无油真空泵的工作原理是什么

螺杆式无油干式机械真空泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内（柱形等螺距）进行传输运动，但无压缩，只有螺杆最末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境（如抽除含粉尘气体等）等。该泵与罗茨真空泵一样不设排气阀。泵是立式结构，进气口在上方，排气口在中部，下部为电机和润滑油池。螺杆转子呈中空形，为悬臂支承结构。同步传动齿轮位于轴承支座下面。变频电机通过联轴节与主动转子连接。该泵的气体路径较短，且立式结构对排除含微尘气体较为有利。泵外壳有水冷却，泵维修也便利。这种类型的泵如果选用适当的较简单螺杆牙型截面，则制造简单，可保证很高的加工精度，且容易动平衡。

工作原理用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

先由转动真空泵把系统抽到10-2帕扩散泵油被加热沸腾，以高速从喷出的油蒸汽流不断将系统内气体分子带到泵的侧臂弯管球泡处集结，待气体密度达到机械真空泵的工作范围而被抽出，从而逐渐获得高真空。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。

扩展资料：

真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，最好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。

参考资料来源：百度百科-真空泵

无油气泵是指气泵的活塞和气缸之间无润滑油，活塞环是特殊材料，一般用来泵送清洁的特殊气体 ，比如液化气，天燃气等。

无油气泵工作原理：

1、通过容积变化，在体积大的时候吸入空气，在体积变小时(压力变大)排出空气，容积变化是靠着活动的机械部件来实现的，要求有很小的间隙并且有很高的精度，比如爪泵。

2、依靠非常高的机械动转速度，将空气分子定向撞击而携带走，如分子泵。三是低温泵，在接近绝对零度的冷面上，几乎所有的空气分子都被冷冻捕集在表面。

无油气泵最大的优点是不返油，对被抽空间没有油蒸汽污染，不喷油，没有油蒸汽从泵口排出，不污染环境。

属于环保类产品，因此发展前景很好，被称为二十一世纪“绿色真空泵”。无油真空泵又称干式泵，主要包括旋片式、活塞式、螺杆式、涡旋式、涡轮式、爪型泵等等。

扩展资料：

无油真空泵日常使用和维护时，需要注意以下事项：

1、应具有充分良好的通风条件及低于40℃的环境温度。

2、无灰尘及脏物的清洁场所。

3、无水、油等液体会降落到泵上。

4、不直接暴露在阳光里。

5、有足够的周围空间能便于泵的检查，维护和装拆。

6、泵必须安装在平坦的平面上。

7、最好将泵放在类似混凝土坚硬的地基上安装，如果没有条件，也可将泵牢固地安装在钢制或木制的机架上。

一、介绍

无油隔膜真空泵，广泛应用于过滤、样品浓缩、固相萃取等装置中，是实验室重要的 基础仪器，也是一种应用范围非常广泛获得真空的基本设备。

二、原理

将电机的圆周运动，通过机械装置使泵内部的隔膜做往复式运动，从而对固定容积的泵腔内的空气进行压缩、拉伸形成真空(负压)，在泵抽气口处与外界大气压产生压力差，在压力差的作用下，将气体压(吸)入泵腔，再从排气口排出。

三、特点

无油隔膜真空泵是一种无需任何油作润滑既能运转工作的机械真空泵。它具有结构简单、操作容易、提供完全洁净的真空环境，泵体本身无需保养，而且不会产生任何污染物等优点。

四、应用领域

用途：广泛应用于科研实验室，仪器仪表，化工分析，生物工程，自动控制，环保，水处理等众多领域，具体包括气体在线采样，要求长时间连续工作的场合。对密闭容器抽真空,气体循环,抽气,吸气等等。

真空泵广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。。

真空泵是利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构，立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。

卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。

泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。

干式机械真空泵的应用：

1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

参考资料来源：百度百科-真空泵

参考资料来源：百度百科-干式真空泵