无油爪式真空泵优势

四级泵腔依次串联，每级泵腔内各有一对共轭啮合，做同步反向运动的爪型转子。

四级泵腔中的第一级泵腔为吸气级，其吸气容积比后面三级大，形成级间压缩。

四对转子装在二根平行轴上，轴由上下两端轴承支撑，泵腔级与级之间有隔板，隔板上有吸排气通道。

国产爪型真空泵说实话一般。国内的干式真空泵基本上就是螺杆真空泵和爪型真空泵，做的都一般。国内最好的爪泵是郎禾和曌越。再就是干式罗茨真空泵。这种国外用的比较多。比前两种更普及。但是国内能生产的很少，中科院有一家在沈阳。好像叫沈科仪。淄博有一家好像叫景曜真空。别的就没听说了。

无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。

真空泵

vacuum

pump

利用机械、物理、化学、物理化学等方法对容器进行抽

气，以获得和维持真空的装置。真空泵和其他设备（如真空容器、真空阀、真空测量仪表、连接管路等）组成真空系统，广泛应用于电子、冶金、化工、食品、机械、医药、航天等部门。

按其工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。

气体输送泵包括：1、液环真空泵（水环真空泵）2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等

气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。

目前工业中应用最多的是水环式真空泵和旋片式真空泵等。

当电机开始工作时，电机通过电机齿轮传递给介轮，再由介轮传递给主动齿轮带动同步从动齿轮做同步反方向运转，主动轴、从动轴便带动一级转子、二级转子、三级转子、四级转子进行连续吸排气做功，被抽气体通过进气口,进入进气口通道，在一级转子对的压缩下，一级泵腔内的气体通过一级排气道,进入二 级泵腔，二、三、四级泵腔内的气体做同样的运动，经四级排气道进入冷凝缓冲区，液体流向排液道,通过液体收集口可直接回收，残存气体通过消声器，排气口排出泵外，从而起到抽真空以及气液分离的作用。

随着真空技术的不断发展，人们所能获得的真空范围越来越广，从绝对压力1. 0133×l05Pa到133. 32×10- '5Pa。因此，将真空区域划分如下：

粗真空：压力范围为101.3×l03～1. 3332×l03Pa (10～760mmHg)

低真空：压力范围为1. 3332×l03～133.2×lO-zPa (10-2～lOmmHg)中真空：压力范围为133.2×10-z—133.2×l0-7Pa (10-4～10-2mmHg)高真空：压力范围为133.2×10-4—133.2×l0-7Pa (10'7-10-4mmHg)超高真空：压力范围低于133.2×l0-7Pa(低于l0-7mmHg)化工生产中，一般在粗、低真空区域内操作即能达到生产要求。 真空泵的种类按工作条件可分为干式真空泵和湿式真空泵。于式真空泵只能从设备里抽出气体，其真空度可达到96y/—99. 9}/；湿式真空泵可抽取气液混合物，其真空度可达到80%—85%。真空泵的主要性能有抽气速率和极限真空等指标。1．抽气速率单位时间内抽吸气体的体积叫抽气速率，用符号S表示，单位为1113／h或d/s，它表明真空泵的抽气能力。2．极限真空极限真空又称残余压力，指真空泵所能达到的最低绝对压力值，用符号声＆表示，单位为Pa。3．真空度和真空度百分数真空度是大气压力和真空系统中绝对压力的差值，用符号户，表示，单位为Pa。即p。-101.3×l03_p (Pa)式中p-真空系统中的绝对压为，Pa。

国外的螺杆泵起步比较早，技术上相对成熟点，但是国内的螺杆泵也研发了很多年了 ，目前技术上面已经与进口泵很接近了。如果不是太追求品牌，追求进口产品的话，还是用国内的比较实在，使用。首先，价格上要比国外的便宜很多，将近3倍多的价钱。第二，售后服务方面，我想大家都应该知道的，进口泵的上门费、修理费、更换配件都是非常昂贵的。第三，现在国内的泵的技术也挺不错的，我们厂以前用的德国普旭的干泵，后来修理、更换配件等等都太不方便、价格太高了，后来别人推荐上海高鹏真空的泵，用起来也蛮好的，

以上是我个人对国内、国外干泵的认识和了解，希望能帮到LZ！！！