水环式真空泵不转原因

微型真空泵、微型气泵选型说明

随着仪器仪表工业的蓬勃发展，体积小巧、无油环保的微型真空泵、微型气泵得到越来越广泛的使用。如何才能在规格繁多的微型泵中选择最恰当的产品呢？

首先要明确微型泵的用途。我们分三大类逐一讨论。

一、如果只是用微型气泵输出压缩空气。

简单地说，就是只用它来打气、充气，泵的抽气口基本不用。这种情况比较简单，按输出压力从大到小依次可选：PCF5015N、FAA8006、FAA6003、FAA4002、FM2002、FM1001。当然还要参考流量指标等相关技术参数。

二、如果是以下几种情况，则应该选用WKA系列产品。

1、用微型泵抽气或抽真空，但有时会有液态水进入泵腔。

2、要求微型泵既能抽气又能抽水。

3、主要用微型泵抽水，但不希望在抽水前靠人工加“引水”。（有些水泵在工作前需要人工加入一些“引水”，这样泵才能把低处的水抽上来，否则泵无法抽水甚至损坏。）WKA系列产品的长处就在于，没有接触到水时，它就抽真空，形成真空后靠气压把水压上来，而后开始抽水。

4、用微型泵抽水，但有些时候可能泵没有水可抽，处于“干转”状态。某些传统水泵畏惧“干转”，甚至是致命的。而WKA系列产品本质上是一种复合功能泵，它集成了真空泵和水泵的功能，有人把它叫作“真空水泵”。因此，在没有水的情况下，它会抽真空，有水的时候它就抽水。无论是抽气状态还是抽水状态，都属于正常工作范畴，也就无所谓“干转”损伤。

三、如果是用微型泵抽气，情况稍微复杂些。

（一）、判断微型泵抽气端工况

用于抽气的微型泵分为两类：气体采样泵和微型真空泵。虽然通常总是不加区分地把它们简单统称为微型真空泵，但从技术角度二者是有区别的，选型时更要特别注意。

简而言之，气体采样泵只能带小负载（即：泵抽气端阻力不能太大），但价格便宜；严格意义上的微型真空泵可以带大负载（抽气端允许大阻力，甚至完全堵塞），但价格稍贵。二者具体区别可以详见文章《关于微型真空泵与气体采样泵的区别》，不再复述。

气体采样泵有：PM系列、SA系列、SB系列；微型真空泵有： VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列，这些系列下的所有规格都是真正的微型真空泵，如VM7002、VAA6005、PC3025N等。

对于微型泵抽气端阻力的大小可以用仪器测定，把它与泵的技术参数“进气口允许最大阻力”Por值比较就可以知道选型是否合适。通常根据经验采用简便的方法确定，比如下述几种情况都属于负载较大（即泵的抽气端阻力较大），只能在微型真空泵范围内选型：

①在泵的抽气端要接很长的管道，或管道弯曲点多、弯曲厉害甚至会阻塞封闭，或管道内孔很小（比如小于φ2毫米）；

②在管路上有节流阀、电磁阀、气路开关、过滤器等元件；

③泵抽气口与密闭容器连接，或该容器虽未密闭但进气量较小；

④泵抽气口与吸盘连接，用于吸附物体（如集成块、精密工件等）；

⑤泵的抽气端与过滤容器相连，容器口放置滤网，用于加速液体过滤。

（二）、判断微型泵排气端工况

以上都是在讨论微型泵抽气端阻力的问题，根据这些判断条件已经缩小了选型的范围，但还必须考虑排气端阻力问题，这样才能最终确定可选范围。

在实际应用中，微型真空泵面临的排气状况是不一样的：一类是排气很顺畅，直通大气；另一类是排气阻力较大，比如在排气管路上有阀、细小弯管、大阻尼传感器、非专用的消音器、在液面以下排气、气体排往密闭或半密闭容器等。在现代设计制造中，把面对不同排气条件的微型真空泵区别对待。“排气口允许最大阻力Por值”这一参数就是标定泵的排气能力，让我们可以用严格的技术手段确定选型是否恰当。

简单地说，对于排气阻力大的系统，我们的选型范围是：FM系列、FAA系列、PCF系列；对于排气阻力小的系统，选型范围是：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、VBH系列。根据以上几个步骤，我们已经可以确定微型泵的选型范围了。在划定的几个可选系列中，再根据我们对流量和真空度的要求就可以确定具体的型号了。对于质量欠佳的产品未列入本文，尽量不要选用。注意参数选择要留有余量，特别是流量参数。泵接入气路系统后，由于管道、阀门等气路元件要造成压力损失，会衰减流量，因此得到的流量小于泵的标称流量还有一些和选型相关的问题罗列如下，根据使用情况考虑。

