无油真空泵的原理及用途范围是什么

无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。

然后你得根据工况（介质温度、介质性质、工艺要求）来选择合适的真空泵。

没有一种真空泵是通吃天下的，只有最适合的真空泵，没有最好的真空泵。

无油真空泵，有很多种类，进口国产的都有，看你的预算了。

现在国内主要有曌越的爪泵、智德的螺杆泵，要是预算少，可以选隔膜泵（进口的会比较好，不过很多日货）之类的。看你需求了，具体可以咨询厂家，看看是不是适合。

1.实验室各种液体抽吸：主要包括培养基的废液抽吸、离心管上清液抽吸以及其他试验后残液的抽吸。这些用途应绝对避免泵油或水源倒吸，其中培养基废液吸取是在洁净室内操作更需要无污染的产品。所以采用无油原理设计的普诺克无油泵就是最佳选择。

2.真空干燥箱（或小型真空干燥器）：一般小型的真空干燥器容积都比较小，只是进行见到的脱水、干燥操作，可以使用隔膜真空泵搭配，机器小巧可以方便放于桌面，插电可用。

3.真空过滤（减压抽滤）：真空抽滤是需要将抽滤瓶内抽成真空状态，形成内外压差，从而使大气压推动滤液压过滤膜。通常来说真空过滤对于抽速和真空度要求并不高，无油式设计的真空泵可以完全满足。

4.搭配其他仪器设备作为气源：这一类应用情况更加多样，而且由于需要搭配其他设备，如果使用油泵或水泵可能对配套设备产生影响，一般建议使用隔膜真空泵或无油泵配套。

一、介绍

无油隔膜真空泵，广泛应用于过滤、样品浓缩、固相萃取等装置中，是实验室重要的 基础仪器，也是一种应用范围非常广泛获得真空的基本设备。

二、原理

将电机的圆周运动，通过机械装置使泵内部的隔膜做往复式运动，从而对固定容积的泵腔内的空气进行压缩、拉伸形成真空(负压)，在泵抽气口处与外界大气压产生压力差，在压力差的作用下，将气体压(吸)入泵腔，再从排气口排出。

三、特点

无油隔膜真空泵是一种无需任何油作润滑既能运转工作的机械真空泵。它具有结构简单、操作容易、提供完全洁净的真空环境，泵体本身无需保养，而且不会产生任何污染物等优点。

四、应用领域

用途：广泛应用于科研实验室，仪器仪表，化工分析，生物工程，自动控制，环保，水处理等众多领域，具体包括气体在线采样，要求长时间连续工作的场合。对密闭容器抽真空,气体循环,抽气,吸气等等。

1、腐蚀：真空泵腐蚀形态可分为全面腐蚀和局部腐蚀两大类，前者较均匀的发生在真空泵全部表面，后者只是发生在局部，如孔蚀、缝隙腐蚀、晶间腐蚀、应力腐蚀等。

维修保养技巧：采用高分子复合材料对真空泵实施表面有机涂层防腐，具有非常良好的耐化学性能及优异的力学性能和粘接性能，与传统的压力容器焊接修补相比，具有施工简便、成本低、安全性能和修复效果好的特点。

2、壳体裂纹破裂：真空泵因铸造、加工缺陷，内应力及超负荷运行等多种原因经常导致部件出现裂纹或断裂的现象。

维修保养技巧：常规修复方法是采用焊接，但有的零件材质是铸铁、铝合金、钛合金，难以做焊接处理。还有一些易发生爆炸的危险场合，更不易采用焊接修复方法。美嘉华技术是一种“冷焊”技术，可以避免热应力变形，同时材料具有良好的附着力和抗压、抗腐蚀等性能，可最大限度地满足各种设备部件的使用要求，从而在最低成本的投入下有效保证生产，安全、方便、可靠。

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3、抽不到真空泵的极限真空度：首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次应打开气镇，让泵运行30分钟左右,来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。

解决方法：更换旋片和弹簧，并清洗转子和泵腔；检查排气阀门，观看其动作是否失灵，导致排气不畅，必要时应更换排气阀门。

4、真空泵不能启动：主要表现为真空泵加电后不能启动运转。这时应首先检查真空泵的电路部分，如保险管是否烧毁、电路部分有没有元气件烧坏。在排除电路部分的故障后，应考虑以下两个因素：

(1)电机烧坏。主要为电机定子线圈烧毁，引起原因较多，如瞬间电流过大，电机轴承使用久了被磨损，致使轴承摩擦阻力变大，电机功率加大，引起温度上升，烧毁电机。这时应先检查电机轴承，再检查电机线圈。轴承损坏就更换轴承；电机线圈烧毁则应维修电机，重新绕制定子线圈。轴承和线圈损坏严重时，就需更换电机了。

(2)旋片卡阻。主要表现为旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大，致使电机无法带动旋片。原因是旋片变形，转子内的弹簧张开后不能复位，或弹簧压力和旋片自身离心力的合力过大，导致旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大。这时就应及时修复旋片和弹簧，若不能修复则应更换。

二、达不到需要的真空：

1.真空泵管泄露，检查管路，更换有问题的部件

2.管路上的放气阀或调气阀，调节错误，调整或更换新零件

3.排气过滤器堵塞，更换排气过滤器

4.进气、排气管路堵塞或直径太大、太小、太长，排除堵塞物或更换符合要求的 管道

泵启动无力：

1.电机缺相，检查每一相的电压

2.真空泵转向错误，改变转向

3.泵长期未使用，先封闭真空泵的进气口运转，使泵热起来.