2X-8型真空泵操作说明
一、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵简介
2X型双级旋片真空泵为双级结构、它的工作性能由高压级与低压级二部份组成，它的吸入口与真空容器或真空设备连接，在运转时容器内的气体将大量吸入与排出，当设备获得真空时，高压级排气伐片将封闭，高压级吸入的气体将转送到第二级，并经第二级吸入与排出，这样真空设备可获得了一定的真空，该泵的技术参数为6×10-2pa.根据用户使用情况，可配备真空增压泵，将该泵做为磁级磁，由增压泵的抽气力加强，前级泵连续抽除，能需您的设备获得更高的真空。 2X型双级旋片式系列真空泵适用于冶金、化工、电光源真空、真空镀膜、食品包装、医药、吸塑、电子、干燥等单位使用。
二、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵结构说明
2X系列旋片真空泵，其结构是利用偏心地装在定子腔内的转子和在转子槽内滑动的借弹簧张力和离心力紧贴定子内壁的两块旋片，将定子分隔成二个工作腔，旋片一边容积不断扩大将气体吸入，另一边容积不断缩小，气体压缩达到大气压力时通过排气阀排出，上述操作每转重复二次。2X型旋片式真空泵为双级结构，当吸入压强较高时，高低级腔可同时排气，吸入压强较低时，气体由吸气口进入高级腔，经压缩后通过中壁内气道进入低级腔，再次压缩后，从低级排气阀排出。当泵带有气镇阀时，允许抽除含有少量水蒸气等可凝性蒸气的气体。2X-2A、4A、8A、8、15泵为上下偏心结构，高低级转子采用凸凹槽联结的转动形式。2X-30A、70A泵为侧偏心结构，低级转子套在高级转子轴上的转动形式，并采用泵壳内通冷却水，冷却具有泵温低，极限总压力低的特点。
三、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵用途和使用范围
1、2X型泵是用来对密封容器抽除气体获得真空的基本设备之一。可单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵等的前级泵。可用于真空冶炼、真空焊接、真空浸渍、镀膜、真空浇铸、真空干燥以及化工制药，电真空器件等工业的真空作业。
2、泵可在环境温度5~40℃范围内和进口压强小于1330pa的条件下，允许长期连续工作。
3、泵不适用于抽除含氧过高、有毒的、有爆炸性的、对金属有腐蚀作用的、对泵油起化学反应的，以及含有颗粒尘埃的气体，也不适用于把气体从一个容器输送到另一个容器，作输送泵用。
4、泵在6000Pa的大气压的进口压强下的连续工作时间不得超过3分钟，以免喷油或润滑不良引起泵损坏。
四、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵型号及主要技术指标
指标 型号 2X-2A 2X-4A 2X-8 2X-15 2X-30A 2X-70A 备注
2X-8A
抽气速率L/S 2 4 8 15 30 70 1、用坐式压缩式水银真空计在泵口测量
极限压力 关气镇 (Pa) ≤6×10-2
开气镇 ≤6×10-1 ≤1.33 2、用热偶计，电阻计等全压强计测量仅供参考
极限总压力(Pa) -3 ～6×10-1
电动机功率(Kw) 0.37 0.55 1.1 2.2 3 5.5
温升℃ ≤40
噪声 dB(A)LW 72 75 78 80 82 86
进气口径(mm) 25 25 40 40 65 80
25
转速r/min 450 320 320 450 420
550
用油量L 0.7 0.7 2 2.8 2 4.2
0.9
外形尺寸Cm 46×28×35 55×34×41 79×43×54 79×53×54 78×50×56 91×65×70
55×43×44
重量Kg 53 76 158 202 236 338
95
冷却水量L/min >1 >2 水管通径3/8"
五、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵安装说明
1、泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。
2、泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保泵运转平稳，振动小。
3、泵与系统的连接管道应密封可靠，对大泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。(焊接管路时应清除管道中焊渣，严禁焊渣进入泵腔。)