1、带负载启动问题。

如果微型气泵在启动前它的抽气口就已经存在真空或排气口已经存在压力，则要考虑泵的另一技术参数：进气口最大启动负载Pis值，排气口最大启动负载Pos值。典型应用事例就是使用微型气泵维持容器内的真空或正压状态，当容器内的真空或正压低于设定值时，需要泵通电启动，高于设定值时停机。可以在自身能达到的极限真空度下启动的产品有：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、VBH系列；可以在自身能达到的最大输出压力下启动的产品有：FM系列、FAA系列、PCF系列。 该性能对制造商的技术水平要求较高。

2、微型泵的介质温度问题。

根据通过泵的介质气体的温度，选择要普通型的还是要高温型的。

3、微型泵的可靠性问题。

根据微型泵出故障后产生后果的严重性而定，完全根据自己的要求。优质品的平均无故障连续运行时间都大于1000小时，有的高到数千小时。特别注意，这项参数是在满负荷、不间断的运行状态下测定的，是最恶劣的工况，如果实际使用不是满载或连续运行，该数值会高一些，高多少视泵的工况而定。该性能完全是考验制造商的技术实力，从产品外观上可以看出一些，如采用特制电机而非普通低价电机、体积相当的情况下重量较重等。根据产品价格也可略知一二。

4、微型泵的电磁干扰问题。

如果有精密电路控制微型泵，视电路抗干扰能力而定，可能需要订购低电磁干扰的微型泵。

详细资料你可以参考气海机电制造公司的网页

1、淄博群英真空泵制造有限公司 

主营产品真空泵，水环真空泵，真空泵厂家，山东真空泵。

所在地山东省淄博市博山区白塔镇泵类工业园。

2、淄博沃尔德真空泵厂

主营产品真空机组，水环式真空泵，真空泵厂家。

所在地山东省淄博市博山区山头街道秋谷社区执信路20号。

3、温岭市真空泵厂 

主营产品真空泵；旋片真空泵；无油真空泵。

所在地浙江温岭市浙江省温岭市南泉一期工业区。

4、东莞磊博机电设备有限公司

主营产品：维修真空泵、真空泵配件、真空泵油。

地址：东莞寮步镇泉塘管理区曲岭中路23号。

5、东莞市振奇电子科技有限公司

主营产品：微型真空泵；微型气泵；微型水泵；小型水泵；小型真空泵；隔膜泵；电磁阀；电子磁性材料。

地址：东莞市虎门镇赤岗村五马工业区永利达科技园A栋二楼。

原理是利用偏心转子在泵腔内形成通过旋转产生体积的变化而将气体排出泵外，主要是在吸气过程中，吸气腔体积增大，真空度降低，将容器内气体吸入泵腔，在排气过程中体积变小，压强增大，最终通过油封将吸入的气体排出泵外。 扩展资料使用真空泵的注意事项：正常运传前，真空泵应先做一次试运转，检查真空泵有无异常振动及冲击声响。初次使用的真空泵还要测定真空泵的极限压强，应符合技术规范。真空泵在长期工作的条件下，真空泵温不应超过70度。至于抽速的测定.由于比较复杂，一般不作检查。需要通冷却水的机械真空泵.在开机前应先通冷却水，然后再启动。冷却水的出口水温不宜超过30度。首次安装真空泵时，应检查电机是否正转，也就是电机与真空泵内转子转向一致，一般电机上方标有电机正常运转方向。真空设备应安装在清洁、干净的环境里，不宜有杂物、粉尘、水源，温度过高的地方也不适合。

在购买选择真空泵时得需要了解

,其实真空泵就是利用机械、物理、化学或物理化学方法对容器进行抽气，以获得真空的机器或器械，都叫做真空泵。

真空泵的类别很多，有机械真空泵（如往复式真空泵、旋片式真空泵、罗茨真室泵、涡轮分子泵、水环式真空泵等），喷射真空泵（如水蒸汽喷射泵、水喷射泵、大气喷射泵、油增压泵、油扩散泵等），物理化学吸附泵（如钛泵、分子筛吸附泵、低温泵等），在机械制造业中主要采用机械真空泵和水喷射真空泵，最常用的真空泵是小型真空泵系列产品，其他类型的泵则较少采用。

