普旭630真空泵参数
50Hz。真空泵是绘制的装置的气体分子从密封的体积,以留下的部分真空。真空泵的工作是在容量范围内产生相对真空。真空磊有很多类型,普旭630真空泵这个类型就很好,他的参数是50Hz。真空泵用于许多工业和科学过程中,包括复合塑料成型过程,大多数类型的电灯,真空管和CRT的生产,在该过程中,该设备可以抽真空或重新填充特定的气体或混合气体、半导体加工尤其是离子注入,干法蚀刻和PVD、ALD、PECVD和CVD沉积等。
在带有吸气阀和排气阀的圆形泵体(定子)内,装有一个偏心转子和在转子槽中靠离心力运动的三片叶片,这些叶片将泵分成三部分,它们的容积随阗转子的转动,周期性地变化,完成气体的抽吸,压缩,排出过程,从而使抽吸口处的气体被抽吸,形成真空。
一、2X型旋片式真空泵(简称旋片泵)工作压强范围为101325~1.33×10-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。
旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体,若附有气镇装置,还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的,对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。
旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级,就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的,以获得较高的真空度。
旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下:在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1(Pa)下,其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。
二、2X型旋片真空泵工作原理如下:
旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子,转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙),转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时,靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触,转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分,当转子按箭头方向旋转时,与吸气口相通的空间A 的容积是逐渐增大的,正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的,正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的,正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大(即膨胀),气体压强降低,泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强,因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时,即转至空间B的位置,气体开始被压缩,容积逐渐缩小,最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时,排气阀被压缩气体推开,气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转,达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级(低真空级),由低真空级抽走,再经低真空级压缩后排至大气中,即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担,因而提高了极限真空度。
三、根据工作原理对真空泵进行分类
现分述如下:
(一)、气体传输泵(真空泵的工作原理)
气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出,借以达到抽气目的的真空泵,这种泵基本上有两种类型:
1、变容真空泵
变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵。气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种:
⑴往复真空泵:是利用泵腔内活塞做往复运动,将气体吸入、压缩并排出。因此,又称为活塞式真空泵。
⑵旋转真空泵:是利用泵腔内活塞做旋转运动,将气体吸入,压缩并排出。旋转真空泵又有如下几种型式:
①油封式真空泵:它是利用油类密封各运动部件之间的间隙,减少有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置,故又称气镇式真空泵。按其结构特点分为如下五种型式。
a)旋片式真空泵:转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近,在转子槽内装有两个(或两个以上)旋片,当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触,此旋片随转子一起旋转,可将泵腔分成几个可变容积。
b)滑阀式真空泵:在偏心转子外部装有一个滑阀,转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动,滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动,而把泵腔分成两个可变容积。
c)定片式真空泵:在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子,泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片,当转子旋转时,滑片能上、下滑动将泵腔分成两个可变容积。
