爱德华真空泵ih600使用说明书
iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59020908
概述
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59020908
iH600 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59020945
iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59020946
iH600 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A59020957
功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。
技术数据
峰值速度 600 m3h-1
353 cfm
10000 l min-1
极限真空 7 x 10-4 mbar
5.3 x 10-4 Torr
0.07 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO100
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1
4 l min-1
重量 415 kg
极限功率输入 3.4 kW
电机额定功率 6.1 kW
油容量 1.43 l
所有数字均为无气镇时的典型值。
性能
尺寸
1 进气口
2 出口
3 抽风口
4 变频器箱(仅限 iH1000)
一、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵简介
2X型双级旋片真空泵为双级结构、它的工作性能由高压级与低压级二部份组成,它的吸入口与真空容器或真空设备连接,在运转时容器内的气体将大量吸入与排出,当设备获得真空时,高压级排气伐片将封闭,高压级吸入的气体将转送到第二级,并经第二级吸入与排出,这样真空设备可获得了一定的真空,该泵的技术参数为6×10-2pa.根据用户使用情况,可配备真空增压泵,将该泵做为磁级磁,由增压泵的抽气力加强,前级泵连续抽除,能需您的设备获得更高的真空。 2X型双级旋片式系列真空泵适用于冶金、化工、电光源真空、真空镀膜、食品包装、医药、吸塑、电子、干燥等单位使用。
二、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵结构说明
2X系列旋片真空泵,其结构是利用偏心地装在定子腔内的转子和在转子槽内滑动的借弹簧张力和离心力紧贴定子内壁的两块旋片,将定子分隔成二个工作腔,旋片一边容积不断扩大将气体吸入,另一边容积不断缩小,气体压缩达到大气压力时通过排气阀排出,上述操作每转重复二次。2X型旋片式真空泵为双级结构,当吸入压强较高时,高低级腔可同时排气,吸入压强较低时,气体由吸气口进入高级腔,经压缩后通过中壁内气道进入低级腔,再次压缩后,从低级排气阀排出。当泵带有气镇阀时,允许抽除含有少量水蒸气等可凝性蒸气的气体。2X-2A、4A、8A、8、15泵为上下偏心结构,高低级转子采用凸凹槽联结的转动形式。2X-30A、70A泵为侧偏心结构,低级转子套在高级转子轴上的转动形式,并采用泵壳内通冷却水,冷却具有泵温低,极限总压力低的特点。
三、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵用途和使用范围
1、2X型泵是用来对密封容器抽除气体获得真空的基本设备之一。可单独使用,也可作为增压泵、扩散泵、分子泵等的前级泵。可用于真空冶炼、真空焊接、真空浸渍、镀膜、真空浇铸、真空干燥以及化工制药,电真空器件等工业的真空作业。
2、泵可在环境温度5~40℃范围内和进口压强小于1330pa的条件下,允许长期连续工作。
3、泵不适用于抽除含氧过高、有毒的、有爆炸性的、对金属有腐蚀作用的、对泵油起化学反应的,以及含有颗粒尘埃的气体,也不适用于把气体从一个容器输送到另一个容器,作输送泵用。
4、泵在6000Pa的大气压的进口压强下的连续工作时间不得超过3分钟,以免喷油或润滑不良引起泵损坏。
四、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵型号及主要技术指标
指标 型号 2X-2A 2X-4A 2X-8 2X-15 2X-30A 2X-70A 备注
2X-8A
抽气速率L/S 2 4 8 15 30 70 1、用坐式压缩式水银真空计在泵口测量
极限压力 关气镇 (Pa) ≤6×10-2
开气镇 ≤6×10-1 ≤1.33 2、用热偶计,电阻计等全压强计测量仅供参考