4升真空泵抽压缩机能抽到10mbar-1mbar。

普通的机械真空泵能抽到百分之一真空。油扩散泵能抽到万分之一或十万分之一,分子泵还要更高。

低压真空泵分：

水环式真空泵2000~4000pa

旋片式真空泵101325~1.33×10-2（pa）

1、水环式真空泵

水环真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000pa，串联大气喷射器可达270~670pa。水环泵也可用作

压缩机

，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×105pa表压力。。

2、旋片式真空泵（简称旋片泵）是一种油封式机械真空泵。

其工作压强范围为101325~1.33×10-2（pa）属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵。气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵。

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真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。

各种真空泵的工作原理

水环式真空泵/液环真空泵工作原理

水环真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。

水环泵最初用作自吸水泵，而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环泵得到广泛的应用。由于真空应用技术的飞跃发展，水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。由于水环泵中气体压缩是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘、含水的气体，因此，水环泵应用日益增多。

在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。

综上所述，水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。

罗茨泵的工作原理

罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。

罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。

但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。

旋片式真空泵工作原理

旋片式真空泵（简称旋片泵）是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×10-2（Pa）属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。

旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。

旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。

旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。

旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。

两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担，因而提高了极限真空度。

干式真空泵故障原因及故障排除方法

故障现象可能原因排除方法

一，机器不运转没有接上电源

电压不足

电容器故障

线路接错

马达故障

马达温控开关跳脱

周围环境太高

管路内有背压检查电源

检查电压

检查电容器，必要时更换它

检查线路

送回检修

等马达温度降低后，再激活运转

改善通风效果

消除管路内背压或改采用可再次激活机型之空压机式真空泵浦

二，真空度或压力不足管路有漏

空气过滤器因太脏而阻塞

机器汽缸内之油封垫片破损

活塞环（cup)太脏或破损

处理非一般性气体

金属阀片破损

检查并填补漏气的地方

清理或更换滤心

更换油封垫片

清理或更换活塞环（CUP）

只能处理一般性气体

更换金属阀片

三，噪音太高轴承损坏

金属阀片毁损

消音器不适用

活塞环（CUP）毁损

机器震动严重

更换轴承

更换金属阀片

选用适当的消音器

更换活塞环（CUP）

使用适当防震脚垫以减少震动

水环式真空泵故障现象和处理

水环式真空泵启动困难

产生原因：（1）长时间停机，机内零件生锈；（2）轴封填料过硬、过干；（3）泵内零件相摩擦。

排除方法：（1）慢慢转动联轴器或拆泵清洗；（2）更换填料；（3）调换有关零件。

水环式真空泵抽速不够

真空泵产生原因：（1）泵的转数不够：（2）泵转数低于额定值；（3）叶轮与端盖间隙过大；（4）填料处漏气；（5）其他漏气；（6）供水量不足及水温过高。

真空泵排除方法：（1）检查电源电压是否正常；（2）检查电机或电压：（3）调整间隙；（4）调整填料压盖或要更换填料；（5）检查法兰及轴封（6）增加供水量或降低水温。

水环式真空泵振动过大

产生原因：（1）泵轴与电机轴不同心；（2）泵轴变形或磨损过大：（3）叶轮或其他零件松动；（4）泵内有异物：（5）回转部分不平衡；（6）地脚螺钉松动；（7）零件装配不正确。

排除方法：（1）调整同心；（2）校直或更换；（3）紧固相关零件；（4）取出异物；（5）做平衡试验：（6）紧固地脚：（7）重新改装。

水环式真空泵轴承及填料盒发热

产生原因：（1）个别零件精度不够或装配不正确；（2）润滑油过多、过少或质量不好：（3）轴承室进入异物；（4）供水量不足；（5）轴封填料过紧；（6）转子歪斜；（7）轴弯曲。

排除方法：（1）更换零件或重新装配；（2）适当加黄油，使其体积占注入空间的2／3即可；（3）排除异物；（4）增加水量；（5）适当松开填料；（6）调整；（7）校直。

真空泵水量不足或水温过高

排除方法：（1）拧紧法兰螺钉或更换密封圈；（2）更换填料或压紧填料：（3）调节间隙，中小型泵为0.15 mm；（4）修理或调换相应抽气管路；（5）增加供水流量或降低进水温度，使水温不超过40℃。