4、在连接管路中，用户可在泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查泵的极限压力。
5、按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。
6、泵通电试运转时，须取下电机皮带，确认泵转向符合规定方向方可投入使用，以防泵反转喷油。(转向按防护罩指示方向)
7、对于有冷却水的泵，按规定接通冷却水。
8、如泵口安装电磁阀时，阀与泵应同时动作。
9、当泵排出气体影响工作环境时，可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。
六、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵使用说明
1、关闭泵上方的阀门
2、有冷却水的泵接通冷却水。
3、近规定转向手盘皮带轮数圈，把泵腔内的油排入油箱内，确保启动不易喷油。(特别在冬季，油粘大，启动负荷大，故请注意)。
4、启动电动机，泵开动运转，观察油窗，检查油位。油位应在油标中心，油位偏高，会造成喷油；油位偏低，会造成润滑不良，泵极限压力达不到出厂指标。
加油、放油位置详见泵指示牌。缓慢打开泵上方的阀门，系统开始工作。
泵不工作时，油窗内几乎看不到油，都进入泵体内，油位以泵运转时为准。
5、冷却水的进水温度以不超过30℃为宜，进出水温差以不超过3℃为宜。
6、当环境温度低于5℃时，应将泵油放出加热到15-30℃后加入泵内启动工作。
7、泵温以油温减去环境温度不超过40℃为宜，否则应加强通风散热或增加冷却水流量。
8、进气温度高于40℃而使泵温过高时，须采取措施冷却气体。
9、当吸入气体对泵油或泵有影响时，在泵口前应装一个合适的过滤装置。
10、当泵抽除含有少量可凝性气体时，启动泵时应打开气镇阀工作半小时，可延长泵油使用时间。
11、当泵抽除含有颗粒、尘埃的气体时，在泵口前应装一个合适的过滤器。
12、关泵前，应先关闭泵上方的阀门与系统隔绝，然后停泵，再拧紧气镇阀，以防漏油，最后关闭冷却水。冬季有冻结的场合应放净泵内冷却水，以防泵腔冻裂。
注：本系列泵的极限压力是指泵不接任何容器，泵温达到稳定，用压缩式真空计在泵口测得的稳定的最低分压力。极限总压力仅供参考。一般情况，单泵运转半小时将达到极限压力。
七、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵维护和保养
1、经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以泵运转时，油位到油标中心为准。
2、经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保泵工作正常。
3、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。当泵抽除含有对泵有腐蚀或使泵油变质，影响泵的性能的气体时，应将气体吸入泵前进行处理，并缩短换油周期。
4、一般情况下，泵工作2000小时后应进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。
5、有条件的对管中同样进行清理，确保管路畅通。
6、重新装配后应进行试运行，一般须空运转2小时并换油二次，因清洗时在泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，再投入正常工作。
7、本系列泵油采用SY1634-70 1#真空泵油。
八、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵常见故障及消除方法 故障 产生原因 消除方法
真空度降低 1、系统漏气
2、油量不足
3、泵油污染严重
4、排气阀片开裂或脱落
5、排气阀座上回油孔堵塞
6、被抽气体温度过高
7、泵久用零件磨损
8、泵密封件老化
检漏、补漏
加油至规定要求
换新油
换排气阀片
疏通回油孔
气体冷却处理
更换磨损零件
更换密封件
喷油 1、油量过多
2、挡油盒、挡油板脱落
3、吸入压入长期偏高
放油至规定要求
重新安装
更换大型号的泵
漏油 1、油封磨损
2、油箱密封垫损坏
3、定子、端面O型圈老化
4、放油螺塞未拧紧或垫片损坏
更换油封
更换密封垫
更换O型圈
拧紧或换垫片
起动困难 1、油温偏低
2、电机缺相
3、皮带偏松
4、泵内有异物