d)余摆线式真空泵:在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子,它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。
e)多室旋片式真空泵:在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。
②干式真空泵:它是一种不用油类(或液体)密封的变容真空泵。
③液环式真空泵:带有多叶片的转子偏心装在泵壳内,当它旋转时,把液体(通常为水或油)抛向泵壳形成泵壳同心的液环,液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小容积,故亦称旋转变容真空泵。
④罗茨真空泵:泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子,转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变真空泵。机械增压泵即为这种型式的真空泵。
2、动量传输泵(真空泵的工作原理)
这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型。
⑴分子真空泵:它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子,使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式:
①牵引分子泵:气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被送到出口,因此,是一种动量传输泵。
②涡轮分子泵:泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子,它在定子圆盘(或定片)间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。
③复合分子泵:它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合式分子真空泵。
(2)喷射真空泵:它是利用文丘里(Venturi)效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵,适于在粘滞流和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种:
①液体喷射真空泵:以液体(通常为水)为工作介质的喷射真空泵。
②气体喷射真空泵:以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。
③蒸气喷射真空泵:以蒸气(水、油或汞等蒸气)作为工作介质的喷射真空泵。
(3)扩散泵:以低压高速蒸气流(油或汞等蒸气)作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸气射流中,被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的,这种泵适于在分子流状态下工作。可分为:
①自净化扩散泵:泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵。
②分馏式扩散泵:这种泵具有分馏装置,使蒸气压强较低的工作液蒸气进入高真空工作的喷嘴,而蒸气压强较高的工作液蒸气进入低真空工作的喷嘴,它是一种多级油扩散泵。
(4)扩散喷射泵:它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种型式。
(5)离子传输泵:它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下,输送到出口的一种动量传输泵。
(二)、气体捕集泵(真空泵的工作原理)
这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵,有以下几种型式。
1、吸附泵
它主要依靠具有大表面的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。
2、吸气剂泵
它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种型式。
3、吸气剂离子泵
它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上,以达到抽气的目的。它有如下几种型式。
(1)蒸发离子泵:泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气材料上,以实现抽气的一种真空泵。
(2)溅射离子泵:泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上,以实现抽气目的的一种真空泵。
4、低温泵
利用低温表面捕集气体的真空泵
两个旋片把转子、定子内腔和定盖所围成的月牙型空间分隔成A、B、C三个部分,当转子按图示方向旋转时,与吸气口相通的空间A的容积不断地增大,A空间的压强不断的降低,当A空间内的压强低于被抽容器内的压强,根据气体压强平衡的原理,被抽的气体不断地被抽进吸气腔A,此时正处于吸气过程。B腔的空间的容积正逐渐减小,压力不断地增大,此时正处于压缩过程。而与排气口相通的空间C的容积进一步地减小,C空间的压强进一步的升高,当气体的压强大于排气压强时,被压缩的气体推开排气阀,被抽的气体不断地穿过油箱内的油层而排至大气中,在泵的连续运转过程中,不断地进行着吸气、压缩、排气过程,从而达到连续抽气的目的。
排气阀浸在油里以防止大气流入泵中,油通过泵体上的间隙、油孔及排气阀进入泵腔,使泵腔内所有运动的表面被油覆盖,形成了吸气腔与排气腔的密封,同时油还充满了一切有害空间,以消除它们对极限真空的影响。
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旋片泵工作原理图
1-泵体2-旋片3-转子4-弹簧5-排气阀
双级旋片式真空泵由两个工作室组成,两室前后串联,同向等速旋转,Ⅰ室是低真空级,Ⅱ室是高真空级,被抽气体由进气口进入Ⅱ室,当进入的气体压力较高时,气体经Ⅱ室压缩,压强急速增大,被压缩的气体不仅从高级排气阀排出,而且经过中壁通道,进入Ⅰ室,在Ⅰ室被压缩,从低级排气阀排出;当进入Ⅱ室的气体压力较低时,虽经Ⅱ室的压缩,也推不开高级排气阀排出,气体全部经中壁通道进入Ⅰ室,经Ⅰ室的继续压缩,由低级排气阀排出,因此双级旋片式真空泵比单级旋片式真空泵的极限真空高。
