真空泵抽速不够有什么有关

1、间隙对极限压力的影响

泵的极限压力决定于低真空级极限压力, 低真空级极限压力低, 则高真空级极限压力也低。因此低真空级的间隙非常重要, 一般认为既然是低真空级要求不高, 间隙可以放大一些, 但实际却截然相反,低真空级非常关键, 它这里的气体分子自由程(相对高真空级而言) 小, 气体阻力小, 容易泄漏, 因而间隙应该小而高真空级处气体分子自由程大,气体阻力大,故间隙可以取得比低真空级大。例如英国EDWARDS 公司的E2M40旋片泵, 低真空级端面间隙为0.06 mm,而高真空级端面间隙为0.095mm又如日本ULVAC(真空技术株式会社) 的D650K旋片泵低真空级端面间隙为0.05mm,高真空级端面间隙为0.08mm。

这样的间隙安排也符合热膨胀的要求, 照一般规律旋片泵在(3.3～4) ×104Pa 时功率最高, 以后应逐渐下降。但我们在检测中发现不少厂的泵的功率在这压力以上不但不降, 反而继续上升, 有的泵甚至卡死。原因在于随着压力的上升, 泵的功率和温度也上升, 热膨胀也厉害, 而高真空级的长度一般为低真空级的2～4倍, 因此如高真空级的间隙小, 则热膨胀使它的间隙越来越小,摩擦也越厉害, 恶性循环最终使泵(主要是高真空级) 卡死。

此外切点间隙对泵的极限压力影响极大。因为切点二边一是压缩腔, 一是吸气腔, 压差较大, 尤其是在接近排气时, 压差最大。这时压缩气体最容易通过切点间隙向吸气腔返流, 所以切点间隙必须严格控制, 一般15L/s以下的泵应控制在0.01~0.02mm , 大的泵也不能超过0.03mm。

2、高、低真空级之间通道的流导对抽速的影响

增加高、低真空级之间通道的流导, 有利于泵抽速的提高。对于一台泵来说, 它的高、低真空级的压缩比根据抽速的大小一般取1～6, 压缩比越小, 向高真空级的返流和泄漏就越少, 有利于极限压力的降低。在高、低真空级缸的比例确定之后, 要保证低真空时泵的抽速, 必须在高真空级排出处设置余气阀, 这一点大家都已知道。但怎样保证高真空时的抽速, 则很少有这方面的报道, 我们认为这时就必须考虑高、低真空级之间的通道的流导。如果流导过小,低真空级由于通道流阻的影响, 不能有效地把高真空级排出的气体完全抽吸, 导致气体返流增加, 则就不能保证高真空级的抽速, 因此高、低真空级之间的流导直接影响到高真空时泵的抽速大小。

我们做了一个对比, 一台2XZ24型泵, 由于高、低真空级之间通道的流导不足,2Pa时抽速只有1.3L/s, 抽气效率只有30%。适当增加它的通道截面积, 就提高到2L/s, 再增加通道截面积, 就达到2.56L/s, 抽气效率提高到59%, 这就充分说明, 增加高、低真空级之间通道的流导对于提高泵(实际是高真空级) 的抽速是极其重要的。

3、泵温对真空度的影响

在盛夏季节, 尤其是在通风条件不良的工作场所, 对4～8L/s 这样的直联泵, 泵温都比较高, 这将导致泵油的热分解加速, 产生的轻馏份增加,油蒸汽增加⋯⋯, 这些都对泵的真空度有较大影响, 为了降低泵温可以设计一风扇, 安装在联轴器上, 这风扇看起来不大, 但作用却不小, 可以使泵温下降5～7℃,它的作用在于风扇吹破了泵周围的热空气屏障包围层, 使热交换能顺利进行。

4、高真空级排出口应高于低真空级的吸入口

使高真空级排出的油能顺利流入低真空级。否则在二级之间的通道内有可能产生油堵, 从而影响泵的极限压力和抽速。

5、降低排气速度, 有利于泵抽速的提高

我们检测了许多直联泵, 发现普遍存在1.5 ×103Pa 时抽速小于6.7 ×102Pa (甚至3.3 ×102Pa ) 时抽速, 这主要是由于排气阻力过大所造成, 适当降低排气速度, 这种现象就消失了。

(1)真空泵温太高，1.被抽气体温度过高。应让气体冷却后再进入真空泵内，2.吸入硬物使真空泵体磨损。应拆开真空泵除去硬物，对划伤部件进行修复或更换，3.真空泵冷却水流最不够。应加大冷却水流量，4.装配不当，使转子轴心位移，造成单面磨损。应拆开检查并重新装配。

(2)真空泵油有问题，1.油位过低。应加足油量到油标中心线，2.油被沾污，油质变坏。应更换新油，3.油的牌号不符。应换规定牌号的真空泵油，4.油路不通，真空泵腔内没有保持适当的油量。应检查油路及油阀的进油量，保持油路畅通。

(3)真空泵本身漏气：1.密封圈漏气。应检查所有密封部位的密封情况，更换破损的密封圈，2.气镇阀垫圈损坏：或未拧紧。应更换垫圈并拧紧气镇阀；3.排气阀片损坏，密封不好。应更换气阀片；4.真空泵中隔板压入时过盈量太大，造成真空泵腔变形而漏气。应修整真空泵腔或更换，5.由于真空泵的端面油密封不良造成漏气。应拆开端盖，检查是否有杂物或不平整，并进行清洗或修理。

(4)转子弹簧变形或折断及旋片动作不灵。应整修或更换弹簧变形，使转子积旋片配合良好，

(5)进气口的过滤网被堵塞。应取下过滤网清洗干净，再装上去，

(6)因加工不良或磨损造成配合间隙过大。应检查真空泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，投规定的精度要求进行修复或更换。

(7)真空泵运转中摩擦发热.温升太高，使真空泵油变稀，密封性变差。应通冷却水或用电风扇降温，同时，检查有关部件配合间隙并按规定精度要求进行修理或更换。