泵油加温后起动
检查电机
调整电机位置
检查，取出异物
九、2X-8旋片真空泵 旋片式真空泵 旋片泵 双级真空泵外形尺寸
H：单级滑阀真空泵
2H：双级滑阀真空泵
120：抽气速率120升/秒
DV：英文“DEVELOPMENT VACUUM”缩写
供参考
首先检查真空泵电机电压是否符合电机要求，并检查电机的转向是否与真空泵所标方向一致，切勿反转（检查时应将真空泵皮带先卸下）。
按照真空泵所标方向旋转皮带轮观察油面位置（油面应处于观察窗上下两条红线之间）和油的质量（油质若为黄白色和黑色则必须更换）。
检查真空泵气镇阀和放油螺塞是否拧紧。
检查真空泵进气口与被抽容器之间连接是否紧密（切勿有漏气点），被抽容器是否密封。
检查真空泵抽气速率是否与被抽容器容积匹配。（不赞成大马拉小车，切勿小马拉大车）
若真空泵使用需要冷却水，则应检查真空泵冷却水进、出口是否畅通。
真空泵所抽介质应符合真空泵的使用要求。
上述条件如均满足即可通电使用。如有条件，最好应先单独测试真空泵的真空度，如符合要求再将其与被抽容器（系统）连接。如不符合要求则应先修理真空泵。
使用时将真空泵排气口连接到室外，防止真空泵排气口排出的气体污染室内环境。
在使用中应根据说明书要求和现场使用环境定期换油。
根据中华人民共和国机械行业标准JB/T7673-95的规定，国产各种真空泵是由基本型号和辅助型两部分组成，两者中间为一横线。其表达型式为123—456。格中数字123表示基本型号，456表示辅助型号。
国产真空泵的型号通常以表3-2中的汉语拼音字母来表示。若在拼音字母前冠以“2”字，则表示泵在结构上为双级泵。
某些真空泵系列对其抽气速率则以几何级数来分档。其单位是“L/S”。共分18个等级，分别为0.2，0.5，1，2，4，8，15，30，70，150，300，600，1200，2500，5000，10000，20000，40000。真空泵系列有时也可用泵的入口尺寸来表示，其单位是“mm”。由于泵的种类较多，选用时应参阅不同生产厂家的产品说明书式样本，是很重要的。
表3-2 常用真空泵的汉语拼音代号及名称
代 号 名 称 代 号 名 称
W 往复真空泵 Z 油扩散喷射泵（油增压泵）
D 定片真空泵 S 升华泵
X 旋片真空泵 LF 复合式离子泵
H 滑阀真空泵 GL 锆铝吸气剂泵
ZJ 罗茨真空泵（机械增压泵） DZ 制冷机低温泵
YZ 余摆线真空泵 DG 灌注式低温泵
L 溅射离子泵 IF 分子筛吸附泵
XD 单级多旋片式真空泵 SZ 水环泵
F 分子泵 PS 水喷射泵
K 油扩散真空泵 P 水蒸气喷射泵
iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59020908
概述
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59020908
iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59020945
iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59020946
iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A59020957
功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。
技术数据
峰值速度 600 m3h-1
353 cfm
10000 l min-1
极限真空 7 x 10-4 mbar
5.3 x 10-4 Torr
0.07 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO100
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1
4 l min-1
重量 415 kg
极限功率输入 3.4 kW
电机额定功率 6.1 kW
油容量 1.43 l
所有数字均为无气镇时的典型值。
性能
尺寸
1 进气口
2 出口
3 抽风口
4 变频器箱（仅限 iH1000）
真空泵安全操作流程：
1、操作前的准备工作：
首先应将设备放置在水平、通风、干燥处，将真空机组抽气口与被抽系统连接好，密封一定要严密，不应有泄漏点存在。检查真空泵和罗茨泵内的油位及油杯中的润滑油是否符合要求，连接好电源线和接地线。检查是否有其他不安全因素。
2、操作机组的启动运行：
