什么是罗茨干式真空泵

螺杆式无油干式机械真空泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内（柱形等螺距）进行传输运动，但无压缩，只有螺杆最末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境（如抽除含粉尘气体等）等。该泵与罗茨真空泵一样不设排气阀。泵是立式结构，进气口在上方，排气口在中部，下部为电机和润滑油池。螺杆转子呈中空形，为悬臂支承结构。同步传动齿轮位于轴承支座下面。变频电机通过联轴节与主动转子连接。该泵的气体路径较短，且立式结构对排除含微尘气体较为有利。泵外壳有水冷却，泵维修也便利。这种类型的泵如果选用适当的较简单螺杆牙型截面，则制造简单，可保证很高的加工精度，且容易动平衡。

干式罗茨真空泵是相对于湿式罗茨真空泵来说，因为干式罗茨真空泵无法直排大气，须配备前级泵，但真空度较湿式要高；而湿式罗茨真空泵为了能直排大气，加大了转子间隙，同时配备水冷或气冷，但牺牲了真空度。

国外的螺杆泵起步比较早，技术上相对成熟点，但是国内的螺杆泵也研发了很多年了 ，目前技术上面已经与进口泵很接近了。如果不是太追求品牌，追求进口产品的话，还是用国内的比较实在，使用。首先，价格上要比国外的便宜很多，将近3倍多的价钱。第二，售后服务方面，我想大家都应该知道的，进口泵的上门费、修理费、更换配件都是非常昂贵的。第三，现在国内的泵的技术也挺不错的，我们厂以前用的德国普旭的干泵，后来修理、更换配件等等都太不方便、价格太高了，后来别人推荐上海高鹏真空的泵，用起来也蛮好的，

以上是我个人对国内、国外干泵的认识和了解，希望能帮到LZ！！！

罗茨真空泵安装

（1）、罗茨真空泵应安装在干燥、通风良好和清洁的场所。

(2)、罗茨真空泵的环境温度为5-40℃。

（3）、罗茨真空泵应水平安装，其周围应留有充分的余地，便于日常检查、维护保养。装拆方便。

（4）、接通电源后，电机转向应符合泵上转向箭头所示。

（5）、连接被抽容器的管道应清洁.无杂质等异物，孔径不应小于泵口口径，长度宜短，以保证其有足够的通导能力，管道连接应密封不漏。

（6）被抽气体应无颗粒状固体进入泵腔。

（7）、罗茨真空泵与前级泵连接应装弹性管以减少前级泵引起的震动。

（8）、电气设备必须有互锁保护装置，当前级泵停止工作时罗茨泵必须同时停止。

（9）、小泵可以直接启动，大泵须设启动器。

罗茨真空泵使用说明：

新泵就位后先查看油位，齿轮侧油位以油面浸没3-5齿为宜，电机侧以油窗中心略高为宜，轴伸上油杯不应缺油，各部位润滑油均采用1号真空泵油。

螺杆真空泵特点：

1、结构简单紧凑。

2、干式运行，溶酶回收更容易。无需任何工作介质，因此无油污染、无污水排放，节能减排效果显著 。

3、真空度高，单台螺杆真空泵可代替三级罗茨泵水环真空机组

4、噪音低。

5、适宜抽可凝性气体、含粉尘的气体。

6、从大气抽至极限压力5Pa，只需一台单泵就能解决。

我们有JZJS机组，罗茨+水环的。以罗茨泵为主泵，水环泵为前级泵的真空获得设备。全套机组由罗茨泵，水环泵，汽水分离器，电控箱等组成。性价比很高的。北京华诚浩达真空，，，空压，，设备，，有限，，公司。

罗茨真空机组是由罗茨真空泵和前级泵串联组成的真空机组。一般抽真空极限可达到真空度2帕到0.02帕。

罗茨真空机组正确开启方法：将机组连接到被抽容器上后，开启罗茨真空机组冷却水，开启前级泵，然后缓慢打开主阀（一般就是罗茨真空泵的入口阀），这时罗茨泵开始跟转，待容器真空抽到1000到500帕时（简单的判断方法：罗茨泵不跟转了），开启罗茨泵，直到你所需要的真空度。

为何罗茨泵要待前级泵抽到一定真空后才能开启呢？因为罗茨泵的转速高，如果真空度低，泵转动时空气压缩会产生大量的热能，同时两个“8”字形转子转动主力大（主要因素），电动机的负载大，可能会烧坏电机。

以上手打

真空泵分类广泛，主要有WLW系列立式无油真空泵、W型往复式真空泵、2X,2XZ型旋片式真空泵、ZJ，ZJH型罗茨真空泵（ZJH型为专利产品）、2SK、SK型水环式真空泵、2BV、2BA型水环式真空泵、H、2H型滑阀真空泵、TLZ型真空泵、SL型罗茨鼓风机、JZJHX型罗茨旋片真空机组、JZJHS型罗茨水环真空机组、JZJHWLW型立式无油真空机组、JZJP型罗茨水喷射真空机组、JZJHBA型罗茨水环真空机组、RPP型水喷射真空泵、JZJH2H型罗茨滑阀式真空机组等型号。

无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。