爱德华真空泵EH2600的工作原理

自带。

爱德华真空泵自带气震器，真空泵因其高极限真空、高抽速、低运行噪音和水蒸汽处理能力而享有盛誉。这些直联式旋片泵设计紧凑且无振动。

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

  

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59020945

iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A59020946

iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相

A59020957

功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度    600 m3h-1  

353 cfm  

10000 l min-1  

极限真空    7 x 10-4 mbar  

5.3 x 10-4 Torr  

0.07 Pa  

典型轴封氮流量    4 slm  

进气口连接    ISO100  

出口连接    NW40  

15 psi 压降下典型冷却水流量    240 l h-1  

4 l min-1  

重量    415 kg  

极限功率输入    3.4 kW  

电机额定功率    6.1 kW  

油容量    1.43 l  

  

所有数字均为无气镇时的典型值。

 性能

尺寸

1    进气口  

2    出口  

3    抽风口  

4    变频器箱（仅限 iH1000）  

真空泵维修，问题1、真空泵不能启动：主要表现为真空泵加电后不能启动运转。这时应首先检查真空泵的电路部分，如保险管是否烧毁、电路部分有没有元气件烧坏。在排除电路部分的故障后，应考虑以下两个因素：

1、电机烧坏：主要为电机定子线圈烧毁，引起原因较多，如瞬间电流过大，电机轴承使用久了被磨损，致使轴承摩擦阻力变大，电机功率加大，引起温度上升，烧毁电机。这时应先检查电机轴承，再检查电机线圈。轴承损坏就更换轴承；电机线圈烧毁则应维修电机，重新绕制定子线圈。轴承和线圈损坏严重时，就需更换电机了。

2、旋片卡阻：主要表现为旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大，致使电机无法带动旋片。原因是旋片变形，转子内的弹簧张开后不能复位，或弹簧压力和旋片自身离心力的合力过大，导致旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大。这时就应及时修复旋片和弹簧，若不能修复则应更换。

真空泵维修，问题2、抽不到真空泵的极限真空度：首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次应打开气镇，让泵运行30分钟左右,来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。

在排除以上两个因素后，其他原因主要有：泵油污染，需要换油；泵内油过滤器堵塞，引起压缩注油系统油路不畅，供油不足，导致泵体密封不严，这时需要清洗内部油过滤器；配油器阀门变形、磨损或损坏也可导致供油不足，这时应检查更换配油器阀门；

长时间使用引起真空泵的旋片磨损或转子内的弹簧张力不足,，导致吸气室和排气室隔离不严，从而引起真空泵的抽真空性能下降，这时应当更换旋片和弹簧，并清洗转子和泵腔；检查排气阀门，观看其动作是否失灵，导致排气不畅，必要时应更换排气阀门。

真空泵维修，问题3、漏油：旋片式机械真空泵最常见的故障之一，主要发生在真空泵的油窗、油箱密封垫、电机轴承轴封三个位置上，其主要原因是真空泵使用时间过长而引起这些部位老化，密封失效，从而导致漏油。解决办法：更换老化的油窗、轴封、密封垫和已吸满泵油的毛毡垫，维修完成后，注油前应用爱德华真空泵泵油冲洗真空泵，并用溶剂清洗注油口处的滤网，以保持油箱的清洁

爱德华真空泵的使用和维护概述：真空泵是一种可变容积气体传输真空泵，工作压力范围为1.33x10-2~105帕。它可以单独使用或作为其它高真空泵的前级泵来泵出密封容器中的干燥气体，但是它不适合于泵出具有高氧含量、对金属的腐蚀性、与泵油的反应以及颗粒灰尘的气体。有两种类型：单级和双级。

该结构包括滤网、进气管、压板、排气阀片、旋转片、弹簧、转子、放油塞、油标、排气口、皮带轮、轴端密封和级间排气通道。它具有结构简单、运行可靠的特点，应用广泛。

一、爱德华真空泵工作原理和结构特点

1、工作原理：它是一种容积可变的真空泵，依靠插入偏心轮转子中的几个旋转板，可以滑动进出，隔离、压缩和排出泵体内的气体。

2、结构特点：该结构可分为两类：油封式和油浸式。泵体结构有三种类型：整体式、中壁压入式和组合式。转子结构有三种类型：整体式、压缩套筒式和转子盘式。排气阀是旋转叶片泵的主要易损部件之一，它影响泵的泵送性能并产生噪声。有两种形式：一是用橡胶垫作为阀板另一种是用布酚醛压板或弹簧钢片作为阀板，排气阀必须浸在泵油中。

爱德华真空泵的结构和维修知识

气镇阀：真空泵设计用于泵出可冷凝气体，由节流阀和止回阀组成。节流阀控制混合气体的量。当泵室内的气体压力高于混合气体压力时，止回阀防止回流。为了向泵中回油、喷油，改善泵的润滑条件，扩大泵的应用范围，旋转叶片泵还配有许多附件，如油雾捕集器、分子过滤器、尘粒过滤器、化学过滤器、滤油器等。

