嘴有单向止回阀，为保险起见应同时采取更有效措施防止泵停止工作时，泵内水污水倒流到被抽容器内。

具体方法有：

（1）卡断真空泵与被抽容器之间皮管。

（2）停止工作即将被抽容器内真空放掉。

　循环水真空泵的极限真空度受水的饱和蒸汽压限制。长时间作业，水温升高会影响真空度。此时可将设备背后放水口（下口）与自来水接通。溢水口（上口）排水。适当控制流量即可保持水箱内水温不升，真空度稳定。

维护保养：

经常保持水质清洁是设备能长期稳定工作的关键。必须定期换水、清洗水箱。不能抽粉尘和固体物质。

某些腐蚀性气体可导致水箱内水质变差，产生气泡，影响真空度，故应注意不断循环换水。

对特殊强腐蚀性气体，应认真判断是否与本设备所使用材料有反应，并谨慎使用。

真空度上不去应首先判断是否被抽容器泄漏或皮管接动松动。如属泵的问题，则检查进水口或各气路是否堵塞或松动漏气。

1、关闭干燥仓电磁阀。

2、启动捕水电磁阀。

3、关闭循环管道泵。

4、当捕水器①、②均达到-40℃时。

5、启动真空泵①，再打开真空泵②。

6、当真空表小于-0.08Mpa以下时。(检查电流过载，电流表所示)。

7、启动罗茨真空泵。注意事项：油表所示温度不能低于40℃。

(2)、罗茨真空泵的环境温度为5-40℃。

（3）、罗茨真空泵应水平安装，其周围应留有充分的余地，便于日常检查、维护保养。装拆方便。

（4）、接通电源后，电机转向应符合泵上转向箭头所示。

（5）、连接被抽容器的管道应清洁.无杂质等异物，孔径不应小于泵口口径，长度宜短，以保证其有足够的通导能力，管道连接应密封不漏。

（6）被抽气体应无颗粒状固体进入泵腔。

（7）、罗茨真空泵与前级泵连接应装弹性管以减少前级泵引起的震动。

（8）、电气设备必须有互锁保护装置，当前级泵停止工作时罗茨泵必须同时停止。

（9）、小泵可以直接启动，大泵须设启动器。

罗茨真空泵使用说明：

新泵就位后先查看油位，齿轮侧油位以油面浸没3-5齿为宜，电机侧以油窗中心略高为宜，轴伸上油杯不应缺油，各部位润滑油均采用1号真空泵油

1,检查油位,避免缺油运行,一般一个月左右更换一次润滑油.

2,检查泵浦表面洁净度,表面干净,泵浦散热好.

3,观察排气口,如排气口有油烟,需要更换排气滤芯.

4,一年左右做一次基本保养!

5,三年到五年做一次大保养!

1 准备工作

a,检查电源线接触是否良好

b,检查连接线是否正常

c,检查冷却水是否正常

d,检查密封性是否正常

e, 准备所需工具：无尘纸、无水酒精、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘

2 开炉

a,打开主电源开关

b, 向炉体充氩气至大气压，打开炉体前门，取下石墨盖板

c, 将输送车开关打至 OUT

d, 清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物

3装料

a,将石墨坩埚放置于输送车平台上，使用限位杆确定其位置，依次装入硅料。

b、拔出限位杆，输送车开关打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，将坩埚装入炉膛内，并确定输送车会到初始位置。

c、装入石墨盖板，拧紧石墨螺栓，关紧炉门

4 抽气

a、检查炉门是否关紧，真空系统是否密封

b、置 DP 按钮于 DP ON，打开干式真空泵，打开真空计开关 P1G1，打开干式真空泵 。阀门，开始抽气测试泄漏率，

c、当压力表指示为 50Pa是关闭真空泵阀门（非真空泵）露铝≤1Pa/min，打开氩气阀门充氩气（20L/min）。 加热 先打开水环泵 再按 RUN，开始工艺加热。 冷却 a、加热结束后，按工艺条件进行冷却；

北京德世科技隔膜真空泵产品的使用

1. 该产品只能用于抽空气，少量水蒸气亦可

2. 禁止让腐蚀性的液体或颗粒材料进入泵内。油类污染物或者其他液体必须先过虑出去。

3. 工作环境温度不能超过55℃。

4. 不能在高海拔的地方使用本产品，在高海拔地区低气压会对产品有影响。 5. 该产品属于精密仪器，禁止受脏受潮。 6. 禁止带压启动

隔膜真空泵操作规程

1.检查气路、油路确保畅通检查紧固件、密封条并适当进行调整检查传动轴套、皮带的磨损情况。在检查完好后，及时与上、下工序联系，然后才能起动隔膜泵。

2.接通电源时，必须先检查皮带轮的转动方向须与泵盖上的箭头指示方向一致(泵的方向为顺时针方向)。

3.对泵体应保持清洁。特别是吸管和排管口不得有异物、脏物堵塞。应开启冷却水、三通阀，使泵和大气畅通无阻。

4.隔膜泵在运转时，缸体内应无冲击声，发现异常响声或电机温升过高，应停车维修和调整。

5.经常巡视检查电流表、真空压力表、油压表以及上、下工序衔接情况，发现问题后应及时处理或报告。

6.遵守电瓷工一般安全操作规程。

此外，好凯德罗茨真空机组机组启动前，检查各泵的转动方向是否正确，做好开车前的其他准备工作。由于它具有启动快、耗功少、运转维护费用低，对被抽气体中所含的少量水蒸汽和灰尘不敏感等特点，被广大的用户所认可。