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爱德华真空泵ih600使用说明书

英勇的热狗
粗心的大炮
2022-12-29 15:31:11

爱德华真空泵ih600使用说明书

最佳答案
俊秀的鸡
感动的大树
2026-01-29 03:23:13

iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相

A59020908

概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。

  

iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。

应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相

A59020908

iH600 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相

A59020945

iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相

A59020946

iH600 干式泵 230V,60 Hz,3 相

A59020957

功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度    600 m3h-1  

353 cfm  

10000 l min-1  

极限真空    7 x 10-4 mbar  

5.3 x 10-4 Torr  

0.07 Pa  

典型轴封氮流量    4 slm  

进气口连接    ISO100  

出口连接    NW40  

15 psi 压降下典型冷却水流量    240 l h-1  

4 l min-1  

重量    415 kg  

极限功率输入    3.4 kW  

电机额定功率    6.1 kW  

油容量    1.43 l  

  

所有数字均为无气镇时的典型值。

 性能

尺寸

1    进气口  

2    出口  

3    抽风口  

4    变频器箱(仅限 iH1000)  

最新回答
顺利的咖啡豆
完美的裙子
2026-01-29 03:23:13

爱德华真空泵IQDP80根据使用说明,打开启动键后动力开始工作后启动

答:爱德华真空泵EH2600是一种机械增压泵,也叫罗茨泵,是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子,转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵。

知性的小兔子
爱听歌的鸭子
2026-01-29 03:23:13
四级泵腔依次串联,每级泵腔内各有一对共轭啮合,做同步反向运动的爪型转子。

四级泵腔中的第一级泵腔为吸气级,其吸气容积比后面三级大,形成级间压缩。

四对转子装在二根平行轴上,轴由上下两端轴承支撑,泵腔级与级之间有隔板,隔板上有吸排气通道。

认真的白开水
无心的夏天
2026-01-29 03:23:13
爱德华真空泵EH2600是一种机械增压泵,也叫罗茨泵,是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子,转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵。

工作原理:

罗茨泵(roots-type pump) 是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。

靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气的真空泵。

罗茨真空泵是指具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵,此泵不可以单独抽气,前级需配油封、水环等可直排大气。

它的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似,工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触,间隙一般为0.1~0.8毫米;不需要用油润滑。转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率高,加工精度易于保证,故转子型线多用渐开线型。罗茨真空泵的转速可高达3450~4100转/分抽气速率为30~10000升/秒(1升=10-3米3);极限真空:单级为6.5×10-2帕,双级为1×10-3帕。

罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。

寂寞的鞋子
强健的蜜粉
2026-01-29 03:23:13
您好,实际上我的专业仅仅和真空沾点边,毕业之后在真空行业工作一年,而且现在也不在真空这个行业里面工作了。不过也是有一些了解的。

首先真空泵本身,真空泵有很多种,主要分为高中低真空泵:低真空的泵国产比较多,除了一些要求无油润滑的真空泵,用的进口比较多。这类的泵爱德华比较多。中真空比较多的是罗茨泵,罗茨泵国内和进口都有,国内基础的也做得也还好。高真空泵是一些专业真空设备的核心组件之一,主要分为扩散泵、复合分子泵、低温泵等。

扩散泵就是一个喷泉,利用热油喷射带走气体。现在国产的扩散泵比较多也比较好用。

复合分子泵是唯一一种可以达到高真空的机械泵。主要利用高速旋转的叶轮将分子单向排出。国产的以泰岳恒等牌子为主,但是好一点的都是用莱宝的。

低温泵是通过极低温(一般为10K以下),捕捉分子,让分子不在真空室内自由移动。这种泵好像还是莱宝用的多。

我们厂当时主要是买泵装配卖成套设备的。所以独立的泵方面只做过扩散泵。主要是泵壳成型焊接,泵芯制作,盘管(夹套)制作,底座加工,全套组装,加油,上电测试等,具体真空泵都有自己的特点。

给你个建议吧,真空泵厂家都有自己的产品资料,去官网看看吧,产品选型手册很厚一本的,只是很多产品和国内比性价比不高,国内不常用罢了。

俏皮的短靴
神勇的抽屉
2026-01-29 03:23:13
抽速你选一样大的就没有影响,爪式泵真空度3Pa,建议用一级罗茨加爪式泵机组。我是淄博的,我们公司是做爪式泵的,我是做爪式泵技术工作的,如需要资料说明书什么的可以网上发给你,离得比较近可以联系。