极限总压力(Pa) -3 ~6×10-1
电动机功率(Kw) 0.37 0.55 1.1 2.2 3 5.5
温升℃ ≤40
噪声 dB(A)LW 72 75 78 80 82 86
进气口径(mm) 25 25 40 40 65 80
25
转速r/min 450 320 320 450 420
550
用油量L 0.7 0.7 2 2.8 2 4.2
0.9
外形尺寸Cm 46×28×35 55×34×41 79×43×54 79×53×54 78×50×56 91×65×70
55×43×44
重量Kg 53 76 158 202 236 338
95
冷却水量L/min >1 >2 水管通径3/8"
五、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵安装说明
1、泵应安装在地面结实坚固的场所,周围应留有充分的余地,便于检查、维护、保养。
2、泵底座下应保持地基水平,底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装,确保泵运转平稳,振动小。
3、泵与系统的连接管道应密封可靠,对大泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,对小泵可采用真空胶管连接,管道管径不得小于泵吸气口径,且要求管路短而少弯头。(焊接管路时应清除管道中焊渣,严禁焊渣进入泵腔。)
4、在连接管路中,用户可在泵进气口上方安装阀门及真空计,随时可检查泵的极限压力。
5、按电动机标牌规定连接电源,并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。
6、泵通电试运转时,须取下电机皮带,确认泵转向符合规定方向方可投入使用,以防泵反转喷油。(转向按防护罩指示方向)
7、对于有冷却水的泵,按规定接通冷却水。
8、如泵口安装电磁阀时,阀与泵应同时动作。
9、当泵排出气体影响工作环境时,可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。
六、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵使用说明
1、关闭泵上方的阀门
2、有冷却水的泵接通冷却水。
3、近规定转向手盘皮带轮数圈,把泵腔内的油排入油箱内,确保启动不易喷油。(特别在冬季,油粘大,启动负荷大,故请注意)。
4、启动电动机,泵开动运转,观察油窗,检查油位。油位应在油标中心,油位偏高,会造成喷油;油位偏低,会造成润滑不良,泵极限压力达不到出厂指标。
加油、放油位置详见泵指示牌。缓慢打开泵上方的阀门,系统开始工作。
泵不工作时,油窗内几乎看不到油,都进入泵体内,油位以泵运转时为准。
5、冷却水的进水温度以不超过30℃为宜,进出水温差以不超过3℃为宜。
6、当环境温度低于5℃时,应将泵油放出加热到15-30℃后加入泵内启动工作。
7、泵温以油温减去环境温度不超过40℃为宜,否则应加强通风散热或增加冷却水流量。
8、进气温度高于40℃而使泵温过高时,须采取措施冷却气体。
9、当吸入气体对泵油或泵有影响时,在泵口前应装一个合适的过滤装置。
10、当泵抽除含有少量可凝性气体时,启动泵时应打开气镇阀工作半小时,可延长泵油使用时间。
11、当泵抽除含有颗粒、尘埃的气体时,在泵口前应装一个合适的过滤器。
12、关泵前,应先关闭泵上方的阀门与系统隔绝,然后停泵,再拧紧气镇阀,以防漏油,最后关闭冷却水。冬季有冻结的场合应放净泵内冷却水,以防泵腔冻裂。
注:本系列泵的极限压力是指泵不接任何容器,泵温达到稳定,用压缩式真空计在泵口测得的稳定的最低分压力。极限总压力仅供参考。一般情况,单泵运转半小时将达到极限压力。
七、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵维护和保养
1、经常检查油位位置,不符合规定时须调整使之符合要求。以泵运转时,油位到油标中心为准。
2、经常检查油质情况,发现油变质应及时更换新油,确保泵工作正常。
3、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑,由用户酌情决定。一般新泵,抽除清洁干燥的气体时,建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后,以后可适当延长换油期限。当泵抽除含有对泵有腐蚀或使泵油变质,影响泵的性能的气体时,应将气体吸入泵前进行处理,并缩短换油周期。
