icp设备真空泵损坏

平时常用，ICP都不用关机，只有寒假和暑假需要关一下。

有冷却循环水的，保持室温状态。如果长期不用（比如1-2个月），建议把水排掉。

1、等离子体熄火2min后，一次关闭冷却循环水机和氩气阀门、排风开关，根据排风情况 做好防护措施，避免雨水、冷凝水等沿排风落下进入主机；

2、通过软件-“仪器”-“真空泵”关闭真空泵（电脑软件上操作），等待真空系统完全停止后，然后松开真空泵上端分子筛处的放气旋钮，让真空泵卸到常压。

3、妥善处理仪器周边样品、校平器中废液即废液瓶中废液等。

4、把激发台里的所有玻璃器皿（雾室、矩管等）拆下来，5-10%的稀硝酸浸泡备用，来年开学的时候用纯水冲干净，烘干后就备用。

SF6抽真空充气回收净化装置具有回收、充放电、净化、抽真空、储存、灌装等综合功能。

SF6气体回收装置的维护保养方法

1、SF6气体回收装置及周围环境应经常保持清洁。

2、SF6气体回收装置由多种机器和仪器组成。运输过程中应避免颠簸、碰撞和倾斜，以确保设备的可靠使用。

3、SF6气体回收装置出厂前已经过密封性测试。由于各种因素，请在运行相当一段时间后定期进行密封性检查。

4、SF6气体回收装置真空泵

每次开机检查油位，油位应在油位的2/3以内。

定期检查真空泵；排气阀可在首次使用 500 小时后进行检查。使用 2000 小时后进行泵大修。真空泵的油需要及时更换，新油的更换要越来越频繁。真空泵的使用寿命越长，所能达到的极限真空度就越高。

如果真空泵有异常排气声和油位波动，检查排气阀板是否松动、老化或损坏，阀座垫片是否完好，清除油箱内的杂物、脏油和沉积物。以免因大量油液产生附加压力，造成转子、旋片和泵体损坏。

5、SF6气体回收装置SF6压缩机

启动机器前和运行过程中应检查油位。操作时，右侧高度在油位计1/2的上端，不得低于油位计的“低位线”。如果油位下降，请正确加油。

压缩机工作6000小时，需要大修。

6、SF6气体回收机组制冷机组

压缩机保养同上

经常检查压力表，看高低压是否在规定范围内。

注意各连接部位是否有泄漏或渗油现象。渗油部分往往是泄漏部分。如出现上述现象，请停机检查并及时处理。

首先确定你们是什么类型的真空泵,以单级油泵为例:

1,检查油位,避免缺油运行,一般一个月左右更换一次润滑油.

2,检查泵浦表面洁净度,表面干净,泵浦散热好.

3,观察排气口,如排气口有油烟,需要更换排气滤芯.

4,一年左右做一次基本保养!

5,三年到五年做一次大保养!

4A分子筛：由于4A分子筛的有效孔径为0.4nm,故称为4A分子筛，可吸附水、甲醇、乙醇、硫化氢、二氧化硫、二氧化碳、乙烯、丙烯等低分子化合物，不吸附直径大于4A的任何分子（包括丙烷），对水的选择吸附性能高于任何其他分子，是工业上用量最大的分子筛品种之一。110°C对于大空间的水分蒸发是可以的，但不可能将分子筛细孔中的水赶出来。因此，在实验室一般用马福炉烘干即可活化脱水，温度为350°C，在常压下烘干8小时（如果有真空泵, 可在150°C抽气情况下干燥5小时即可）。活化后的分子筛在空气中冷至200°C左右（约2分钟），立即保存于干燥器中。如果有条件，冷却以及保存过程中应用干燥的氮气保护, 防止空气中水汽再被吸附。使用后的旧分子筛有污染物，活化时不仅要高达450°C的温度，而且还要通入水蒸气或惰气（氮气等）把分子筛中的其他物质替代出来。分子筛忌油和液态水。使用时应尽量避免与油及液态水接触。