真空泵真空系统有哪些部件组成

真空泵，品种有许多种，依照一套真空体系的分类，大概可以分成三大类：1：前级泵

前级泵构成由许多种，比方油光滑旋片泵，油光滑螺杆泵，油光滑活塞泵，油光滑滑阀泵等，也能够用无油泵，比方无油螺杆泵，无油多级爪式泵等。对于有油光滑旋片式真空泵，其中莱宝最为常用，东莞莱宝真空泵配件无非分类如下：

1)：真空泵油，每个厂家的真空泵油都有其自行编制的编号，但实际使用效果几乎都相同，莫非即是满足真空泵油的请求，比方说氧化稳定性：长时间在高温条件下与空气、树脂、化学原料等直接触摸亦不易蜕变，削减油垢的构成，供给较长的换油周期。防锈防腐蚀性：能在金属表面构成非常有用的防腐膜，然后能够全部防止因吸入腐蚀性气体和水分而导致的体系腐蚀。能迅速将油液中夹藏的水分别离出来，到达所需的真空度。具较底的蒸汽压，防止油品从泵的内腔向真空体系返流分散形成返油。然后保证有满足的极限真空。从以上特性咱们能够看出，真空泵油，要害请求即是：光滑，散热，密封，即旋片与缸壁间触摸，如有真空泵油的光滑效果，则能够防止干冲突。散热：真空泵油需有必定的散热器，将叶片紧缩及冲突发生的温度带出。密封，真空泵油需起到叶片与缸体之间的空隙密封效果，防止回气。

2)：油雾分离器，又叫排气过滤器

油雾分离器，也是每家东莞莱宝真空泵配件厂家供给的类型及形状都不相同，但效果是相同，即油雾别离。不一样厂家供给的商品，油雾分离效果及寿命有许多差异，但油雾分离器除了其分离油的效果以外，另一个效果是不行构成有害的背压，防止导致电机功率的无谓耗费。

3)：进气口空气滤芯

这相对简单了解，也即是阻挠有害物质进入泵体内，故我们对此过滤器进行定时清洗即可。

4)：油过滤器

过滤真空泵油杂质的效果，配备了油过滤器的真空泵，它的油能起到极好的过滤器，防止有害物质进入泵体，但这个小东西通常简单被客户疏忽，坚持换油而不换油过滤器，形成泵头无油，损坏真空泵。为防止客户忘掉替换油过滤器，则不对于油过滤器进行自动化改造，能有用的查看并提醒客户更好油过滤器，防止损坏真空泵。

2：增压泵(罗茨泵)，国产罗茨泵与进口罗茨泵的差异在于抽气功率，温升，压差，密封，漏率等，罗茨泵作为干式泵的一种，其耗材为齿轮箱的齿轮油，咱们只需要定时增加或许替换齿轮油即可。故罗茨泵式一种很环保的真空泵。

3：分子泵，分散泵

分子泵，基本无耗材。

分散泵，首要耗材为分散泵油，选择不一样品种，品牌的分散泵油，对泵的抽速，功率等都有影响。

无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。

往复真空泵靠活塞往复运动使泵腔（气缸）的工作容积周期性地变化来抽气的真空泵，又称活塞真空泵。往复真空泵的结构与往复活塞压缩机相似。工作时，吸气管接被抽真空容器，排气管直通大气。往复真空泵抽气量较大，抽气速率范围为每小时45～20000立方米，单级泵极限压力约为103帕，双级泵可达1帕。往复真空泵可用于真空蒸馏、真空浓缩、真空结晶、真空过滤、真空干燥和混凝土真空作业等。在泵的吸气口处若安装冷凝器，可抽除含水蒸汽的气体；若安装过滤器，则可抽除含尘气体。

往复式真空泵的结构和工作原理：

往复式真空泵(又称活塞式真空泵)属于低真空获得设备，用以从内部压力等于或低于一个大气压的容器中抽除气体，被抽气体的温度一般不超过35C。往复泵的极限压力，单级为4×10～10Pa，双级可达1Pa。它的排气量较大，抽速范围15～5500L/S。往复泵多用于真空浸渍、钢水真空处理、真空蒸馏、真空结晶、真空过滤等方面抽除气体。

往复式真空泵对于抽除腐蚀性或含有颗粒状灰尘的气体是不适用的。被抽气体中如果含有灰尘，在泵的进口处必须加装过滤器。

泵运转时，在电动机的驱动下，通过曲柄连杆机构的作用，使气缸内的活塞做往复运动。当汪室在等舸内从存端向右端话动时。由于气缸的左腔体积不断增大，气缸内气体的密度减少，而形成抽气过程，此时容器中的气体经过吸气阀5进入泵体左腔。当活塞达到最右位置时，气缸内就完全充满了气体。接着活塞从右端向左端运动，此时吸气阀5关闭。气缸内的气体随着活塞从右向左运动而逐渐被压缩，当气缸内气体的压强达到或稍大于一个大气压时，排气阀4被打开，将气体排到大气中，完成一个工作循环。当活塞再自左向右运动时，又吸进一部分气体，重复前一循环，如此反复下去，直到被抽容内的气体压力达到要求时为止。

在实际应用中，为了提高抽气效率，泵多半采用双作用气缸，即活塞能在两个方向(往复)上同时进行压缩和抽气，这主要是依靠配气阀门来实现的。国产的w型往复泵即是单级的双作用泵。

结构特点：

往复泵有干式和湿式之分。干式泵只能抽气体，湿式泵可抽气体和液体的混合物。二者在结构方面没有什么原则性的不同，只是湿式泵内的死空间和配气机构的尺寸比干式泵大一些，因此湿式泵的极限压力要比干式泵的高。往复泵有卧式和立式两种型式(国产为W和WL型)。立式泵从结构和性能上较为先进，它是卧式泵的更新换代产品。

凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵，称为机械真空泵。

机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下：  

一、变容真空泵

它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。  

1、往复式真空泵 ：利用泵腔内活塞往复运动，将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。

2、旋转式真空泵 ： 利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。它大致有如下几种分类：  

1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙，减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。

2)液环真空泵 将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时，把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油，所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。

3)干式真空泵 它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体，因此，适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。

4)罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。

二、动量传输泵 

它依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。这类泵可分为以下几种形式：

1、分子真空泵 ：它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为：

1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。  

2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。 

3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。

按其工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。

一、气体输送泵包括：1、液环真空泵（水环式真空泵）2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等

二、气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。

1、橡胶软连接在闸阀前后均可,其作用一是减震、二是热涨冷缩的需要、三是方便拆装阀门及维修需要；止回阀只要在水泵之后的扬水管上就行，其作用是保护水泵。一般装在闸阀之后。

3、实际的安装顺序应该是：橡胶软连接，止回阀，闸阀。压力表最好装在水泵出水口上，但一定要在止回阀前。

4、橡胶软连接是为了起减振。当然是水泵与管路系统的连接处。

5、正常工作时，闸阀是不太操作的，而止回阀是频繁动作的，所以维修概率较大，维修时关闭该泵出水管闸阀就能维修而不影响系统的正常运行。

6、压力表装在止回阀前，可以防止水锤作用对压力表的冲击和破坏。

7、有人提出大口径管，止回阀装在闸阀后以便开闭，这不现实。因为水泵停止时由于止回阀存在，装在止回阀后的闸阀前后的水压是一致的，闸阀的开闭是不存在问题的。当然大口径阀门本身就比较难操作一点的。