4、一般情况下,泵工作2000小时后应进行检修,检查橡胶密封件老化程度,检查排气阀片是否开裂,清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个泵腔内的零件,如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗,并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。
5、有条件的对管中同样进行清理,确保管路畅通。
6、重新装配后应进行试运行,一般须空运转2小时并换油二次,因清洗时在泵中会留有一定量易挥发物,待运转正常后,再投入正常工作。
7、本系列泵油采用SY1634-70 1#真空泵油。
八、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵常见故障及消除方法 故障 产生原因 消除方法
真空度降低 1、系统漏气
2、油量不足
3、泵油污染严重
4、排气阀片开裂或脱落
5、排气阀座上回油孔堵塞
6、被抽气体温度过高
7、泵久用零件磨损
8、泵密封件老化
检漏、补漏
加油至规定要求
换新油
换排气阀片
疏通回油孔
气体冷却处理
更换磨损零件
更换密封件
喷油 1、油量过多
2、挡油盒、挡油板脱落
3、吸入压入长期偏高
放油至规定要求
重新安装
更换大型号的泵
漏油 1、油封磨损
2、油箱密封垫损坏
3、定子、端面O型圈老化
4、放油螺塞未拧紧或垫片损坏
更换油封
更换密封垫
更换O型圈
拧紧或换垫片
起动困难 1、油温偏低
2、电机缺相
3、皮带偏松
4、泵内有异物
泵油加温后起动
检查电机
调整电机位置
检查,取出异物
九、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵外形尺寸
1.查看油位,以停泵时注油至油标中心为宜。过低对排气阀不能起油封作用,影响真空度。过高,可能会引起通大气起动时喷油。运转时,油位有所升高,属正常现象。如是旋片式真空泵真空泵油采用规定牌号的清洁真空泵油,从加油孔加入。加油毕后,应旋一上螺塞。油宜经过滤,以免杂物进入,堵塞油孔。
2.水环式真空泵可在通大气或任何真空度下一次起动。泵口如装接电磁阀,应与泵同时动作。
3.环境温度过高时,油的温度升高,粘度下降,饱和蒸汽压会增大,会引起极限真空有所下降,特别是用热偶计测得的全压强。如加强通风散热,或改善泵油性能,极限真空可得到改善。
4.检查真空泵的极限真空以压缩式水银真空计为准,如计经充分预抽校验,泵温达到稳定,泵口与计直接接通,运转30分钟内,将达到极限真空。总压强计测得之值与泵油和真空计、规管误差有关,有时误差甚至可很大,只能作参考。
5.如相对湿度较高,或被抽气体含较多可凝性蒸汽,接通被抽容器后,宜打开气镇阀,运转20~40分钟后关闭气镇阀。停泵前,可开气镇阀空载运动30分钟,以延长泵油寿命。
6.用油选择:真空泵油的粘度影响起动功率和泵的极限真空,粘度高时对真空度有利,起动功率则大一些。油在泵温下的饱和蒸汽压则会影响泵的极限总压强,越低越好。高速真空泵油和3#扩散泵油的粘度较1号真空泵油大,饱和蒸汽压较1号真空泵油低,但3#扩散泵油价格较高。具体选什么油,可根据上述介绍结合具体使用要求来选择。
(1)一般情况下,凡希望总压强在6X10-2帕以上的应用上海产的高速真空泵油。4升/秒以下小型真空泵也可用1号真空油泵代,8升/秒以上直联泵可用3#扩散泵油代。
(2)如果对真空度要求不高,且油的污染更换频繁,真空泵油供应困难,可采用50号机械油代替。
(3)如果环境温度低,起动困难,极限真空要求不高,可采用粘度较上略低的真空泵油或机械油。
②开冷却水,检查往复式真空泵气缸夹套冷却水是否通畅.
③检查真空表是否灵敏或失灵。
④开车前先试车,检查机件是否有故障。
⑤气体在吸入真空泵之前,须经过缓冲罐,以分离其中的灰尘、油或液滴。对腐蚀性气体应
该用酸或碱分别对气体进行过滤、洗涤等处理,并应经常检查酸、碱液是否失效。
⑥在使用过程中,如发现真空度降低,应检查真空系统是否漏气,是否有不应打开的阀门忘记关闭。
⑦如抽取水蒸气,从减压蒸馏、减压蒸发等设备出来的水蒸气,应先将气体通过冷凝器,使
其中部分水蒸气冷凝下来,只让不冷凝的气体进入真空泵内。
⑧停机后,关冷却水阀,放缓冲罐存水。缓冲罐一般放在室内,避免发生冬季存水冻结现象。
目的:为了保障真空泵的正常运行,及时排除造成真空泵损毁的隐患,延长真空泵的使用寿命。
一、启动真空泵前先检查真空泵有无漏水的现象,填料密封的水环式真空泵在填料压盖的位置允许渗水(泵在运行时水成滴水状,不能连成串为最佳),采用机械密封的水环式真空泵不能有水泄露,尤其是真空泵的底部滴水可能是机械密封损毁,要及时更换机械密封,防止电机进水烧毁电机。
二、转动真空泵的联轴器,联轴器的运转灵活时,可以打开进水阀门然后启动电机,运转吃力可能是泵内有水垢卡住叶轮或泵内吸进了物料等情况,应及时排除故障.