接通主电源开关，主电源指示灯亮；将控制方式放在手动或自动位置；按下控制电源按钮，指示灯亮(真空泵、增压泵和急停按钮应复位，否则控制电源按钮无法接通)，如电源相序错误黄色指示灯亮，则需换相。将真空泵断路器接通，按下真空泵控制按钮，真空泵指示灯亮，同时真空泵运转。
根据实际情况调节增压泵的延时(通过时间继电器，调节范围在1—6分钟)。将增压泵断路器接通，按下增压泵控制按钮，增压泵指示灯亮，同时增压泵运转。油井内设有油位开关，当油井进人真空泵油或变压器油时控制面板上的蜂呜器将自动报警，同时系统关闭。
3、关机停运：
关闭高真空蝶阀一关闭机械增压泵一关闭真空泵一按急停按钮，控制电源关闭一关主电源断路器。当控制方式通过控制盘上的旋钮转换到自动位置时，设备将通过真空继电器的预设控制点自动控制真空泵和机械增压泵的关闭和启动。
扩展资料
真空泵使用注意事项：
1、拆开包装，在泵体与电机的联轴节处用手指按箭头的方向尽力旋转；
2、打开真空泵油箱上面的加油螺塞，将配好的真空泵油倒进泵内，油位应该在油标可见部位的二分之一与三分之二之间。若油位过高会导致喷油的现象，如果过低会影响真空度，还会导致温度上升的同时也会增加噪音，会影响泵的性能。泵油选用一号真空泵油即可；
3、打开进气口和排气口上的黑色橡胶盖，从进气口加入少量(一小勺)真空泵油便于启动，连接真空泵与真空系统(真空泵进气口必须低于被抽仪器之出气口)，被抽仪器与真空泵连接的管道不适宜太过于长。
连接管的口径不能小于真空泵进气口的内径，否则会影响抽速，但必须小于进气口的外径，否则影响密封度。被抽容积不能过于大，一般会选用泵的抽速以秒为单位的15-20倍。在活动的接头处，最好涂上真空脂，以增强其密封度；
4、接上电源，装接电线时，要注意电机铭牌上的接线规定的要求；
5、三相电机要注意电机旋转方向应与泵支架上的箭头方向一致。或在连接管道之前，先接线试车然后用手堵住进气口，看是否有吸力，若是有吸力，则接线正确，不然调换任意的两根接线即可以改变其转向(注：对三相电机确定转向时，必须在瞬间进行)；
液环真空泵有很多种系列的，例如2BV系列液环真空泵，2BE系列液环真空泵，2SK系列液环真空泵，SK系列液环真空泵，SZ系列液环真空泵。
用来较高真空的真空泵(机械增容泵)使不得直排大气，如直排大气会造成罗茨真空泵吸气口与排气口压差太大，从而使罗茨真空泵过载，如复杂加大真空泵电机功率又会造成真空泵过热致使罗茨真空泵旋子之间的微弱间隙很快因热收缩而卡死。
为保障真空泵能达成较高真空务必保障真空泵旋子之间的间隙。因而真空泵运用时务必设有前级泵，用前级泵将零碎内压力抽至定然规模内时再启动真空泵，如此能够防止真空泵过载。
扩展资料：
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。
另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
参考资料来源：百度百科-真空泵
1、真空泵的极限压强
泵的极限压强单位是Pa，是指泵 在入口处装有标准试验罩 并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。
2、真空泵的抽气速率
泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试 验罩，并按规定条件工作时，从试验罩 流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。
3、真空泵的抽气量
真空泵的抽气量 单位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的气体流量。
4、真空泵的起动压强
真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用 时的压强。
5、真空泵的前级压强
真空泵的前级压强 单位是Pa，它是指排气压强 低于一个大气压的真空泵的出口压强。
6、真空泵的最大前级压强
真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了 能使泵损坏 的前级压强。
7、真空泵的最大工作压强
真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量 的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。
8、真空泵的压缩比
