什么是罗茨干式真空泵

无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。

这里罗茨泵和干泵必须配合使用，因为罗茨泵是不能单独使用的，必须与一台前级真空泵（前级真空泵可以是干泵、水环式真空泵或者旋片式真空泵都可以，你这儿用的是干泵）串联，待前级泵抽到一定的压力后才能够启动罗茨泵，罗茨泵的优点就是在较低的入口压力下具有较高的抽气速度，通俗点讲就是在较高的真空度下仍有比较大的抽速。配用不同的前级泵能够达到的极限真空也是不同的。

国产爪型真空泵说实话一般。国内的干式真空泵基本上就是螺杆真空泵和爪型真空泵，做的都一般。国内最好的爪泵是郎禾和曌越。再就是干式罗茨真空泵。这种国外用的比较多。比前两种更普及。但是国内能生产的很少，中科院有一家在沈阳。好像叫沈科仪。淄博有一家好像叫景曜真空。别的就没听说了。

国外的螺杆泵起步比较早，技术上相对成熟点，但是国内的螺杆泵也研发了很多年了 ，目前技术上面已经与进口泵很接近了。如果不是太追求品牌，追求进口产品的话，还是用国内的比较实在，使用。首先，价格上要比国外的便宜很多，将近3倍多的价钱。第二，售后服务方面，我想大家都应该知道的，进口泵的上门费、修理费、更换配件都是非常昂贵的。第三，现在国内的泵的技术也挺不错的，我们厂以前用的德国普旭的干泵，后来修理、更换配件等等都太不方便、价格太高了，后来别人推荐上海高鹏真空的泵，用起来也蛮好的，

以上是我个人对国内、国外干泵的认识和了解，希望能帮到LZ！！！

你是三级水环+罗茨，想替成爱德华爪泵吧。

1）三级水环+罗茨的极限真空可以进到10E-1mbar量级，用爱德华EDP爪泵可以进到10E-1mbar，所以极限真空没有问题

2）三级水环+罗茨抽速成抛物线，因此如果主泵罗茨抽速为2000m3/h，实际最大抽速（抛物线顶端）为2000m3/h，平均抽速小于此值，而爪泵抽速基本为稳定平行抽速。

工业应用如化工，关键是考量泵的抽气能力，即是抽速*压力，得要考虑不同压力下泵的抽速才能最终确定需要什么样的泵，这个可以让厂家来提供，你只需要提供你想要的工作真空以及在这个压力下气体的流量即可。