如何把真空镀膜机的真空度抽得更快
1.如果是第一次用,边抽边加温(一般是200℃左右)1-2小时,除去水汽及附着物。
2.如果使用了很长时间,发现抽真空变慢,需要更换机台防着板(内衬板),然后加温烘烤。
3.如果是忽然变很慢,请用设备检漏,重点部位在:坩埚下、热电偶下、旋转机械部上、泵接触部位
4.机械泵加大或者增加冷媒
5.定期保养真空泵
6.检测真空计(一般设备都有检测方法)
你说的太笼统,如果具体到什么问题就可以帮你针对性回答,谢谢
1、间隙对极限压力的影响
泵的极限压力决定于低真空级极限压力, 低真空级极限压力低, 则高真空级极限压力也低。因此低真空级的间隙非常重要, 一般认为既然是低真空级要求不高, 间隙可以放大一些, 但实际却截然相反,低真空级非常关键, 它这里的气体分子自由程(相对高真空级而言) 小, 气体阻力小, 容易泄漏, 因而间隙应该小而高真空级处气体分子自由程大,气体阻力大,故间隙可以取得比低真空级大。例如英国EDWARDS 公司的E2M40旋片泵, 低真空级端面间隙为0.06 mm,而高真空级端面间隙为0.095mm又如日本ULVAC(真空技术株式会社) 的D650K旋片泵低真空级端面间隙为0.05mm,高真空级端面间隙为0.08mm。
这样的间隙安排也符合热膨胀的要求, 照一般规律旋片泵在(3.3~4) ×104Pa 时功率最高, 以后应逐渐下降。但我们在检测中发现不少厂的泵的功率在这压力以上不但不降, 反而继续上升, 有的泵甚至卡死。原因在于随着压力的上升, 泵的功率和温度也上升, 热膨胀也厉害, 而高真空级的长度一般为低真空级的2~4倍, 因此如高真空级的间隙小, 则热膨胀使它的间隙越来越小,摩擦也越厉害, 恶性循环最终使泵(主要是高真空级) 卡死。
此外切点间隙对泵的极限压力影响极大。因为切点二边一是压缩腔, 一是吸气腔, 压差较大, 尤其是在接近排气时, 压差最大。这时压缩气体最容易通过切点间隙向吸气腔返流, 所以切点间隙必须严格控制, 一般15L/s以下的泵应控制在0.01~0.02mm , 大的泵也不能超过0.03mm。
2、高、低真空级之间通道的流导对抽速的影响
增加高、低真空级之间通道的流导, 有利于泵抽速的提高。对于一台泵来说, 它的高、低真空级的压缩比根据抽速的大小一般取1~6, 压缩比越小, 向高真空级的返流和泄漏就越少, 有利于极限压力的降低。在高、低真空级缸的比例确定之后, 要保证低真空时泵的抽速, 必须在高真空级排出处设置余气阀, 这一点大家都已知道。但怎样保证高真空时的抽速, 则很少有这方面的报道, 我们认为这时就必须考虑高、低真空级之间的通道的流导。如果流导过小,低真空级由于通道流阻的影响, 不能有效地把高真空级排出的气体完全抽吸, 导致气体返流增加, 则就不能保证高真空级的抽速, 因此高、低真空级之间的流导直接影响到高真空时泵的抽速大小。
我们做了一个对比, 一台2XZ24型泵, 由于高、低真空级之间通道的流导不足,2Pa时抽速只有1.3L/s, 抽气效率只有30%。适当增加它的通道截面积, 就提高到2L/s, 再增加通道截面积, 就达到2.56L/s, 抽气效率提高到59%, 这就充分说明, 增加高、低真空级之间通道的流导对于提高泵(实际是高真空级) 的抽速是极其重要的。
3、泵温对真空度的影响
在盛夏季节, 尤其是在通风条件不良的工作场所, 对4~8L/s 这样的直联泵, 泵温都比较高, 这将导致泵油的热分解加速, 产生的轻馏份增加,油蒸汽增加⋯⋯, 这些都对泵的真空度有较大影响, 为了降低泵温可以设计一风扇, 安装在联轴器上, 这风扇看起来不大, 但作用却不小, 可以使泵温下降5~7℃,它的作用在于风扇吹破了泵周围的热空气屏障包围层, 使热交换能顺利进行。
4、高真空级排出口应高于低真空级的吸入口
使高真空级排出的油能顺利流入低真空级。否则在二级之间的通道内有可能产生油堵, 从而影响泵的极限压力和抽速。
5、降低排气速度, 有利于泵抽速的提高
我们检测了许多直联泵, 发现普遍存在1.5 ×103Pa 时抽速小于6.7 ×102Pa (甚至3.3 ×102Pa ) 时抽速, 这主要是由于排气阻力过大所造成, 适当降低排气速度, 这种现象就消失了。
第二,泵的真空度。泵的真空度越好,在密闭容器剩余的气体越少,气体越稀薄,容器内和外界环境的气压差越大,水受到的压力就越大,流动越快。这一点容易被多数人纰漏。
第三,容器的大小。容器越大,形成真空就越慢,到达较高真空度的时间越长,因此吸水速度就会更慢。
主如果以上三个因素制约间接缩水速度。固然另有其它一些因素,比如,管路的长短、内孔大小、气路和液路元件阻力大小等等,但这些因素一般都是固定的。
有一点容易被许多人误解,认为需要先把容器与外界水源断开,先让密闭容器形成真空后再打开进水管路才能缩水,实在不必要这样作,除非容器很大、真空泵的流量和真空度很低。