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双级旋片式真空泵工作原理图
1-高级排气阀2-通道3-低级排气阀
真空泵在真空系统中所起的作用 由于各种真空泵的性能除均能满足对容器进行抽真空的共同点之外,尚具有不同之处。因此在选用时必须明确泵在真空系统中所承担的工作任务是十分重要的,泵在各种不同工作领域中所起的作用归纳起来主要有如下几个方面: 1、主泵 所谓主泵就是对真空系统被抽容器直接进行抽真空,以获得满足工艺要求所需真空度的真空泵。 2、粗抽泵 粗抽泵是指从大气压开始降低真空系统压强达到另一抽气系统可以开始工作的真空泵。 3、前级泵 前级泵是指用于使另一个泵的前级压强维持在其最高许可的前级压强以下的真空泵。 4、维持泵 维持泵是指当真空系统抽气很小时,不能有效的利用主要前级泵。为此,在真空系统中另配一种抽气速度较小的辅助前级泵来维持主泵的正常工作或维持已抽空的容器所需的低压的真空泵。 5、粗真空泵或低真空泵 粗、低真空泵是指从大气开始,降低被抽容器的压强后工作在低真空或粗真空压强范围内的真空泵。 6、高真空泵 高真空泵是指在高真空范围工作的真空泵。 7、超高真空泵 超高真空泵是指在超高真空范围工作的真空泵。 8、增压泵 增压泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之间,用以提高抽气系统在中间压强范围的抽气量或降低前级泵抽气速率要求的真空泵。
(1)开泵前的准备工作
①查
认真检查各部分之间的连接是否良好。
②开
打开水箱的进水阀,向水箱灌水至规定水位;打开真空泵的吸人阀和排出阀。
③关
关闭真空罐的进气阀和放油阀。
(2)开泵
一切准备就绪后,即可启动泵。当真空罐达到一定真空度时,可打开抽气阀,对离心泵进行抽气引油;对油罐车抽扫底油时,其真空泵的操作与对离心泵抽气引油的操作相同。
(3)运转中的维护
泵在运转中,司泵员应严守岗位,集中精
力,认真观察,并且做到:①听,随时听泵和电机运转时的声音是
否正常;②看,看真空度、真空罐液面高度、水箱中的循环水、轴
承润滑等是否正常;③摸,用手摸轴承和电机的温度是否正常。
(4)停泵
①先关吸人阀,再打开真空罐的进气阀,最后停泵;
②放空真空罐,关闭有关阀门。
1.查看油位,以停泵时注油至油标中心为宜。过低对排气阀不能起油封作用,影响真空度。过高,可能会引起通大气起动时喷油。运转时,油位有所升高,属正常现象。如是旋片式真空泵真空泵油采用规定牌号的清洁真空泵油,从加油孔加入。加油毕后,应旋一上螺塞。油宜经过滤,以免杂物进入,堵塞油孔。
2.水环式真空泵可在通大气或任何真空度下一次起动。泵口如装接电磁阀,应与泵同时动作。
3.环境温度过高时,油的温度升高,粘度下降,饱和蒸汽压会增大,会引起极限真空有所下降,特别是用热偶计测得的全压强。如加强通风散热,或改善泵油性能,极限真空可得到改善。
4.检查真空泵的极限真空以压缩式水银真空计为准,如计经充分预抽校验,泵温达到稳定,泵口与计直接接通,运转30分钟内,将达到极限真空。总压强计测得之值与泵油和真空计、规管误差有关,有时误差甚至可很大,只能作参考。
5.如相对湿度较高,或被抽气体含较多可凝性蒸汽,接通被抽容器后,宜打开气镇阀,运转20~40分钟后关闭气镇阀。停泵前,可开气镇阀空载运动30分钟,以延长泵油寿命。
6.用油选择:真空泵油的粘度影响起动功率和泵的极限真空,粘度高时对真空度有利,起动功率则大一些。油在泵温下的饱和蒸汽压则会影响泵的极限总压强,越低越好。高速真空泵油和3#扩散泵油的粘度较1号真空泵油大,饱和蒸汽压较1号真空泵油低,但3#扩散泵油价格较高。具体选什么油,可根据上述介绍结合具体使用要求来选择。
(1)一般情况下,凡希望总压强在6X10-2帕以上的应用上海产的高速真空泵油。4升/秒以下小型真空泵也可用1号真空油泵代,8升/秒以上直联泵可用3#扩散泵油代。
(2)如果对真空度要求不高,且油的污染更换频繁,真空泵油供应困难,可采用50号机械油代替。
(3)如果环境温度低,起动困难,极限真空要求不高,可采用粘度较上略低的真空泵油或机械油。
首先检查真空泵电机电压是否符合电机要求,并检查电机的转向是否与真空泵所标方向一致,切勿反转(检查时应将真空泵皮带先卸下)。
按照真空泵所标方向旋转皮带轮观察油面位置(油面应处于观察窗上下两条红线之间)和油的质量(油质若为黄白色和黑色则必须更换)。
检查真空泵气镇阀和放油螺塞是否拧紧。
检查真空泵进气口与被抽容器之间连接是否紧密(切勿有漏气点),被抽容器是否密封。
检查真空泵抽气速率是否与被抽容器容积匹配。(不赞成大马拉小车,切勿小马拉大车)
若真空泵使用需要冷却水,则应检查真空泵冷却水进、出口是否畅通。
真空泵所抽介质应符合真空泵的使用要求。
上述条件如均满足即可通电使用。如有条件,最好应先单独测试真空泵的真空度,如符合要求再将其与被抽容器(系统)连接。如不符合要求则应先修理真空泵。
使用时将真空泵排气口连接到室外,防止真空泵排气口排出的气体污染室内环境。
在使用中应根据说明书要求和现场使用环境定期换油。
接在管路上,一头连接在真空泵上面,另一端接在需要抽真空的设备上,打开阀门,启动真空泵,此时压力表指针反时针摆动。
外圈读数为红色,对应红色单位PSI。内圈读书为黑色,对应黑色单位MPa。关闭真空泵保持一段时间,指针没有偏移,就可以正常使用了。
扩展资料:
压力表常见故障:
现场压力表出现的问题是压力指示不准,会出现显示偏高或偏低、指示不回零等问题,这些问题现场工作人员大都是凭着经验告诉维修人员某块压力表坏了需维修。
在拆开后压力表表针还有指示,当然这种情况也可能发生误判断,也许是弹簧管内介质粘稠导致,此外在拆开时要留心是取压阀没有关严导致指针不回零。
1.密封件老化了,起不到密封的效果,产生了漏油
2.排气过滤器失效了,起不到排除油气分离的作用
3.真空泵的回油管是不是堵上了这种情况伴随的还会出现噪音异常,真空度达不到原来的水平
4.真空泵油是不是乳化了,这种也会出现噪音增大的情况
以上真空泵出现的问题解决办法是:
更换密封件,排气过滤器,疏通回油管,检查真空泵油的颜色,如果颜色呈黑色或者其他不纯净的颜色都应该换油了.
以上问题都还解决不了普旭真空泵漏油的问题,就应该找正规的维修真空泵的厂家为您服务了,您可以在网上搜一下(东莞比其尔),这个公司就是专业维修普旭,莱宝,爱德华,阿尔卡特等进口真空泵的,技术挺不错的.