如何启动罗茨真空机组

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

原理是将扩散泵油加热至沸腾，气化的油雾通过喷油嘴向四周喷射，扩散泵的四周有冷却水管或者水套，将喷射的油雾冷却液化流下至泵的底部循环。如果上半部分热的话说明冷却不好，会向真空室返油，那就是不正常的现象了，说明冷却不好，原因可能是水压不够或者水管内有阻塞。

扩展资料：

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。

对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

在光学薄膜的尺度上看（也就是1/10波长作为单位，约为100A），真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。

溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld，组分均匀性容易保持，而原子尺度的厚度均匀性相对较差（因为是脉冲溅射），晶向（外沿）生长的控制也比较一般。

参考资料来源：百度百科--真空镀膜机

检查水冲泵（前级泵）水箱液位是否达到水箱的3/4以上，若不足则补足。检查水箱内所使用的水是否清洁，不允许用含有泥沙的污水，以免堵塞管路，罗茨真空泵增加水泵叶轮磨损、增大电机负荷造成故障，影响水冲泵使用寿命。检查中间泵及主泵泵体内的润滑油油面高度，必须达油窗的3/4以上。同时再检查润滑油的颜色，罗茨真空泵油出现乳白色或黑色杂质较多则通知机修更换润滑油。

检查罗茨真空泵中间泵及主泵循环冷却水水路是否完好。打开循环冷却水进出口阀门，检查循环冷却进出水是否正常。检查中间泵底部缓冲罐排污阀门是否关闭。检查真空泵机组电路完好及控制柜各项指示等是否正常。检查真空泵机组电极触点压力表中级泵、主泵启动压力是否正常（中级泵启动入口压力为0.065Mpa以上，主泵启动入口压力为0.085Mpa以上）。待以上事项检查完毕确认无误后方可启动真空机组。

罗茨真空泵真空机组启动

打开中间泵和主泵循环冷却水进出口阀门，确保循环冷却进出水正常。关闭水冲泵缓冲罐排污阀门，启动水冲泵，待运行正常（电机及泵发出噪声均衡）后，缓慢开启前级水冲泵旁通管道上的阀门和罗茨真空泵进气阀门。待系统压力达到中间泵设定的允许进口压力后，启动中间泵，如过采用自动控制挡，则直接拨到自动控制挡，机组的启动过程则实现自动化。如手动控制，当中间泵出口压力达到主泵允许进口压力后，启动主泵。

罗茨真空泵运转注意事项

真空机组在运转过程中声响应均匀，无杂音且运行中无不规则的异常震动。注意电动机负荷和泵的各部位温升情况，在正常情况下，罗茨真空泵泵的最高温升不得超过40℃，工作最高温度不得超过80℃。在工作中如发现有漏油时，应立即停止工作，泄压后进行检查、修理。罗茨真空泵不允许在发现漏油的现象之后，仍继续进行工作或带压进行检修。在工作中必须保证循环冷却水的正常进出。

罗茨真空泵真空机组停机操作

将真空机组控制柜上控制手柄打入手动挡，关闭罗茨真空泵的吸气口阀门，与真空系统隔断。按主泵、中间泵前级水冲泵次序，逐级停泵，严禁搞错停机程序。在停前级水冲泵时，先打开水冲泵缓冲罐排污阀门，后停泵关机。

随着螺杆真空泵在不同领域的广泛应用，取得了良好的反应和客户的认可。但发现操作工人在具体使用中存在很多不规范的地方，这无形中给螺杆真空泵及带罗茨泵的螺杆真空泵造成了间接的不良影响，甚至留下了安全隐患。

现在特地把雅之雷德螺杆真空泵的操作顺序以及注意事项整理好，给广大正在使用和准备使用好凯德干式螺杆真空泵的客户提供方便。

  好凯德螺杆真空泵操作方法

（一）好凯德螺杆真空泵开机前的检查与准备

1、检查真空泵各个部件是否齐全；

2、在不同油位视镜处检查油位，确认油位在油位视镜中线偏上约3mm处；

3、检查确认真空机组各个阀门的状态；

（1）工艺入口阀关闭

（2）入口过滤器排污阀关闭

（3）出口管线畅通，出口管排污阀打开

（4）冷却水入口管线和出口管线阀门打开

（5）氮气线阀门打开，吹扫气压力为0.5bar，氮封气压力为3bar，吹扫阀关闭

（二）好凯德螺杆真空泵的开机操作步骤

1、现场与中控联系，确认可以启动，通过现场操作柱启动按钮启动真空泵；

2、关闭出口管排污阀；

3、检查或调节氮封气流量，确认流量在2.5——3L/min；

4、打开吹扫阀，确认流量计流量调至最大，吹扫5——10分钟后，关闭吹扫阀；

5、打开工艺入口阀，切入系统；

6、真空泵运转过程中，注意观察机体温度，可通过温度调节阀调节水量来控制温度（温度调节阀位于0刻度时水量最大，位于5刻度时水量最小），要求温度尽量控制在50——75℃，确保不超过80℃。

（三）好凯德螺杆真空泵的停机操作步骤

1、关闭工艺入口阀，切出系统；

2、打开吹扫阀，吹扫20——40分钟后，关闭吹扫阀；

3、通过现场操作柱停止按钮停机；

4、关闭氮气阀门；

5、关闭冷却水阀门；如冬季长期不用，需排净机体及管线内的冷却水以防冻；

6、打开出口管排污阀和入口过滤器排污阀，检查是否有冷凝液。

雅之雷德温馨提示：各个流程的非常重要，请广大客户可以严格按照使用说明来操作，以此达到最佳的使用状态！

（2）、每天检查泵的温升，电机负荷及温升。

（3）、定期检查罗茨泵的轴承、油封、齿轮等部件，如有损坏应予更换。