压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。
9、真空泵的何氏系数
泵抽气通道面积上的实际抽速 与该处按分子泻流计算的理论抽速 之比。
10、真空泵的抽速系数
泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。
11、真空泵的返流率
泵的返流率 单位是g/cm2.s。它是指 泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流。
12、水蒸气允许量
水蒸气 的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵 在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。
13、最大允许水蒸气入口压强
最大允许水蒸气入口压强 单位是Pa。它是指 在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。
扩展资料
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即变容真空泵和动量传输泵。
变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。
动量传输泵依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。
变容真空泵又分为：往复式，旋转式（旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式），其它型式。
参考资料来源：百度百科-真空泵
1、旋片真空泵在工作中除了注意第15条事项外，尚须注意下列事项：
（1）旋片真空泵须经常保持清洁，泵上不得放置其他物件。
（2）注意皮带松紧是否适当，第半年年调整一次。
（3）管道接头是否漏气，及时杜绝。
2、旋片真空泵连续工作三月至半年之后，就应换油一次，在湿度较大的地区，在潮湿季节工作的泵，或被抽气体污染很大的，应根据具体情况酌情缩短换油时间。
换油事项如下：
（1）将旋片真空泵拆除真空系统，把底盘电机一端垫高些，打开放油塞放油，转动真空泵、捂住排气口，使腔内污油全部从放油口放出，再从进气口处加入新油100—500ml持续转动5—10转以上对，内部进行清洗，照此操作3—5次，特污油放清后，再装上放油塞，将泵放平，从进气口及加油孔分别加入新油，换油即告完毕。
（2）换油时不宜长久开动电机，以免使排气阀片跳动过于剧烈和疲劳。
（3）严禁用煤油、汽油、酒精等对泵作非拆卸的清洗。
注：旋片式真空泵换油最好的油温升高后进行。
3、如停旋片真空泵时间较长，应取下排气罩放上排气塞，封闭进气口，放净积水。
滑阀泵由于其结构特点，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空设备上。滑阀泵有单级和双级两种型式。单级泵的极限压力对小泵≤0.6Pa，对大泵≤1.3Pa（均关气镇），双级泵的极限压力≤0.06Pa（关气镇）。目前双极2H滑阀真空泵最大抽速为300L/S。
由于滑阀泵的旋转质量有较大的偏心，如果滑阀没有很好的质量平衡，在运转时会产生较大的振动。但泵旋转质心的运动轨迹是形状复杂的封闭曲线，因此小厂很难实现对滑阀泵惯性力的完全平衡。可以通过动平衡测试和双缸或三缸结构做好滑阀的质量平衡。
滑阀泵结构及特点：
罗茨滑阀真空机组是由普通罗茨泵为主泵、滑阀真空泵为前级泵串联组成的真空机组。通过真空继电器或电接点压力表，来实现罗茨泵滑阀泵的自动启闭，自动过载保护。整套机组安装在一个机架上，配以管道、阀门、电器操作控制箱、冷却水管系统。机组结构紧凑，使用方便。
根据被抽真空系统的大小及极限压力的不同，真空机组各泵之间的名义抽速之比一般在4：至10：1之间，前者较后者适用于较大真空系统及长时间在较低入口压力或极限真空情况下工作。本系列机组为了防止滑阀泵停机时返油，在前级进口管道上装有电磁充气阀，其动作与前级泵电动机实现联动，当滑阀泵停泵前，向泵口充气，确保滑阀泵内的真空油返回到油箱内，同时防止真空系统受到真空油污染。
滑阀泵用途：
罗茨滑阀真空机组具有显著的节能效果，真空度高，高真空区间抽气量大，可广泛应用于电力工业的变压器、电线电缆、电容器的真空浸渍、真空干燥工艺中。是真空镀膜、真空冶炼、真空热处理、真空滤油、冷冻干燥；航空模拟试验较理想的真空设备。如抽吸含有少量水蒸汽或少量粉尘的气体，应加装过滤装置。