爱德华真空泵常见故障与消除方法：

1、真空度低：(1)油量不足。加油。

(2)泵油不清洁，乳化了。开气镇阀，换新油。

(3)泵油牌号不对。换油

(4)进油孔堵塞。清理进油孔，调节油量。

(5)漏气。检查轴封、排气阀、端盖等处，更换密封圈。

(6)排气阀片损坏。换新阀。

(7)由磨损造成间隙过大。检查间隙、修复。

(8)泵温升高，油的粘度过低。加大冷却水量。

(9)泵油气体温度过高。加气冷装置。

(10)端盖螺钉松紧不一，造成转子轴芯偏移。拆开重装。

(11)旋片弹簧断裂。换新弹簧。

(12)进气管过滤网堵塞。清洗。

(13)气镇阀未关好/损坏。关闭/修理。

(14)泵轮键断裂，轮空转。换键。

2、卡泵：

(1)端面间隙过小，泵油温升过高。研磨旋片，调整间隙。

(2)泵内进入杂物。清理。

(3)泵温升高。加强水冷。

(4)转子断裂。拆泵更换。

(5)泵腔生锈。洗锈。

3、噪声大：

(1)旋片弹簧断裂。换弹簧。

(2)装配零件松动。重装。

(3)零件有毛刺，装配有变形。重装、修磨、换件。

(4)电机轴无油。加润滑油。

4、漏油：

(1)轴孔、端盖、油标、油箱等部位密封件损坏或没压紧。换密封件，拧紧螺钉。

(2)油箱有漏孔。堵好漏孔。

5.启动困难：

(1)油温过低。加热到15℃以上。

(2)泵内润滑不好。调节油量。

(3)泵腔内未放气，大量油进入泵腔。停泵时放气。

6、喷油：

(1)系统突然暴露大气。关低真空阀，继续开阀。

(2)油量过多。调节油量。

(3)转子旋转方向反了。重接电源，换向。

7、不抽气：

(1)泵轮键断裂，转子不转。换新键。

(2)双级甏转子十字接头断了，高真空级不转。更换。

(3)没打开进气口阀。打开阀。

(4)排气阀片碎了。更换。

爱德华真空泵的维护很简单，节能控制意味着可以极大地延长大修保养间隔时间。如果您忘记了保养，直观的 Airlogic 集成界面会监控性能并在需要保养时进行提醒。智能设计极易维护和操作，缩短了执行全面检查和常规保养的时间。经常关注系统的保养需求可极大地延长大修间隔时段，并确保清洁高效运行。为保持佳性能，建议您始终使用原装 Edwards 零件。为此可提供品种齐全的备件和润滑油

气镇阀是好凯德旋片式真空泵为抽除可凝性气体而设置的通常，泵抽除的气体为永久性气体和可凝性气体的混合物.在压缩和排气的过程中.当可凝性气体的分压超过泵温对应的该气体饱和蒸气压时，可凝性气体会凝结并混于泵油中.随泵油循环，并在返回高真空侧时重新蒸发成蒸气。这会影响泵的抽气性能。加重泵油的污染程度.气镇阀或称掺气法可以有效地防止可凝性气体的凝结，即在压缩过程中将经过控制的永久性气体(通常为室温干操空气)由气镇孔掺入被压缩气体中，使可凝性气体分压未达到泵温对应的饱和蒸气压力之前，压缩气体的压力已经达到排气压力，排气阀打开.可凝性气体同永久气体一同被排出.油封式机械真空泵普遍装有气镇装置，因此也叫气镇泵。气镇阀(掺气阀)由节流阀和逆止阀两部分组成。节流阀控制掺人气体最，逆止阀防止泵腔内气体压力高于掺气压力时出现返流。气镇孔位置的设置一般有两种:一种是在泵排气口附近，当压缩腔与排气口相通时，开始掺气另一种是设置于端盖上，当吸气终了以后，转子再转过一个角度(10°~15°)时，露出气镇孔，开始掺气。在掺气过程中.泵的极限压力会上升，抽气速率会下降。如图1中虚线所示.在低压时，适当打开气镇阀.掺入少量气体，可以减少泵油冲击排气阀引起的噪声。高速直联泵在高的泵温(90℃~100℃)下运行，有利于可凝性气体的抽出。

为了防止泵喷油、返油.改善泵的润滑条件，扩大泵的使用范围，旋片泵还配有多种附件，如油雾捕集器、分子过滤器、尘粒过滤器、化学过滤器、油过滤器等。随着技术进步和工艺要求的提高，旋片泵的结构更趋完善，性能不断提高。