罗茨真空泵使用是应该注意什么

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

原理是将扩散泵油加热至沸腾，气化的油雾通过喷油嘴向四周喷射，扩散泵的四周有冷却水管或者水套，将喷射的油雾冷却液化流下至泵的底部循环。如果上半部分热的话说明冷却不好，会向真空室返油，那就是不正常的现象了，说明冷却不好，原因可能是水压不够或者水管内有阻塞。

扩展资料：

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。

对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

在光学薄膜的尺度上看（也就是1/10波长作为单位，约为100A），真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。

溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld，组分均匀性容易保持，而原子尺度的厚度均匀性相对较差（因为是脉冲溅射），晶向（外沿）生长的控制也比较一般。

参考资料来源：百度百科--真空镀膜机

肯富来泵业认为：罗茨真空泵与水环真空泵串联有先后之别的，具体是哪种放前面，哪种放后面，要根据实际的使用工况来确定。在实际使用的工况中，为获得更高的真空度，还会采用多级串联，比如罗茨+水环+罗茨，或者罗茨+罗茨+水环。所以，要根据工艺设计要求和实际使用工况来确定串联的先后次序。

原理是利用偏心转子在泵腔内形成通过旋转产生体积的变化而将气体排出泵外，主要是在吸气过程中，吸气腔体积增大，真空度降低，将容器内气体吸入泵腔，在排气过程中体积变小，压强增大，最终通过油封将吸入的气体排出泵外。 扩展资料使用真空泵的注意事项：正常运传前，真空泵应先做一次试运转，检查真空泵有无异常振动及冲击声响。初次使用的真空泵还要测定真空泵的极限压强，应符合技术规范。真空泵在长期工作的条件下，真空泵温不应超过70度。至于抽速的测定.由于比较复杂，一般不作检查。需要通冷却水的机械真空泵.在开机前应先通冷却水，然后再启动。冷却水的出口水温不宜超过30度。首次安装真空泵时，应检查电机是否正转，也就是电机与真空泵内转子转向一致，一般电机上方标有电机正常运转方向。真空设备应安装在清洁、干净的环境里，不宜有杂物、粉尘、水源，温度过高的地方也不适合。

用长方形框架固定检修平台上，把一级转子的前端隔板放在上面，按照标记放入主动和从动转子，逐级安装泵壳、隔板、级间密封环、调整纸垫以及四角处的圆柱定位销，注意调整纸垫的厚度需要和拆卸时的记录一致，拧紧泵体紧固螺栓；罗茨真空泵泵体体平放检修台，安装两端隔板处转子的节流环；安装轴承箱内墙板；安装轴承座及轴承；用塞尺检查各级转子和隔板的前后间隙，要求其符合罗茨真空泵的检修手册间隙数据，一般是保证转子和前后隔板的间隙大于所要求的最小值，调整范围在0-0.10mm；预装同步齿轮：安装锁紧有键槽的同步齿轮，有圆锥的同步齿轮先用手轻轻压紧即可；两转子角度调整为交叉90°，用0.20mm塞尺插人第二级两转子之间，固定长轴垂直的转子；用手轻轻盘车另一个转子，感觉松紧前后相当，再把锁紧螺母拧紧在圆锥同步齿轮上；再手动盘车应无卡死现象；用塞尺检查各级转子间的间隙，在两转子与水平线成±45°位置要作检查；D为两转子的总间隙，一般要求转子在-45°时为D/3，转子在+45°时间隙为2D/3；安装前后轴承箱后盖板及油封、机械密封，安装后端冷却水箱，安装皮带轮；罗茨真空泵安装回原设备基础，紧固地脚螺栓，调整三角皮带松紧度，恢复进出口管道连接。

关于水泵的工作原理，具体的介绍如下：

1、水环式真空泵动态原理图：

当水环式真空泵叶轮按图中顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。

水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。

此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；

当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。

水环真空泵内装有带固定叶片的偏心转子，是将水（液体）抛向定子壁，水（液体）形成与定子同心的液环，液环与转子叶片一起构成可变容积的一种旋转变容积真空泵。

2、蒸汽喷射泵

蒸汽喷射泵工作时蒸汽进入喷嘴后，高速喷出，产生低压，将气体吸入并在混合室混合，经扩大管后，动能转变为压强能。如果吸入的气体来自容器，容器减压，即可称作喷射真空泵。

3、气动隔膜泵动态原理：

4、自吸泵的动态原理：

自吸泵的工作原理是：水泵启动前先在泵壳内灌满水(或泵壳内自身存有水)。启动后叶轮高速旋转使叶轮槽道中的水流向涡壳，这时入口形成真空，使进水逆止门打开，吸入管内的空气进入泵内，并经叶轮槽道到达外缘。

5、离心泵动态原理:

离心泵（centrifugal pump）是指靠叶轮旋转时产生的离心力来输送液体的泵。

6、螺杆泵动态原理：

螺杆泵是容积式转子泵，它是依靠由螺杆和衬套形成的密封腔的容积变化来吸入和排出液体的。

7、罗茨真空泵的动态工作原理

罗茨真空泵是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵。

8、旋片式真空泵的动态原理：

旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,水环真空泵在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。

3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能

5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵.

6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。

7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。

8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

9、真空泵的价格、运转及维修费用。

因为罗茨泵不能单独使用，国内较大的品牌像富通真空，他们生产的罗茨真空机组都是和水环泵或螺杆泵串联起来使用的，罗茨泵有工作条件的：当真空度达到1000Pa以上才能启动。否则，由于负载过大，会烧毁罗茨泵的电机。所以，在使用罗茨泵时必须加保护。防止真空度在1000Pa一下运行。罗茨泵一般制造的真空度较高，对技术要求也较高，所以一般不能单独使用

（1）、罗茨真空泵应安装在干燥、通风良好和清洁的场所。

(2)、罗茨真空泵的环境温度为5-40℃。

（3）、罗茨真空泵应水平安装，其周围应留有充分的余地，便于日常检查、维护保养。装拆方便。

（4）、接通电源后，电机转向应符合泵上转向箭头所示。

（5）、连接被抽容器的管道应清洁.无杂质等异物，孔径不应小于泵口口径，长度宜短，以保证其有足够的通导能力，管道连接应密封不漏。

（6）被抽气体应无颗粒状固体进入泵腔。

（7）、罗茨真空泵与前级泵连接应装弹性管以减少前级泵引起的震动。

（8）、电气设备必须有互锁保护装置，当前级泵停止工作时罗茨泵必须同时停止。

（9）、小泵可以直接启动，大泵须设启动器。