真空泵真空系统有哪些部件组成

不知道你说的是不是工作原理呢。

W3往复式真空泵的工作原理：往复式真空泵的主要部件是气缸1及在其中作往复直线运动的活塞2，活塞的驱动是用曲柄连杆机构3（包括十字头）来完成的。除上述主要部件外还有排气阀4和吸气阀5等重要部件，以及机座、曲轴箱、动密封和静密封等辅助部件。

运转时，在电动机的驱动下，通过曲柄连杆机构的作用（旋转运动转变成直线运动），使气缸内的活塞作往复运动。当活塞在气缸内从左端向右端运动时，由于气缸的左腔体积不断增大，左腔空间的压强不断的降低，当左腔空间内的压强低于被抽容器内的压强，根据气体压强平衡的原理，被抽容器内的气体经过吸气阀5不断地被抽进左腔，此时正处于吸气过程。 当活塞达到最右位置时，气缸左腔内就充满了气体。接着活塞从右端向左端运动，此时吸气阀5自动关闭。气体随着活塞从右往左运动而逐渐被压缩。当气缸内的气体达到排气压力时，此时排气阀4被打开，气体被排出，完成了一个工作循环。当活塞在从左端向右端运动时，重复上述循环，直到被抽容器达到某一平衡压力为止。

1、好凯德真空泵的气阀阀片的运动规律

以进口往复真空泵的进气阀为例, 讨论气阀阀片的运动规律。当活塞运行到一定位置时, 气阀阀片两侧的气体压力差超过气阀弹簧力, 阀片开始启动直到与升程限制器相撞, 此时阀片产生一个轻微反弹, 然后阀片在气流顶推下, 再次改变方向, 回到升程限制器上, 并保持一段时间, 直到活塞接近止点位置时运动速度下降, 气缸内外气体压力差下降, 阀弹簧力超过气流对阀片的顶推力时, 阀片断开始关闭, 直到最后落到阀座上关闭。如果设计时气阀的主要参数选择不合理, 或者运转工况远离了设计工况, 此时会出现阀弹簧力过大或过小现象。前者造成阀片颤振, 后者造成阀片延迟关闭, 这样不仅影响真空泵的经济性, 还会大大降低气阀的寿命。

2、好凯德真空泵的气阀阀片运动规律的数学模型及其解

为了设计出阀片运动规律合理的气阀, 首先建立真空泵气阀阀片运动规律的数学模型。实际的进排气过程是相当复杂的, 为此先作适当的简化。

2.1 进排气过程时间很短, 可视为绝热过程

2.2 气体状态一般小于常压, 压力较小, 可视为理想气体, 比热为定值

2.3 阀室内无压力脉动

2.4 阀片只作单自由度的平动, 且多环时各环运动是同步的

ZJ型罗茨真空泵是一种旋转式变容真空泵，须有前级泵配合方可使用，在较宽的压力范围内有较大的抽速，对被抽除气体中含有水蒸汽等不敏感，可获得高真空。

W3为往复式真空泵(简称往复泵) 又名活塞式真空泵,属于低真空获得设备,为单级抽气，极限压力2000Pa(15托)。

罗茨真空泵主要由一对同步高速旋转的“8”字形转子与两个半圆形的泵腔组成。该泵不能单独排气，必须与前级泵（如滑阀泵、旋片泵、水环泵、油环泵等）串联使用。泵的极限压力由前级泵决定，对小量灰尘不敏感。

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一、设备安装

1、工作环境的选择应按下面的要求选择工作环境

（1）工作室应保持清洁、干燥、通风；

（2）仪器应放置在水平、平稳的工作台或地面上；

（3）不得在具有爆炸性危险的区域，高湿度或高粉尘的环境中使用仪器；

（4）环境温度 5℃-40℃，相对温度不大于 85%。

2、安装

（1）拆箱后，除去一切包装，检查仪器在运输过程中是否损坏；

（2）按规定接上三相电源线。

二、设备使用

负压：

（1）将过滤装置或所需抽真空的装置与真空泵紧密连接，保证系统具有良好的气密性。可在真空泵的抽气口和过滤器的出气口表面涂上酒精等润滑剂以便于连接胶管

（2）按下电源开关，观察泵的运转情况，这时应有正常的运转声。用手轻触后面抽气口，应感觉有吸气效果。堵住时观察压力表的指示，达到指标为正常。

（3）过滤完毕，关闭电源

正压：

（1）将需要增压的装置与真空泵紧密连接，保证系统具有良好的气密性。可在真空泵的充气口和增压装置的进气口表面涂上酒精等润滑剂以便于连接胶管

（2）按下电源开关，观察泵的运转情况，这时应有正常的运转声。用手轻触后面充气口，应感觉有吹气效果。

（3）增压完毕，关闭电源

三、维护保养

1、长时间使用胶管会出现污染老化现象需要及时清洗或更换胶管。

2、清洁仪器时勿使用液体清洁剂或喷雾清洁剂，使用略湿的抹布清洁即可。

凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵，称为机械真空泵。

机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下：  

一、变容真空泵

它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。  

1、往复式真空泵 ：利用泵腔内活塞往复运动，将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。

2、旋转式真空泵 ： 利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。它大致有如下几种分类：  

1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙，减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。

2)液环真空泵 将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时，把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油，所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。

3)干式真空泵 它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体，因此，适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。

4)罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。

二、动量传输泵 

它依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。这类泵可分为以下几种形式：

1、分子真空泵 ：它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为：

1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。  

2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。 

3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。

按其工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。

一、气体输送泵包括：1、液环真空泵（水环式真空泵）2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等

二、气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。