罗茨真空泵为什么装前置泵

一、特点不同

1、双级真空泵特点：前级泵转子上的叶片槽采用了斜叶片槽，相邻两片叶片（转子和泵体）形成的最大封闭工作空间增大，提高了抽真空速度。前真空泵后，后真空泵串联。前真空泵内有害空间气体被后真空泵迅速吸入，提高抽气的极限真空度。

2、单级真空泵特点：吸气口安装有金属丝网的粗过滤器。它可以防止固体颗粒被吸入泵室。油分离器配有一个高效的油气分离排气转换开关。当泵停止时，吸入口内的吸入阀将泵与泵送系统隔离，并防止真空泵油返回泵送系统。泵由空气冷却。

二、适用范围不同

1、双级真空泵：

（1）2X真空泵是抽气的基本设备之一。可单独使用或与增压泵、扩散泵、分子泵等超高真空泵连接使用。广泛应用于电子器件制造、真空干燥、过滤、浸渍、涂层、焊接、熔炼及实验室设备。

（2）2X真空泵允许在5-40环境温度范围内长时间工作，入口压力小于10支焊枪。当抽出气体的相对温度大于90%时，应打开空气压载阀。

（3）2X真空泵的进油口不应连续工作超过3分钟。

（4）2X真空泵不适用于抽取腐蚀金属、与泵油发生化学反应、含有微粒粉尘、含有过量氧气、爆炸性气体和有毒气体的气体。

2、单级真空泵：

（1）XD旋片式真空泵适用于闭式系统的真空抽运。如真空包装、真空成型、真空吸引等。

（2）入口压力范围：100Pa~100000 Pa，超出此范围工作真空泵排气口将有油雾产生。XD型旋片式真空泵工作环境温度和吸入气体温度应在5℃~40℃之间。

（3）XD旋片式真空泵不能泵水或其他液体。不得清除爆炸性、易燃性、过量氧气和腐蚀性气体。

（4）通常提供的电机不防爆。如果需要防爆或其他特殊要求，电机必须符合相关标准。

扩展资料：

双级真空泵工作性能由高压级与低压级二部分组成，真空泵的吸入口与真空容器或真空设备连接。在操作过程中，容器内的气体将被大量吸入和排出。当设备处于真空状态时，关闭高压排气阀片，高压级吸入的气体被转移到第二级，然后由第二级吸入和排出，使真空设备获得一定的真空。

根据用户使用情况，可配置真空增压泵，作为前置泵。由于前置泵的泵送力增强，前置泵不断抽气，使设备获得更高的真空度。

参考资料来源：百度百科-双级真空泵

参考资料来源：百度百科-单级旋片式真空泵

前级泵可以理解为机械泵。本身可以使用，但抽气速率或者真空度满足不了使用要求，这种情况下我们加一个增压泵。

主泵可以理解为增压泵，用来提高机械泵的真空度跟抽气量。像罗茨泵，扩散泵，分子泵等。这些本身不能使用（压差太大）所以需要机械泵预抽，将真空室内抽成粗真空，然后主泵开始工作。

运行过程中主要的抽气量 极限真空度是靠主泵来实现。所以我们叫它为主泵，起主要作用的泵。

前级泵就是在主泵运行之前需要提前开的泵，就叫前级泵，主泵之前的泵。辅助主泵运行的泵。

不明白的话看签名继续问。

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2二级泵达到的真空度要更低一些，来满足使用的条件，在大气状态下一般的泵很难达到所需要的真空度，所以一级泵后面要加二级泵，来完成从低真空到高真空的状态

3复真空泵:是利用泵腔内活塞做往复运动,将气体吸入、压缩并排出。因此,又称为活塞式真空泵

4要用前置泵是为了提高极限真空

5冷却水方向反了冷却效果不好，时间长电流升高设备温度升高。

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

原理是将扩散泵油加热至沸腾，气化的油雾通过喷油嘴向四周喷射，扩散泵的四周有冷却水管或者水套，将喷射的油雾冷却液化流下至泵的底部循环。如果上半部分热的话说明冷却不好，会向真空室返油，那就是不正常的现象了，说明冷却不好，原因可能是水压不够或者水管内有阻塞。

