对真空泵的维护和保养工艺有什么要求

真空泵类型多，面对的工况和应用领域复杂，因此真空泵选型涉及的因素也非常多。佛山市真空泵厂有限公司与您一起探讨其中需要关注的最基础的六个注意事项。

一、真空泵选型中，确定的产品需保证能顺利抽出工艺过程中释放出来的各种气体。真空泵的应用工艺中，气体介质多种多样，易燃易爆的、易凝结的、易化反、易腐蚀的等，选用的真空泵就需保证适用性。例如，工艺过程会产生大量水蒸气，选用的真空泵就必须适合抽水蒸气。

二、真空泵的极限真空度，必须高于工艺生产要求的真空度，至少要高一个数量级，并且设备适合在要求的工作真空度范围内工作。真空泵的极限真空度是泵抽速为零的时候所能达到的真空度。因此为保证真空泵在工作真空度内的抽速，就需要满足其极限真空度要大于工作真空度，并且在区间内需要有较大的抽速。

三、真空泵的抽速要大于工艺过程中的最大放气量。为保证真空度，真空泵选型中涉及工艺过程中持续放气的，真空泵或者真空系统的抽速要满足大于工艺过程中的最大放气量。如果在系统设有冷阱或档板等，则加阱或挡板之后的有效抽速应大于工艺过程中最大放气量。如果工艺过程中会出现突然大量放气，则系统的有效抽速还要适当加大，通常加大到最大放气量的2—3倍。

四、真空泵选型中，选用的真空泵其工作介质和制造材料须满足工艺要求。真空泵应用，尤其是在医药、化工、电池等领域，抽取的介质往往是具有腐蚀性的气体，这时就要求设备要有相应的防腐措施。如酸碱气体需要有对应的防腐涂层或泵的材质改用不锈钢防腐蚀；带有灰尘或颗粒的气体时，要在泵入口前加除尘器、过滤器或泵本身对其有耐受性等等。  

五、需连续生产的工艺中，所选用的真空泵必须满足连续性生产的需要。必要时，设置自动更换的备用真空泵，减少意外导致的生产中断。如果工艺过程中放气量越来越小，可以设置维持泵，以实现节能降耗。

六、真空泵使用的经济性。真空泵选型过程中，多种真空泵能同时满足工艺需求时，要进行成本和运转费用的经济性分析，选用经济性好，运行可靠，维修量小，使用与维修方便的真空泵。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。

随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升

到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足

生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同

的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应

用。

常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵

和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来，

伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定

地快速的发展。

真空泵一般都是工作的一个大气压以下，不能抽高压气体，所以都有入口压力要求。

另外若压力高于一个大气压，泵本身的耐压也是一个问题。

但并非所有的真空泵都不能抽高压气体，需要根厂确认这一点。

②开冷却水，检查往复式真空泵气缸夹套冷却水是否通畅.

