表示真空泵工作性能的两个主要参数有哪些

参数名称参数定义真空泵的极限压强泵的极限压强单位是Pa，是指泵 在入口处装有标准试验罩 并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。真空泵的抽气速率泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试 验罩，并按规定条件工作时，从试验罩 流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。真空泵的抽气量真空泵的抽气量 单位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的气体流量。真空泵的起动压强真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用 时的压强。真空泵的前级压强真空泵的前级压强 单位是Pa，它是指排气压强 低于一个大气压的真空泵的出口压强。真空泵的最大前级压强真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了 能使泵损坏 的前级压强。真空泵的最大工作压强真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量 的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。真空泵的压缩比压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。真空泵的何氏系数泵抽气通道面积上的实际抽速 与该处按分子泻流计算的理论抽速 之比。真空泵的抽速系数泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。真空泵的返流率泵的返流率 单位是g/cm2.s。它是指 泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。水蒸气允许量水蒸气 的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵 在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。最大允许水蒸气入口压强最大允许水蒸气入口压强 单位是Pa。它是指 在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。压强范围

真空泵种类 工作压强范围（Pa） 起动压强（Pa）

活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105

旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105

水环式真空泵 1×105—2.7×103 1×105

罗茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103

涡轮分子泵1.3—1.3×10-5 1.3

水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105

油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10

油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105

分子筛吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105

溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1

钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2

锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10

低温泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1

2、漏率。漏率是属于多级罗茨真空泵自身的性能影响因素，与前级泵无关，也基本上不受温度的影响。

3、零流量压缩比。零流量压缩比是非耀罗茨真空泵有关抽气性能的非常重要的特征性能指标，它与泵相互转动零部件之间的间隙有关，也与转速和气体种类有关，也是属于罗茨真空泵自身决定性能的因素的一种。

4、容许压差。此项是考核多级罗茨真空泵运转可靠性的特征性能指标。它与泵相互转动零部件之间的间隙有关，也与转速有关。如要以此作为提升罗茨真空泵性能的条件，相互转动零部件之间的间隙以大为好，转速也以低为好。

粗真空：压力范围为101.3×l03～1. 3332×l03Pa (10～760mmHg)

低真空：压力范围为1. 3332×l03～133.2×lO-zPa (10-2～lOmmHg)中真空：压力范围为133.2×10-z—133.2×l0-7Pa (10-4～10-2mmHg)高真空：压力范围为133.2×10-4—133.2×l0-7Pa (10'7-10-4mmHg)超高真空：压力范围低于133.2×l0-7Pa(低于l0-7mmHg)化工生产中，一般在粗、低真空区域内操作即能达到生产要求。 真空泵的种类按工作条件可分为干式真空泵和湿式真空泵。于式真空泵只能从设备里抽出气体，其真空度可达到96y/—99. 9}/；湿式真空泵可抽取气液混合物，其真空度可达到80%—85%。真空泵的主要性能有抽气速率和极限真空等指标。1．抽气速率单位时间内抽吸气体的体积叫抽气速率，用符号S表示，单位为1113／h或d/s，它表明真空泵的抽气能力。2．极限真空极限真空又称残余压力，指真空泵所能达到的最低绝对压力值，用符号声＆表示，单位为Pa。3．真空度和真空度百分数真空度是大气压力和真空系统中绝对压力的差值，用符号户，表示，单位为Pa。即p。-101.3×l03_p (Pa)式中p-真空系统中的绝对压为，Pa。

真空泵油主要有一下几个性能：

1、极低的蒸汽压这是真空泵油的最重要性能，由于真空泵要求真空度达到1.33×10－4Pa（10－6mmHg），高的要求达到1.33×10－4Pa（10－6mmHg）以下，因此要求真空泵油的蒸发性极低．一般要用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。

2、合适的粘度良好的粘温特性真空系统利用泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和良好的粘温特性。

3、良好的热氧化安定性真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，因此使油的热和氧化作用加剧。而扩散泵往往处于很高的环境温度下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油有良好的热氧化安定性。

4、良好的抗腐蚀性与抗乳化性。真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会腐蚀泵内金属零件与油发生化学变化。另外，吸入空气中往往含有水汽，引起真空泵油的乳化，故要求有良好的抗腐蚀性与抗乳化性。在真空脱水工艺使用的真空泵油的乳化更为突出。

5、较高的闪点要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。

6、较低的极限压力极限压力是真空泵油重要的使用性能指标以了解在最低真空极限压力下真空泵的极限压力

1、极低的蒸汽压：这是真空泵油的最重要性能指标。蒸汽压越低真空度就会越高，由于旋片真空泵要求真空度达到0.06Pa，高的要求达到1.33×10－4Pa以下，因此要求真空泵油的蒸发性极低．一般要用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。

2、合适的粘度，良好的粘温特性：真空系统利用泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和良好的粘温特性。（粘温特性是指，随着泵内温度的升高或降低，真空油的粘度会产生变动。粘温特性好的真空油，粘度随温度的变动就越小。）

3、良好的热氧化稳定性：真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，因此使油的热和氧化作用加剧。而扩散泵往往处于很高的环境温度下工作，热氧化差就会使真空泵油氧化变质。造成真空度低下，因此要求真空泵油有良好的热氧化稳定性。

4、良好的抗腐蚀性与抗乳化性：真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会腐蚀泵内金属零件与油发生化学变化。另外，吸入空气中往往含有水汽，引起真空泵油的乳化，故要求有良好的抗腐蚀性与抗乳化性。在真空脱水工艺使用的真空泵油的乳化更为突出。

5、较高的闪点：要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。（可燃液体挥发的蒸汽与空气混合达到一定浓度遇明火发生一闪即逝的燃烧，或者将可燃固体加热到一定温度后，遇明火会发生一闪即燃的闪燃现象，叫闪燃。发生闪燃时的固体最低温度称为闪点。）