ZJ-300罗茨真空泵设计主要参数

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设备说明：

JIL-1000型真空镀膜机是立式单开门非平衡磁控反应溅射镀膜机。此设备所沉积的膜层在致密度、均匀度、纯度、硬度等方面均有提高。广泛应用于手表、眼镜、通讯、电子、机械、装饰和交通航空等领域的高档装饰和功能性薄膜。

设备特点

本真空镀膜机镀膜室、阀门、管道均采用不锈钢制造，立式、单开门结构；

1、沉积速率快，温升小，能较好抑制打火及靶中毒现象；

2、溅射释放的高能量使膜层密度和附着力有显著提高；

3、触摸屏+PLC,可实现全自动控制，自动/手动随时切换；

4、镀膜室容积大，装载量大，生产效率高。

5、工件架采用公转结构，可设置自动正反转，产品均匀性好。

6、整机配置合理，抽气速率快，噪声小，耗能低。

7、可根据客户要求配多套靶源

主要技术参数：

●极限真空 5.0 X 10-4Pa

●抽气时间 2 X 10-2Pa≤8min(空载)

●镀制硬膜、黑膜 （膜厚1μm）制程时间大约60分钟左右每炉。

●工件转速1-15r/min连续可调。

●沉积速率 Ti≥500nm/min

●功率 总功率约80KW

●耗 水 量 35m3/h

●设备毛重3500Kg,设备尺寸约5 X 6 X2.3m

设备配置：

镀膜室

真空室结构

不锈钢制造，立式，单开门

真空室规格

Φ1000 X 1000mm

工件架

Φ800 X 850 mm

抽气系统（普通配置）

机械泵 2X-70，罗茨真空泵ZJ-300，油扩散泵KC-500，维持泵2X-8

充气系统

多路质量流量控制仪供气，配备有SMC隔断阀、流量计显示仪

溅射电源

中频溅射电源

可配多套

脉冲偏压电源

1套

电控

触摸屏+PLC，自主设计控制方式镀膜工艺可存储、更换

靶

平面靶4套，90 X 770

根据中华人民共和国机械行业标准JB/T7673-95的规定，国产各种真空泵是由基本型号和辅助型两部分组成，两者中间为一横线。其表达型式为123—456。格中数字123表示基本型号，456表示辅助型号。

国产真空泵的型号通常以表3-2中的汉语拼音字母来表示。若在拼音字母前冠以“2”字，则表示泵在结构上为双级泵。

某些真空泵系列对其抽气速率则以几何级数来分档。其单位是“L/S”。共分18个等级，分别为0.2，0.5，1，2，4，8，15，30，70，150，300，600，1200，2500，5000，10000，20000，40000。真空泵系列有时也可用泵的入口尺寸来表示，其单位是“mm”。由于泵的种类较多，选用时应参阅不同生产厂家的产品说明书式样本，是很重要的。

表3-2 常用真空泵的汉语拼音代号及名称

代 号 名 称 代 号 名 称

W 往复真空泵 Z 油扩散喷射泵（油增压泵）

D 定片真空泵 S 升华泵

X 旋片真空泵 LF 复合式离子泵

H 滑阀真空泵 GL 锆铝吸气剂泵

ZJ 罗茨真空泵（机械增压泵） DZ 制冷机低温泵

YZ 余摆线真空泵 DG 灌注式低温泵

L 溅射离子泵 IF 分子筛吸附泵

XD 单级多旋片式真空泵 SZ 水环泵

F 分子泵 PS 水喷射泵

K 油扩散真空泵 P 水蒸气喷射泵

ZJ为罗茨真空泵，又叫机械增压泵，Z是zeng的缩写，表示为“增”压；J是ji的缩写，表示“机"械。

“罗茨油泵”，这个泵我没听说过，不过有一个泵和你这个泵类似叫“油增压泵”，不知道是不是上述饿那个泵。

这种泵一般是竖直站立型，体积较大，内部加注的是增压泵油，下面有电炉加温，通过真空油的油气分子冷热循环带动增加抽速。

再注明一下：增压泵是大类——分罗茨泵和油增压泵两种