旋涡真空泵泵体有排气孔吗
旋涡真空泵泵体有排气孔。涡旋真空泵的工作腔是由一对型线共轭的涡旋盘副啮合安装组成。涡旋盘就是在盘面开有一个或几个渐开线螺旋槽的涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错组装在一起,动、静盘之间由防自转机构保证180°相位差,这样组成的一对涡旋盘副构成了无油涡旋真空泵的抽气机构。静涡旋盘与动涡旋盘彼此之间在几条直线(在横截面上是几个点)上接触形成几对月牙形封闭腔,动涡旋盘在曲轴的驱动下绕静涡旋盘的涡旋体中心运动,接触点沿涡旋曲面移动实现吸气、压缩与排气。在电机的带动下,曲轴每转一圈,就有一组新的月牙封成,从而实现涡旋真空泵的吸气、压缩、排气循环,对被抽气体形成包容和强制输送。
无油气泵是指气泵的活塞和气缸之间无润滑油,活塞环是特殊材料,一般用来泵送清洁的特殊气体 ,比如液化气,天燃气等。
无油气泵工作原理:
1、通过容积变化,在体积大的时候吸入空气,在体积变小时(压力变大)排出空气,容积变化是靠着活动的机械部件来实现的,要求有很小的间隙并且有很高的精度,比如爪泵。
2、依靠非常高的机械动转速度,将空气分子定向撞击而携带走,如分子泵。三是低温泵,在接近绝对零度的冷面上,几乎所有的空气分子都被冷冻捕集在表面。
无油气泵最大的优点是不返油,对被抽空间没有油蒸汽污染,不喷油,没有油蒸汽从泵口排出,不污染环境。
属于环保类产品,因此发展前景很好,被称为二十一世纪“绿色真空泵”。无油真空泵又称干式泵,主要包括旋片式、活塞式、螺杆式、涡旋式、涡轮式、爪型泵等等。
扩展资料:
无油真空泵日常使用和维护时,需要注意以下事项:
1、应具有充分良好的通风条件及低于40℃的环境温度。
2、无灰尘及脏物的清洁场所。
3、无水、油等液体会降落到泵上。
4、不直接暴露在阳光里。
5、有足够的周围空间能便于泵的检查,维护和装拆。
6、泵必须安装在平坦的平面上。
7、最好将泵放在类似混凝土坚硬的地基上安装,如果没有条件,也可将泵牢固地安装在钢制或木制的机架上。
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。近年来,干式机械真空泵得到迅速的发展,国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作,如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前,干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等,这类泵的速度较低,适用于小容量高压缩比(单级压缩比)。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等,其速度较高,适用大容量,低压缩比(指单级压缩比)。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。
无油式真空泵有更多种,其中就包含无油式旋片真空泵。
总之,这些真空泵都不是真正意义上的无油,真空无油的是水环式、射流式、蒸汽喷射式等等!
分都没有,下次不回答了!