真空泵的性能参数
参数名称参数定义真空泵的极限压强泵的极限压强单位是Pa，是指泵 在入口处装有标准试验罩 并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。真空泵的抽气速率泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试 验罩，并按规定条件工作时，从试验罩 流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。真空泵的抽气量真空泵的抽气量 单位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的气体流量。真空泵的起动压强真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用 时的压强。真空泵的前级压强真空泵的前级压强 单位是Pa，它是指排气压强 低于一个大气压的真空泵的出口压强。真空泵的最大前级压强真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了 能使泵损坏 的前级压强。真空泵的最大工作压强真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量 的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。真空泵的压缩比压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。真空泵的何氏系数泵抽气通道面积上的实际抽速 与该处按分子泻流计算的理论抽速 之比。真空泵的抽速系数泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。真空泵的返流率泵的返流率 单位是g/cm2.s。它是指 泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。水蒸气允许量水蒸气 的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵 在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。最大允许水蒸气入口压强最大允许水蒸气入口压强 单位是Pa。它是指 在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。压强范围
真空泵种类 工作压强范围（Pa） 起动压强（Pa）
活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水环式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
罗茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
涡轮分子泵1.3—1.3×10-5 1.3
水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10
油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105
分子筛吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1
钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2
锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10
低温泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
任何进口真空泵一般都用以下两个主要参数表示其工作性能。
(1)抽气速率一系指单位时间内真空泵在残余压力下从进气管吸入的气体容积，即好凯德真空泵的生产能力(或称流世V)，以m³或L/s表示。
(2)残余压力或称极限真空度一系指该泵所能达到的最低压力(绝对)。
雅之雷德用一定的进口真空泵抽吸某一密闭容器中的气体，无论抽吸的时间有多久，容器中的压力是不能无限地降低到零(即绝对真空)的。这是因为当进气压力低于某一值后，或是由于泵中液体发生汽化，或是由于高压侧漏回的气盘与真空泵的抽气胜相同.或是由于好凯德真空泵的压缩比过高，容积系数降低为零.都会使泵无法继续吸入新鲜气体。在这种情况下，容器中的压力再也不会降低了。此时的绝对压力值称为残余压力或极限真空度。