③检查真空表是否灵敏或失灵。

④开车前先试车，检查机件是否有故障。

⑤气体在吸入真空泵之前，须经过缓冲罐，以分离其中的灰尘、油或液滴。对腐蚀性气体应

该用酸或碱分别对气体进行过滤、洗涤等处理，并应经常检查酸、碱液是否失效。

⑥在使用过程中，如发现真空度降低，应检查真空系统是否漏气，是否有不应打开的阀门忘记关闭。

⑦如抽取水蒸气，从减压蒸馏、减压蒸发等设备出来的水蒸气，应先将气体通过冷凝器，使

其中部分水蒸气冷凝下来，只让不冷凝的气体进入真空泵内。

⑧停机后，关冷却水阀，放缓冲罐存水。缓冲罐一般放在室内，避免发生冬季存水冻结现象。

一、安装泵轴、轴承部分

1.将泵轴及轴承整体从托架非驱动端装入托架，可以通过敲击轴承外圈使泵泵轴安装到托架中。注意：敲击轴承时应在其端面放置垫块或者套筒工具以防止损坏轴承。

2.安装非驱动端轴承盖，锁紧螺栓。

3.安装垫圈、驱动端轴承盖，锁紧螺栓。用手转动泵轴，泵轴转动应顺畅，若泵轴转动教紧时应稍微松动螺栓，将泵轴调节至转动较为顺畅的状态。

4.安装平键，联轴器泵轴部分，联轴器压板，锁紧螺栓。

二、安装泵体、机械密封部分

将机械密封静环部分安装在泵体上

安装机械密封静环部分时可用水将其湿润后用手均匀压入泵体内。注意用力不能过猛！装配后，检查机械密封静环部分与泵体是否装配得紧密。

将泵体紧压在电机上，将螺栓拧紧。注意不要损坏机械密封静环部分。

将垫圈安装到电机后盖中，然后将泵体、电机前盖、轴承、电机转子、内轴承盖部件安装到电机壳体中，锁紧螺栓。

依次安装电机风扇、挡圈、电机护罩、螺钉。安装完成后将泵的电机风扇护罩端朝下垂直于地上，准备安装泵的其它零件。

三、安装叶轮

1.将叶轮压在轴承上，应保证叶轮和泵体的前端面保留0.05~0.15mm的间隙。将真空泵水平放置，检查间隙。若间隙过小，可能会造成真空泵出现机械故障；若间隙过大，将会造成真空泵抽气速率的下降。

2.叶轮与泵体前端面的间隙调整好后用深度百分尺测量泵体外边缘与叶轮平面的深度差并以此确定调整间隙保留。

四、安装泵盖和圆盘

1.将电机护罩朝下垂直放于地上。

2.将准备好的圆盘放到泵体。确保靠近圆盘、泵体上的直径为4.2mm的小孔与定位销准确地结合在一起。

3.将圆盘上面向泵盖一侧的密封表面均匀连续的涂上密封胶。涂好后，将泵盖安装到泵体及圆盘上，拧紧螺栓。安装泵盖时应注意汽蚀保护管的两端必须分别安装在圆盘及泵盖的相应孔中。

五、整体安装泵盖、圆盘

1、将电机地脚朝天，轴呈水平方向放在地上。

2.泵盖和圆盘组成一个整体。将泵盖推压至泵体上，注意定位销应与泵体和圆盘的定位销孔对齐。用螺栓将泵盖紧固在泵体上。

3.泵装好后，用手转动电机风扇，泵必须旋转顺畅。如泵旋转不顺畅或泵旋转过程中出现摩擦声，应拆开泵盖检查叶轮间隙情况等，重新调整。

真空泵是用来排除制冷系统中空气的专用工具。对进行维修后的制冷系统进行抽空，将系统内部残留的气体抽出，使系统内部保持干燥。若在抽真空过程中系统真空度一直达不到要求，说明系统存在泄漏，则应进一步检漏。

真空泵抽真空时的连接如图9-14所示，使用方法如下：

图9-14 真空泵抽真空

（1）所使用的真空泵的排气能力应在200L/min以上。

（2）启动真空泵前要仔细检查各连接处及焊口处是否完好，泵的排气口胶塞是否打开。泵的润滑油是否足够。

（3）对于采用复式抽空的设备，可按以下方法进行操作：排除制冷剂气体→抽空20min→充入制冷剂气体20min后→排出→抽空30min，真空度在133Pa以下。

真空泵广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。。

真空泵是利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构，立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。

卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。

泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。

干式机械真空泵的应用：

1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

参考资料来源：百度百科-真空泵

参考资料来源：百度百科-干式真空泵

1. 轴承合金应与瓦壳贴合良好、牢固，不得有裂纹、气孔、分层等缺陷

2. 轴瓦瓦背与轴承座的接触面积不得少于40%-50%,两者之间不得放置垫片

3. 轴瓦与轴颈应呈点状均匀接触，其接触角应为60%-90%，接触点每平方厘米不少于2-3点

4. 轴瓦与轴颈的径向间隙应为轴颈直径的千分之一