普旭630真空泵参数

真空泵油首先您是需要国产的真空泵油，还是进口品牌的真空泵油，目前国产的比较出名的大概有100号{原1号}，150，200，250，还分a,n系列。

高级真空泵油的型号传统的一般有1号，而重新调整后的型号主要有46号、68号、100号、150号等。而最为常用的就是100号真空泵油。

真空泵油型号有（1号真空泵油）就是现在的100号真空泵油，150号真空油，高速真空泵油，68号真空泵油，真空泵油的型号不同，粘度也不同，真空泵油型号要看您用的是什么样的真空泵了。

国外的进口真空泵油就是您所用的真空泵的型号有指定的专用的真空泵油型号，如果用其他油品替代有可能达不到您的真空泵的最佳性能，在换油的同时，最好把您之前的不同的油清洗干净，以免给您的真空泵造成伤害！采购真空泵油也最好选择一家正规的专业的销售厂家，给您推荐合适的真空泵油，能更好的保证您的真空泵的运行。

豪可德真空科技销售进口真空泵油，型号如下：

莱宝真空泵油：GS77 N62 GS32 LVO100 LVO120 LVO130 LVO108 LVO210 LVO110

普旭真空泵油：VM100 VM68

贝克真空泵油：M-100

里其乐真空泵油：MULTI-LUBE100 MULTI-LUBE46 SUPER-LUBE100

爱德华真空泵油：UL19 UL20 UL70 UL15

普发真空泵泵油：P3

爱发科真空泵油：R-7 R-4

松村真空泵油MR-250A MR-250 MR-200 MR-100

以上资料由http://www.hokade.com/news/show-231.html

在带有吸气阀和排气阀的圆形泵体（定子）内，装有一个偏心转子和在转子槽中靠离心力运动的三片叶片，这些叶片将泵分成三部分，它们的容积随阗转子的转动，周期性地变化，完成气体的抽吸，压缩，排出过程，从而使抽吸口处的气体被抽吸，形成真空。

一、2X型旋片式真空泵（简称旋片泵）工作压强范围为101325~1.33×10-2（Pa）属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。

旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。

旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。

旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。

二、2X型旋片真空泵工作原理如下：

旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A 的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担，因而提高了极限真空度。

三、根据工作原理对真空泵进行分类

现分述如下：

(一)、气体传输泵(真空泵的工作原理)

气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：

1、变容真空泵

变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵。气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种：

⑴往复真空泵：是利用泵腔内活塞做往复运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。

⑵旋转真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入，压缩并排出。旋转真空泵又有如下几种型式：

①油封式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。按其结构特点分为如下五种型式。

a）旋片式真空泵：转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近，在转子槽内装有两个（或两个以上）旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，此旋片随转子一起旋转，可将泵腔分成几个可变容积。

b）滑阀式真空泵：在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而把泵腔分成两个可变容积。

c）定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上、下滑动将泵腔分成两个可变容积。

d）余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。

e）多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。

②干式真空泵：它是一种不用油类（或液体）密封的变容真空泵。

③液环式真空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体（通常为水或油）抛向泵壳形成泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小容积，故亦称旋转变容真空泵。

④罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子，转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变真空泵。机械增压泵即为这种型式的真空泵。

2、动量传输泵(真空泵的工作原理)

这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型。

⑴分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式：

①牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。

②涡轮分子泵：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。

③复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合式分子真空泵。

(2)喷射真空泵：它是利用文丘里（Venturi）效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞流和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种：

①液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。

②气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。

③蒸气喷射真空泵：以蒸气（水、油或汞等蒸气）作为工作介质的喷射真空泵。

(3)扩散泵：以低压高速蒸气流（油或汞等蒸气）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸气射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：

①自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵。

②分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸气压强较低的工作液蒸气进入高真空工作的喷嘴，而蒸气压强较高的工作液蒸气进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。

(4)扩散喷射泵：它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种型式。

(5)离子传输泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。

(二)、气体捕集泵(真空泵的工作原理)

这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。

1、吸附泵

它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。

2、吸气剂泵

它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种型式。

3、吸气剂离子泵

它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下几种型式。

(1)蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。

(2)溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。

4、低温泵

利用低温表面捕集气体的真空泵

南昌纵鹏机械设备有限公司专业销售维修爱德华真空泵干泵，我司公在真空泵维修方面有着丰富的经验。

Edwards iXH真空泵系统采用一系列具有高抽气速率的干式泵和增压泵以达到很好的压缩比，爱德华真空泵IXH3030T干泵维修从而实现高效率地抽取氢气。该系统为模块化设计，可灵活配置，因此易于满足各种太阳能和半导体制造工艺中的现场安装和性能要求。部件可以上下堆叠，从而达到业内最小的占地面积。各种型号的Edwards iXH真空泵可针对具体应用要求灵活配置，并且由单个控制器进行管理，对操作人员而言这是一种简单易用、可无缝集成的真空系统。

真空有限公司专业维修进口真空泵，爱德华真空泵IXH3030T干泵维修，公司拥有经过专门培训的维修工程师，具备专业和全面的真空泵维修知识和技能，多年来一直为光伏半导体太阳能行业客户维修各种进口真空泵，获得了业界客户和朋友的认可。