如果不具备加负载条件，那么泵开启后，关闭泵入口的阀门，看看能否达到极限真空，如能够达到极限真空，那么说明真空泵性能没有问题，这个过程只需要几分钟或几十秒。确认真空泵性能没有问题后，然后在泵开启后关闭被抽吸系统出口的阀门，看看是否仍能达到极限真空，如不能达到极限真空或建立真空很慢，则要检查安装的管路的气密性。
在中国标准分类中，真空 测试涉及到包装方法、家用清洁、整容器具、噪声、振动测试方法、真空技术与设备、金属物理性能试验方法、卫生、安全、劳动保护、航空与航天用非金属材料、基础标准与通用方法、合成材料综合、混凝土、集料、灰浆、砂浆、供水、排水器材设备、混凝土制品、包装材料与容器、环境保护设备、公共医疗设备、控制电器、航天器综合、换热设备、钢铁产品综合、建筑暖通、空调器材设备、石油沥青、加工专用设备、电子技术专用材料、电真空器件综合、其他电真空器件、冶炼设备。
根据目前的标准规定，回转动力泵（离心泵、混流泵和轴流泵）的试验分为精密级、工程级（1级和2级），分别是参照国际标准ISO5198：1987和ISO9906：1999而确定的，对应的国家标准是GB/T18149-2000《离心泵、混流泵和轴流泵 水力性能试验规范 精密级》和GB/T3216-2005《回转动力泵 水力性能验收试验1级和2级》。
精密级试验主要用于实验室中的研究、开发和科学目的，要求有特别高的测量精度。工程级（1级和2级）试验一般适用于验收试验。在大多数情况下，工程2级已足够验收试验之用，工程1级只限于需要更精确地确定泵的性能的特殊情况下使用。然而，可能有一些非常重要的场合，即使是工程1级验收试验也被认定为不能满足确定泵性能所需要的精确度，在这些情况下，则有必要使用精密级来做验收试验。必须注意，与工程级试验相比，精密级试验所要求的精度使试验费用大大增加。
精密级和工程级试验的主要区别有如下几方面：
1、标准试验装置的要求不同。精密级需要测量截面处的液流必须满足轴对称速度分布、等静压分布和无装置引起的旋涡这三个条件，而工程级，则指出应尽量满足这些要求。
2、试验介质的要求不同。精密级试验的介质必须是有性质规定的“清洁冷水”，其运动粘度要求是不大于1.5×10ˉ6m2/s，而工程级规定的运动黏度要求是不大于1.75×10ˉ6m2/s，且在一定条件下可用其他液体替代。
3、对试验转速的要求不同。精密级要求在对流量、扬程和泵效率的测定时可容许试验转速与规定转速相差±20%范围内，而工程级的范围是50%~120%。
4、总的测量不确定度的限值不同。精密级要比工程级要求高，这样在仪器仪表的选择、测量方法的选择上会有区别。
5、对测量截面的规定不同。精密级要求的测量截面的取压孔数量和位置明确，而工程级则要求较低。
往复泵、螺杆泵、真空泵等的试验目前尚没有精度等级的区分。
真空试验可以采用系统本身的氨压缩机和另备真空泵的方法。
(1)利用氨压缩机抽真空试验:首先应打开系统上所有的阀，关闭与大气相通的阀门，关闭压缩机上的高压阀，打开低压阀和压缩上的排气堵头，启动压缩机，使系统内的空气从排气堵头处排出口在抽空时，注意油压表的压力，当达到零值时，应立即停车，待各部位温度下降后再启动压缩机。当达到730mmHg时即可进行真空度检查，试验时。用一根橡胶管，一端接至压缩机的排气口，另一端浸没在油缸中，当油缸内无气泡上升时，说明真空度已够，然后关闭压缩机，安装好排气堵头、保持12h
,真空度无变化者为合格。检查时，可利用带有放出烟雾的纸烟等燃烧物，置于各焊口和管道或设备的接头处，如发现接头处有向里吸烟的现象，说明该处有渗漏。
(2)采用真空泵抽真空试验:只是将真空泵的吸入口管道与加氨管道连接，启动真空泵，使系统内的空气从真空泵的排气口排出，抽真空时应注意打开系统上的阀门、打开氨压缩机上排气阀门、关闭与大气相通的阀门。
直至试验合格后、拆除真空泵，等待下一步的充氨制冷剂的工作程序。
2、旋片式真空泵设备润滑系统完好且润滑油质符合规定要求并定期进行检查、换油.
3、各种仪表(如真空表等)指示值正确并定期进行校验；各阀门启闭灵活、密封良好、 无泄漏现象其管道无泄漏并定期进行检查。
4、电动机配备合理运行正常(温升和声响正常)，电气线路安全可靠有接地保护措施， 电气装置(控制柜)可靠电气仪表指示正确。
5、设备及冷却系统设施整洁、无锈蚀。
6、水环式真空泵冷却系统运行正常冷却装置完好，排水温度不超过规定要求应有断水 保护装置。
2、漏率。漏率是属于多级罗茨真空泵自身的性能影响因素，与前级泵无关，也基本上不受温度的影响。
3、零流量压缩比。零流量压缩比是非耀罗茨真空泵有关抽气性能的非常重要的特征性能指标，它与泵相互转动零部件之间的间隙有关，也与转速和气体种类有关，也是属于罗茨真空泵自身决定性能的因素的一种。
4、容许压差。此项是考核多级罗茨真空泵运转可靠性的特征性能指标。它与泵相互转动零部件之间的间隙有关，也与转速有关。如要以此作为提升罗茨真空泵性能的条件，相互转动零部件之间的间隙以大为好，转速也以低为好。
