旋片式真空泵拆解

先拆掉轴承部件，打开侧盖即可把叶轮拆出来即可。

真空泵：真空泵是一种旋转式变容积气体输送泵，包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵，具有在较宽的压力范围内有较大的抽速等特点，被广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。目前这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地发展。

一、产生和优点

目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点。

干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选真空获得设备，日本在螺杆压缩机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究。螺杆泵的技术关键问题。中国的威海智德真空科技有限公司在2008年也将螺杆真空泵的生产进入批量化生产，在化工制药等行业得到很好的应用。

二、主要结构

传动轴连接主动转子，通过同步齿轮带动从动转子旋转，在壳体上开有冷却水通道，用来冷却转子和排气口温度，同步齿轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似，一般真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上，目前通用的是直连电机，用联轴器与转子连接，极少数用皮带或者传动链传动。 等螺距螺杆泵由于无内压缩过程，排气温度非常高，如冷却效果不好，会造成转子和机壳变形，影响抽气效果。冷却机壳是必不可少的一个环节，水冷是最常见的方法，在机壳本体、轴承外侧通冷却水，可以达到冷却壳体进而冷却转子的目的。

三、国内外生产公司概况

1、威海智德真空科技有限公司是中国最早研发干式螺杆真空泵的企业，从2004年起便开始进行型线与结构性能方面的研究。在2007年国内干式螺杆真空泵的市场基本被国外厂家占据的时候，公司投入大量资金将该产品转入批量化的生产，并得到国家的大力支持获得各类省级国家级科技奖项和资金。公司生产的GENT干式螺杆真空泵极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式/喷射式/水环式真空泵的更新换代产品，在国内各大制药和化工企业得到大量应用。针对不同工艺条件，其过流部件（即转子和泵体等与气体接触的部分）均有防腐涂层，包括镍磷涂层和PTFE两种。

2、德国莱宝公司在2002年底正式推出的SREWLINE系列螺杆式无油压缩真空泵是一种专门为工业应用(非半导体应用)设计的干式泵，它是一种全新的设计，是专门用来解决工业应用中艰苦的真空问题，如粉尘、焦油等。此泵也是采用变螺距转子，有内压缩过程，泵腔内无轴承和密封，大大降低了故障率，泵腔内没有内部阀门，因而耐粉尘和焦油能力强，此泵的螺杆采用内部中空冷却，可以降低转子温度和热变形，螺杆寿命长。

3、德国普旭公司的COBRAN系列螺杆泵，制程工艺最理想的真空泵，特别适用于化工和制药行业的各工艺流程。普旭是世界上最大的真空泵、鼓风机和压缩机的供应商之一，真空泵的质量较高，相比其他厂家，在欧洲市场占有率极高，价格偏贵。

4、德国里奇乐的VSA/VSB系列，VSA系为等螺距转子，市场评价较好，性能稳定。VSB系列是变螺距转子设计（非线型齿形设计），同其他几家一样，通过内压缩来改变泵的功耗和排气温度，不用两级压缩中间冷却，单级即可实现很高的真空度。在密封件上做了改进，静态密封元件优选Viton材料，在有特殊要求的情况下选择PTFE或者添加有PTFE的密封件。动态密封元件在真空泵吸入侧用双密封唇；真空泵排气侧用简单的带有防止气体外溢的密封圈，以防止固体物质进入泵内。

南昌纵鹏机械设备有限公司专业销售维修爱德华真空泵干泵，我司公在真空泵维修方面有着丰富的经验。

Edwards iXH真空泵系统采用一系列具有高抽气速率的干式泵和增压泵以达到很好的压缩比，爱德华真空泵IXH3030T干泵维修从而实现高效率地抽取氢气。该系统为模块化设计，可灵活配置，因此易于满足各种太阳能和半导体制造工艺中的现场安装和性能要求。部件可以上下堆叠，从而达到业内最小的占地面积。各种型号的Edwards iXH真空泵可针对具体应用要求灵活配置，并且由单个控制器进行管理，对操作人员而言这是一种简单易用、可无缝集成的真空系统。