Edwards爱德华干泵维修真空泵IXH3030T干泵维修

我们及维修的真空泵，覆盖的品牌，维修品牌有：

法国阿尔卡特：Alcatel Adixen

英国爱德华： Edwards

德国莱宝： Oerlikon Leybold

普旭BUSCH

德国西赫：SIHIdry

贝克BECKER

科威尔KOWEL

里其乐RIETSCHLE

ALCATEL阿尔卡特系列真空泵：ADP122，ADS602 ，ADS602H, ADS602P, ADS1202，ADS1802等

Edwards爱德华系列真空泵：IXH100，IXH200H, IXH1210， IXH 1210H, IXH1220，IXH1220HT, IXH 1820， IXH1820H,IXH1820T, IXH3030，IXH3030T, IXH3045H, IXH4545H, IXH4545HT, IXH6045H, IXH6045HT,IXH450H, PXH4500HT, PXH6000， IXL500Q, IXL500R等等爱德华真空泵IXH3030T干泵维修。

Oerlikon Leybold 德国莱宝真空泵：SP630，SP630F, SV16，SV25，SV40，SV65，SV100，SV200，SV300，SV585，SV630，SV750，SV1200等等

BUSCH普旭真空泵：COBRA Semicon系列干式螺杆真空泵，COBRA Industry系列干式螺杆真空泵，

Panda/Puma系列罗茨泵 R5系列旋片泵 ，

COBRA Semicon系列干式螺杆真空泵包括：DS0080/0160G, DS0700-2000G, DS5161/9161A, DS0600E，DS2610/3910E, DS8162/8163A/E, BA0100C, BC0100F, BC0101F，BC1000/2000F, BC0100F Premium Efficiency,

COBRA Industry系列干式螺杆真空泵包括：BA 0100C, NX0450/0650A, NC0100-0300B, NC0400-1000B/C, NC2500B

Panda/Puma系列罗茨泵包括：WY0500C, WY0700/150B, WY2000/4500B, WV0250-1000C, WV1500-4500B/C,WP0250/0500D2/D4， WP1250-4500B2/D2, WPA080/A095A, WP0700/100DA/D4，WPA040-A075A

R5系列旋片泵包括：RA0010/0016C,RA0160-0302D, RA1000/1600B, RA0025/0040F, RA0165-0305D, RAH200/300A,RA0063/0100F, RA0400-0630C, RB0021C, RA0155A, RA0750A

贝克BECKER真空泵：VT4.4，VT4.8， VT4.10，VT4.16，VT4.25 ，VT4.40，KVT3.60，KVT3.80，KVT3.100，KVT3.140，VTLF200，VTLF250 ， VTLF360 ，VTLF400，VTLF500以及 2BV系列旋片真空泵

科威尔KOWEL真空泵：SS122， SS1200

里其乐RIETSCHLE真空泵：VWP系列罗茨泵，VSI系列螺杆真空泵

南昌专业注爱德华真空泵IXH3030T干泵维修及各类真空泵配件，并提供原厂真空泵维修保养服务！欢迎各界新老客户洽谈，我们将竭诚为您提供免费的技术指导与全套满意的维修服务支持。

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一、产生和优点

目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点。

干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选真空获得设备，日本在螺杆压缩机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究。螺杆泵的技术关键问题。中国的威海智德真空科技有限公司在2008年也将螺杆真空泵的生产进入批量化生产，在化工制药等行业得到很好的应用。

二、主要结构

传动轴连接主动转子，通过同步齿轮带动从动转子旋转，在壳体上开有冷却水通道，用来冷却转子和排气口温度，同步齿轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似，一般真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上，目前通用的是直连电机，用联轴器与转子连接，极少数用皮带或者传动链传动。 等螺距螺杆泵由于无内压缩过程，排气温度非常高，如冷却效果不好，会造成转子和机壳变形，影响抽气效果。冷却机壳是必不可少的一个环节，水冷是最常见的方法，在机壳本体、轴承外侧通冷却水，可以达到冷却壳体进而冷却转子的目的。

三、国内外生产公司概况

1、威海智德真空科技有限公司是中国最早研发干式螺杆真空泵的企业，从2004年起便开始进行型线与结构性能方面的研究。在2007年国内干式螺杆真空泵的市场基本被国外厂家占据的时候，公司投入大量资金将该产品转入批量化的生产，并得到国家的大力支持获得各类省级国家级科技奖项和资金。公司生产的GENT干式螺杆真空泵极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式/喷射式/水环式真空泵的更新换代产品，在国内各大制药和化工企业得到大量应用。针对不同工艺条件，其过流部件（即转子和泵体等与气体接触的部分）均有防腐涂层，包括镍磷涂层和PTFE两种。

2、德国莱宝公司在2002年底正式推出的SREWLINE系列螺杆式无油压缩真空泵是一种专门为工业应用(非半导体应用)设计的干式泵，它是一种全新的设计，是专门用来解决工业应用中艰苦的真空问题，如粉尘、焦油等。此泵也是采用变螺距转子，有内压缩过程，泵腔内无轴承和密封，大大降低了故障率，泵腔内没有内部阀门，因而耐粉尘和焦油能力强，此泵的螺杆采用内部中空冷却，可以降低转子温度和热变形，螺杆寿命长。

3、德国普旭公司的COBRAN系列螺杆泵，制程工艺最理想的真空泵，特别适用于化工和制药行业的各工艺流程。普旭是世界上最大的真空泵、鼓风机和压缩机的供应商之一，真空泵的质量较高，相比其他厂家，在欧洲市场占有率极高，价格偏贵。

4、德国里奇乐的VSA/VSB系列，VSA系为等螺距转子，市场评价较好，性能稳定。VSB系列是变螺距转子设计（非线型齿形设计），同其他几家一样，通过内压缩来改变泵的功耗和排气温度，不用两级压缩中间冷却，单级即可实现很高的真空度。在密封件上做了改进，静态密封元件优选Viton材料，在有特殊要求的情况下选择PTFE或者添加有PTFE的密封件。动态密封元件在真空泵吸入侧用双密封唇；真空泵排气侧用简单的带有防止气体外溢的密封圈，以防止固体物质进入泵内。