扩展资料：

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。

对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

在光学薄膜的尺度上看（也就是1/10波长作为单位，约为100A），真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。

溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld，组分均匀性容易保持，而原子尺度的厚度均匀性相对较差（因为是脉冲溅射），晶向（外沿）生长的控制也比较一般。

参考资料来源：百度百科--真空镀膜机

英音 ['fɔ:pʌmp] 

美音 ['fɔ:pʌmp] 

前置泵

预抽泵

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vacuum forepump 前置真空泵

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forepumping 前级抽气

forepump 前置泵预抽泵

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真空射流泵是利用高温蒸汽通过喷嘴射流造成真空，属于射流泵范畴，适用于大容积、快速抽真空。没用过这东西，需要蒸汽动力大。

泵是输送流体或使流体增压的机械。它将原动机的机械能或其他外部能量传送给液体，使液体能量增加。泵主要用来输送水、油、酸碱液、乳化液、悬乳液和液态金属等液体，也可输送液、气混合物及含悬浮固体物的液体。

泵通常可按工作原理分为容积式泵、动力式泵和其他类型泵三类。除按工作原理分类外，还可按其他方法分类和命名。

要从三个方面考虑罗茨真空泵的前级泵：

1、应考虑预抽时间的要求。

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2、应考虑对罗茨真空泵机组的极限压力的要求。

3、还应考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质，是否含有可凝性气体，是大量的还是微量的。

罗茨真空泵不能单独使用，必须配上前级泵组成机组，使用前级真空泵是为了降低罗茨真空泵的排出压力，由于罗茨真空泵的压缩比是有限的，所以选择前级真空泵的抽速是重要的，罗茨真空泵的最大压缩比是随排出压力而变化的，在高排出压力下，最大压缩比最多大3：1，而最高压缩比是在排出压力为1到10mbar之间(1 mbar=0.75Torr)可达50:1，甚至更高些。

因此，雅之雷德提醒：选择前级泵的抽速，要根据罗茨真空泵的长期工作压力范围考虑。

例如有一系统用罗茨真空泵机组抽气，要求在1 mbar入口压力时有600升/秒的抽速，并长期工作，问应选择多大抽速的前级泵。

先假定用30升/秒的前级泵时，压缩比K=600：30=20得出K=20时最大排出压力为30 mbar。

由此得出，当选用30升/秒前级泵时，在入口压力低于1.5 mbar以下工作是可行的，但高于1.5 mbar入口压力工作时就选用大一些前级泵了。该例中，工作真空度1 mbar低于1.5 mbar，所以30升/秒的前级泵可以满足上述真空系统的抽气要求。

另外应当考虑的是，对预抽时间的要求问题，如果正常工作时间远比预抽时间长，可选较小的前级泵假如真空室较大，而且要求很快预抽，就要用较大的前级泵，有时为了更好发挥设备的效率，机组装有较大的预抽泵，在正常工作后停掉它，而用较小的前级泵维持，这样做是为了节约功率。

对罗茨真空泵机组的极限压力的要求，也是选择前级泵的必须考虑的，对极限真空度要求较高(达1X10-3Pa～1X10-2 Pa压力)一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵。极限真空度要求在(1X10-2 Pa～1X10-1Pa)之间可选用单级油封机械泵作为前级泵，极限真空度要求在133～1333Pa之间可选用往复式真空泵或液环式真空泵作为前级泵。

当选用往复式或液环式粗真空泵作为罗茨真空泵的前级泵时，前级泵的抽速一般为罗茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否则将使压缩比过大，造成罗茨真空泵的排气温度高而不能正常工作。

选用前级泵时还必须考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质，是否含有可凝性气体，是大量的还是微量的。如果含有腐蚀性气体，就不能选用油封机械泵，油封机械泵还不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的气体，否则将会使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时，也必须采用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。

为了获得在低入口压力(1~100pa)时的高的抽气速率，可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级机组，此时罗茨真空泵之间的抽速比一般在2~5之间。