真空泵的主要参数有哪些
1、真空泵的极限压强
泵的极限压强单位是Pa，是指泵 在入口处装有标准试验罩 并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。
2、真空泵的抽气速率
泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试 验罩，并按规定条件工作时，从试验罩 流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。
3、真空泵的抽气量
真空泵的抽气量 单位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的气体流量。
4、真空泵的起动压强
真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用 时的压强。
5、真空泵的前级压强
真空泵的前级压强 单位是Pa，它是指排气压强 低于一个大气压的真空泵的出口压强。
6、真空泵的最大前级压强
真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了 能使泵损坏 的前级压强。
7、真空泵的最大工作压强
真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量 的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。
8、真空泵的压缩比
压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。
9、真空泵的何氏系数
泵抽气通道面积上的实际抽速 与该处按分子泻流计算的理论抽速 之比。
10、真空泵的抽速系数
泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。
11、真空泵的返流率
泵的返流率 单位是g/cm2.s。它是指 泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流。
12、水蒸气允许量
水蒸气 的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵 在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。
13、最大允许水蒸气入口压强
最大允许水蒸气入口压强 单位是Pa。它是指 在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。
扩展资料
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即变容真空泵和动量传输泵。
变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。
动量传输泵依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。
变容真空泵又分为：往复式，旋转式（旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式），其它型式。
参考资料来源：百度百科-真空泵
罗茨真空泵的压缩比受到两方面的不利影响：
1.回流到活塞和壳体之间的间隙
2.通过活塞表面吸附而沉积在出口侧并在转向吸入侧后又重新解吸的气体。在出口压力为 10-2 至 1 hPa 的情况下，分子流在密封间隙中占主导地位，由于其低电导率，这导致少量回流。然而真空泵厂家雅之雷德发现，通过吸附被吸回的气体体积，这与泵送的气体体积相比相对较高，降低了压缩比。
(1)抽气速率一系指单位时间内真空泵在残余压力下从进气管吸入的气体容积，即好凯德真空泵的生产能力(或称流世V)，以m³或L/s表示。
(2)残余压力或称极限真空度一系指该泵所能达到的最低压力(绝对)。
雅之雷德用一定的进口真空泵抽吸某一密闭容器中的气体，无论抽吸的时间有多久，容器中的压力是不能无限地降低到零(即绝对真空)的。这是因为当进气压力低于某一值后，或是由于泵中液体发生汽化，或是由于高压侧漏回的气盘与真空泵的抽气胜相同.或是由于好凯德真空泵的压缩比过高，容积系数降低为零.都会使泵无法继续吸入新鲜气体。在这种情况下，容器中的压力再也不会降低了。此时的绝对压力值称为残余压力或极限真空度。
2、漏率。漏率是属于多级罗茨真空泵自身的性能影响因素，与前级泵无关，也基本上不受温度的影响。
3、零流量压缩比。零流量压缩比是非耀罗茨真空泵有关抽气性能的非常重要的特征性能指标，它与泵相互转动零部件之间的间隙有关，也与转速和气体种类有关，也是属于罗茨真空泵自身决定性能的因素的一种。
4、容许压差。此项是考核多级罗茨真空泵运转可靠性的特征性能指标。它与泵相互转动零部件之间的间隙有关，也与转速有关。如要以此作为提升罗茨真空泵性能的条件，相互转动零部件之间的间隙以大为好，转速也以低为好。
该式中，ΔTF是温升(oF)，γ是压缩比，TRF是温升系数，EV是容积效率。
罗茨真空泵(简称:罗茨泵)是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵 。
罗茨真空泵不能单独使用，必须配上前级泵组成机组，使用前级真空泵是为了降低罗茨真空泵的排出压力，由于罗茨真空泵的压缩比是有限的，所以选择前级真空泵的抽速是重要的，罗茨真空泵的最大压缩比是随排出压力而变化的，在高排出压力下，最大压缩比最多大3：1，而最高压缩比是在排出压力为1到10mbar之间(1 mbar=0.75Torr)可达50:1，甚至更高些。
因此，雅之雷德提醒：选择前级泵的抽速，要根据罗茨真空泵的长期工作压力范围考虑。
例如有一系统用罗茨真空泵机组抽气，要求在1 mbar入口压力时有600升/秒的抽速，并长期工作，问应选择多大抽速的前级泵。
先假定用30升/秒的前级泵时，压缩比K=600：30=20得出K=20时最大排出压力为30 mbar。
由此得出，当选用30升/秒前级泵时，在入口压力低于1.5 mbar以下工作是可行的，但高于1.5 mbar入口压力工作时就选用大一些前级泵了。该例中，工作真空度1 mbar低于1.5 mbar，所以30升/秒的前级泵可以满足上述真空系统的抽气要求。
另外应当考虑的是，对预抽时间的要求问题，如果正常工作时间远比预抽时间长，可选较小的前级泵假如真空室较大，而且要求很快预抽，就要用较大的前级泵，有时为了更好发挥设备的效率，机组装有较大的预抽泵，在正常工作后停掉它，而用较小的前级泵维持，这样做是为了节约功率。
对罗茨真空泵机组的极限压力的要求，也是选择前级泵的必须考虑的，对极限真空度要求较高(达1X10-3Pa～1X10-2 Pa压力)一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵。极限真空度要求在(1X10-2 Pa～1X10-1Pa)之间可选用单级油封机械泵作为前级泵，极限真空度要求在133～1333Pa之间可选用往复式真空泵或液环式真空泵作为前级泵。
当选用往复式或液环式粗真空泵作为罗茨真空泵的前级泵时，前级泵的抽速一般为罗茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否则将使压缩比过大，造成罗茨真空泵的排气温度高而不能正常工作。
选用前级泵时还必须考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质，是否含有可凝性气体，是大量的还是微量的。如果含有腐蚀性气体，就不能选用油封机械泵，油封机械泵还不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的气体，否则将会使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时，也必须采用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。
为了获得在低入口压力(1~100pa)时的高的抽气速率，可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级机组，此时罗茨真空泵之间的抽速比一般在2~5之间。