真空有限公司专业维修进口真空泵，爱德华真空泵IXH3030T干泵维修，公司拥有经过专门培训的维修工程师，具备专业和全面的真空泵维修知识和技能，多年来一直为光伏半导体太阳能行业客户维修各种进口真空泵，获得了业界客户和朋友的认可。

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我们及维修的真空泵，覆盖的品牌，维修品牌有：

法国阿尔卡特：Alcatel Adixen

英国爱德华： Edwards

德国莱宝： Oerlikon Leybold

普旭BUSCH

德国西赫：SIHIdry

贝克BECKER

科威尔KOWEL

里其乐RIETSCHLE

ALCATEL阿尔卡特系列真空泵：ADP122，ADS602 ，ADS602H, ADS602P, ADS1202，ADS1802等

Edwards爱德华系列真空泵：IXH100，IXH200H, IXH1210， IXH 1210H, IXH1220，IXH1220HT, IXH 1820， IXH1820H,IXH1820T, IXH3030，IXH3030T, IXH3045H, IXH4545H, IXH4545HT, IXH6045H, IXH6045HT,IXH450H, PXH4500HT, PXH6000， IXL500Q, IXL500R等等爱德华真空泵IXH3030T干泵维修。

Oerlikon Leybold 德国莱宝真空泵：SP630，SP630F, SV16，SV25，SV40，SV65，SV100，SV200，SV300，SV585，SV630，SV750，SV1200等等

BUSCH普旭真空泵：COBRA Semicon系列干式螺杆真空泵，COBRA Industry系列干式螺杆真空泵，

Panda/Puma系列罗茨泵 R5系列旋片泵 ，

COBRA Semicon系列干式螺杆真空泵包括：DS0080/0160G, DS0700-2000G, DS5161/9161A, DS0600E，DS2610/3910E, DS8162/8163A/E, BA0100C, BC0100F, BC0101F，BC1000/2000F, BC0100F Premium Efficiency,

COBRA Industry系列干式螺杆真空泵包括：BA 0100C, NX0450/0650A, NC0100-0300B, NC0400-1000B/C, NC2500B

Panda/Puma系列罗茨泵包括：WY0500C, WY0700/150B, WY2000/4500B, WV0250-1000C, WV1500-4500B/C,WP0250/0500D2/D4， WP1250-4500B2/D2, WPA080/A095A, WP0700/100DA/D4，WPA040-A075A

R5系列旋片泵包括：RA0010/0016C,RA0160-0302D, RA1000/1600B, RA0025/0040F, RA0165-0305D, RAH200/300A,RA0063/0100F, RA0400-0630C, RB0021C, RA0155A, RA0750A

贝克BECKER真空泵：VT4.4，VT4.8， VT4.10，VT4.16，VT4.25 ，VT4.40，KVT3.60，KVT3.80，KVT3.100，KVT3.140，VTLF200，VTLF250 ， VTLF360 ，VTLF400，VTLF500以及 2BV系列旋片真空泵

科威尔KOWEL真空泵：SS122， SS1200

里其乐RIETSCHLE真空泵：VWP系列罗茨泵，VSI系列螺杆真空泵

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干式真空泵是相对于湿式真空泵而言的，例如水环真空泵需要水或者其他溶液做工作液，否则无法工作。旋片真空泵或者滑阀真空泵需要油做介质。而干式真空泵不要任何工作液就可以工作。

干式真空泵目前主要有罗茨干式真空泵真空泵，螺杆干式真空泵，爪式干式真空泵。这三类的转子分别是罗茨转子、螺杆转子、爪式转子。名称也是这么来的。

目前国内用的最多的就是螺杆干式真空泵和爪式干式真空泵。故障率都比较高。

罗茨干式真空泵国内能做的了的一个巴掌数的过来。但是在国外，罗茨干式真空泵最广泛。其实在同样加工精度下，罗茨结构更稳定。

上面说的都是真空度比较高的，都是多级转子组合起来的。

另外，罗茨气冷真空泵也可以称作干式真空泵，但是真空度很低。