文章链接：中国环保在线 http://www.hbzhan.com/Tech_news/Detail/80894.html

每秒15升真空泵用途

l、每秒15升真空泵是抽除气体的基本设备之一，它可单独使用，也可与增压泵、扩散泵、分子泵等超高真空泵连接在一起作为前级泵使用，广泛用于电子器件制造、真

空干燥、过滤、浸渍、涂膜、焊接、冶炼及实验室装备等。

2、2X每秒15升真空泵在环境温度5℃～40℃范围内，进气口压强小于10托的条件下，允许长期运转，被抽气体相对温度大于90％时，应开气镇阀。

3、2X每秒15升真空泵进气口连续敝通大气运转不得超过3分钟．

4、每秒15升真空泵不适用于抽除对金属有腐蚀的、对泵油起化学反应的、含有颗粒尘埃的气体，以及含氧过高的、爆炸性的、有毒的气体。

每秒15升真空泵概述

1.旋片真空泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片式真空泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。

2.旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。

3.旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。

每秒15升真空泵结构图

每秒15升真空泵泵性能参数

2X-2

2X-4A

2X-8A

2X-8

2X-15A

2X-15

2X-30

2X-70

2

4

8

15

30

70

极限真空

关气镇

开气镇

Pa(Torr)

6×10-2(≤5×10-4)110

6×10-1(5×10-3)

(≤1×10)

电动机功率(KW)

0.37

0.55

1.1

1.5

3

5.5

温升（℃）

≤40

进气口径(mm)

18

25

40

40

65

80

转速(r/min)

450

590

420

用油量(L)

0.7

1.0

2.0

2.8

3.0

4.2

噪声dB(A)

68

≤68

≤70

≤75

≤78(～70)

≤80(～75)

外形尺寸(cm)

56×31×39

56×34×37

79×43×54

79×53×54

78×50×56

91×65×70

适用电磁阀型号

DDC-JQ25

DDC-JQ40

DDC-JQ65

DDC-JQ80

重量（kg）

58

55

80

110

232

330

冷却方式

自然冷却

水冷

自然冷

水冷

冷却水量(L/min)

-

＞0.5

-

＞0.8

＞1

＞2

每秒15升真空泵订货须知

1.真空泵名称（旋片式真空泵、旋片泵、单级旋片式真空泵、直联式旋片真空泵、 水环泵、水环真空泵、直联式水环真空泵、滑阀泵)

2.真空泵型号（2X、XZ、2XZ、XD、SK、SZ、SZB、2SK、2BV、SKA、H-150）

3.真空泵抽气速率（1-150升/秒）

4.真空泵功率（0.12-132KW）

5.真空泵使用电压（AC200V、AC380V）

6.真空泵使用行业（石油化工、制药、食品、医药、真空包装、真空渗漏等）

真空泵使用说明书：

1．查看油位，以停泵时注油至油标中心为宜。过低对排气阀不能起油封作用，影响真空度。过高，可能会引起通大气起动时喷油。运转时，油位有所升高，属正常现象。如是旋片式真空泵真空泵油采用规定牌号的清洁真空泵油，从加油孔加入。加油毕后，应旋一上螺塞。油宜经过滤，以免杂物进入，堵塞油孔。

2．水环式真空泵可在通大气或任何真空度下一次起动。泵口如装接电磁阀，应与泵同时动作。

3．环境温度过高时，油的温度升高，粘度下降，饱和蒸汽压会增大，会引起极限真空有所下降，特别是用热偶计测得的全压强。如加强通风散热，或改善泵油性能，极限真空可得到改善。

4．检查真空泵的极限真空以压缩式水银真空计为准，如计经充分预抽校验，泵温达到稳定，泵口与计直接接通，运转30分钟内，将达到极限真空。总压强计测得之值与泵油和真空计、规管误差有关，有时误差甚至可很大，只能作参考。

5．如相对湿度较高，或被抽气体含较多可凝性蒸汽，接通被抽容器后，宜打开气镇阀，运转20～40分钟后关闭气镇阀。停泵前，可开气镇阀空载运动30分钟，以延长泵油寿命。

6．用油选择：真空泵油的粘度影响起动功率和泵的极限真空，粘度高时对真空度有利，起动功率则大一些。油在泵温下的饱和蒸汽压则会影响泵的极限总压强，越低越好。高速真空泵油和3#扩散泵油的粘度较1号真空泵油大，饱和蒸汽压较1号真空泵油低，但3#扩散泵油价格较高。具体选什么油，可根据上述介绍结合具体使用要求来选择。

(1)一般情况下，凡希望总压强在6X10-2帕以上的应用上海产的高速真空泵油。4升/秒以下小型真空泵也可用1号真空油泵代，8升/秒以上直联泵可用3#扩散泵油代。

(2)如果对真空度要求不高，且油的污染更换频繁，真空泵油供应困难，可采用50号机械油代替。

(3)如果环境温度低，起动困难，极限真空要求不高，可采用粘度较上略低的真空泵油或机械油。