三、真空泵启动后听声音有无异常,观测真空表的显示是否达到正常的标准,然后测试电机的电流,超电流容易造成电机烧毁。
四、停泵时,先关闭进水阀门,然后关闭电机,气温将至零度以下时,把真空泵内的水放掉,防止泵内的水结冰造成泵体的撑破。
以上资料由淄博博山南光真空泵厂提供。
(1)开泵前的准备工作
①查
认真检查各部分之间的连接是否良好。
②开
打开水箱的进水阀,向水箱灌水至规定水位;打开真空泵的吸人阀和排出阀。
③关
关闭真空罐的进气阀和放油阀。
(2)开泵
一切准备就绪后,即可启动泵。当真空罐达到一定真空度时,可打开抽气阀,对离心泵进行抽气引油;对油罐车抽扫底油时,其真空泵的操作与对离心泵抽气引油的操作相同。
(3)运转中的维护
泵在运转中,司泵员应严守岗位,集中精
力,认真观察,并且做到:①听,随时听泵和电机运转时的声音是
否正常;②看,看真空度、真空罐液面高度、水箱中的循环水、轴
承润滑等是否正常;③摸,用手摸轴承和电机的温度是否正常。
(4)停泵
①先关吸人阀,再打开真空罐的进气阀,最后停泵;
②放空真空罐,关闭有关阀门。
水环真空泵适于抽除气体和湿润蒸汽,吸气压力可达到33mbar绝压(97%真空度),当水环真空泵在吸气压力低于80mbar的状态下长期工作时,应联接汽蚀保护管以对水环真空泵进行保护,水环真空泵如配大气喷射器吸气压力可达10mbar,喷射器可直接安装在真空泵吸气口上,作为压缩机使用时,其压力最大至0.26MPa(绝压)。
水环真空泵的特点:
1、机泵同轴式直联设计,节省空间,水环真空泵易于安装。
2、水环真空泵运行平稳,噪音可低至62分贝。
3、统一的耐腐蚀设计,青铜叶轮提高了水环真空泵的耐腐蚀性,如采用不锈钢材质更适用于更为苛刻的应用。
4、独特的柔性排气口设计,不会产生过压缩,确保了水环真空泵在其性能范围内效率最佳。
5、采用机械密封作为标准配置,消除了泄露,维护简便。
2BV系列水环真空泵为整体结构—机泵同轴的单级泵。轴封采用机械密封,具有结构简单,安装简捷、无油、安全可靠等特点。
水环真空泵正确的保养和使用方法:
1)水环真空泵在运行过程中,轴承温度不能超过环境温度35C,最高温度不得超过80C
。
2)如水环真空泵有异常声音应立即停车检查原因。
3)水环真空泵要停止使用时,先关闭闸阀、压力表,然后停止电机。水环真空泵在工作第一个月内,经100小时更换润滑油,以后每个500小时,换油一次。
4)经常调整填料压盖,保证填料室内的滴漏情况正常(以成滴漏出为宜)。
5)定期检查轴套的磨损情况,磨损较大后应及时更换。水环真空泵在寒冬季节使用时,停车后,需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。水环真空泵长期停用,需将水环真空泵全部拆开,擦干水分,将转动部位及结合处涂以油脂装好,妥善保管。
6)使用水环真空泵时,先拧下水环真空泵泵体的引水螺塞,灌注引水。特别是机械密封的水环真空泵(2BV,2BE)再启动电机。定期向轴承体内加入轴承润滑机油或黄油。点动电机,试看电机转向是否正确。关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。
7)开动电机,当水环真空泵正常运转后,打开出口压力表和进口水环真空泵,视其显示出适当压力后,逐渐打开闸阀,同时检查电机负荷情况。
8)尽量控制水环真空泵的流量和真空度在标牌上注明的范围内,以保证水环真空泵在最高效率点运转,才能获得最大的节能效果。
如果您还有不了解的地方,您可以拨打0757-83927798
联系我们的东山科技技术人员的。