除了容器容量的大小和泵的排量的大小直接影响抽空速度以外,各种型号的真空泵的极限真空标准各异,使用者应根据实际需要选用而无法通过调节提高极限真空度(要求不高的可根据真空计的显示提前结束抽空)。
抽空过程随着真空的接近、排气压力的下降会使气体所含的可凝性气体(如水蒸汽)无法排出泵腔而液化、溶于真空泵油中,油的真空性质劣化会降低泵的抽速和真空度。
为了解决上述问题,抽空过程适当打开泵的气镇装置放入一定量的空气以提高混合气体的压力(混合气体的压力为空气的分压力和水蒸气的分压力之和,在蒸汽的分压力尚未达到泵温下的饱和蒸汽压时,混合气体压力超过排气阀的压力而打开排气阀),使蒸汽来不及在泵腔中液化而被排除泵外。
气镇阀另一用途可用以恢复真空泵的极限压力,抽一般含可凝性气体较少的,一般气镇阀是关闭的,但当时间久了,油质却逐渐被空气内含有的少量可凝性气体所污化,对没有气镇机构的泵来说,只有更换新油,或把泵油加热,让液化的蒸汽蒸发才能恢复泵原有的极限压力,而对于气镇泵来说,只要打开1至2个小时即可恢复真空泵之极限压力。
气镇阀的操作十分方便的。当需要使用气镇阀时,可以打开气镇阀的手轮,手轮的开度是可以调节的,打开的多些,掺气量就大些;所以手轮的打开多少视用户所需的真空度而定。一般来说,手轮完全打开的话,其真空度13Pa(10-1托)。如用户不需要掺气,则可以关闭气镇阀。仅供参考
真空泵抽速太低,太慢的原因有:
1,真空泵旋片损坏
2,真空泵轴封损坏
3,真空泵油雾过滤器失效
4,真空泵进气过滤网堵塞
5,真空泵气镇阀的问题
具体的问题还是找一家专业的维修厂家吧!
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1、出厂时真空度和抽气速率已被调节到最大,使用过程中可以通过左右旋转真空调节阀来调节吸力大小和抽速快慢。
2、使用真空泵的过程中当吸力不够、抽速过慢、完全无法抽吸等异常情况发生时,请仔细检查真空调节阀是否调整在需要的位置。
3、缓冲杯有积水时,请及时停止工作,将缓冲杯慢慢拧下,倒出水擦干,再装回去。
如果需要更高真空度,可以用旋片泵+罗茨泵的方式来获得。
另外,大气压强约为0.1MPa所以你所抽的负压不可能高于0.1MPa
在高真空以上的真空度时一般用直接压强表示比如1E-5Pa
E表示科学计数法。
真空泵吸力的影响因素有以下几个:
1、管道泄漏。
2、泵内漏。
3、泵供水不足。
4、泵供水温度高。
5、泵排气排液不畅。
6、泵端面间隙受损。
影响因素
1、对工作蒸汽及其干度的研究:
蒸汽压力偏低及压力波动均对真空泵的能力有较大影响,因此蒸汽压力不应低于要求的工作压力,但所用真空泵结构设计已定型,过多提高蒸汽压力并不会增加抽气量及真空度。另外,要确保锅炉供给的蒸汽压力稳定,最好用一台锅炉专门给蒸汽喷射泵提供工作蒸汽,这样蒸汽压力就不会出现波动,真空泵性能稳定。
2、对循环冷却水要求的研究:
冷却水供量不足,冷凝器会发热,气流声音变大,真空度迅速下降,甚至蒸汽会返入抽气管。冷凝水在多级真空泵中具有举足轻重的作用,冷凝水可以将蒸汽充沛冷凝,真空泵排出压力中的水蒸汽分压有必要高于其所对应的饱满蒸汽压,因此冷凝水的温度也要低于该压力下的饱满温度,才能保证泵体的正常作业。
3、对真空泵系统密封要求的研究:
真空泵处于极限状态时,第1级排出的水很少,有时甚至没有。因此,第1级泵有大量水排出,可以认为是系统有泄漏。通常的漏气原因有:垫片没装、装错或损坏,螺栓未拧紧,法兰面损坏,焊缝有沙眼,接头(压力表、真空表等)未装好。
4、对喷嘴要求的研究:
喷嘴是影响真空泵性能的重要部件,存在的问题有:喷嘴装错、装歪、堵塞、损坏、腐蚀和泄漏,不管采取何种预防措施,喷嘴的堵塞在所难免。一方面由于安装蒸汽管道时,管道中残存的铁屑及焊渣会堵塞喷嘴另一方面,真空泵系统停用时,蒸汽管道易生锈,锈斑在使用时掉落堵塞喷嘴。
真空泵吸力的影响因素有以下几个:
1、 管道泄漏。
2 、泵内漏。
3 、泵供水不足。
4、 泵供水温度高。
5 、泵排气排液不畅。
6 、泵端面间隙受损。
特点
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速。
(2)转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速。
(3)泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染。
(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感。
(5)压缩比较低,对氢气抽气效果差。
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。