爪型干式真空泵的工作原理
当电机开始工作时,电机通过电机齿轮传递给介轮,再由介轮传递给主动齿轮带动同步从动齿轮做同步反方向运转,主动轴、从动轴便带动一级转子、二级转子、三级转子、四级转子进行连续吸排气做功,被抽气体通过进气口,进入进气口通道,在一级转子对的压缩下,一级泵腔内的气体通过一级排气道,进入二 级泵腔,二、三、四级泵腔内的气体做同样的运动,经四级排气道进入冷凝缓冲区,液体流向排液道,通过液体收集口可直接回收,残存气体通过消声器,排气口排出泵外,从而起到抽真空以及气液分离的作用。
好凯德爪式真空泵原理:
有两个计数旋转的转子同步转动的压缩室,与不接触,不摩擦,很紧的间隙。在同步性是通过精密齿轮来实现的。作为爪轮流在吸入腔,气体流入通过进气口的腔室,并移向排放口。在运动过程中的这个过程中,气体被由于两个爪之间体积的收缩,直到下爪压缩揭示了压力通道。随后被压缩的气体排出通过的通道。以除去造成在压缩过程的热量,冷却空气被吸入壳体和一个消音盖之间。
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。近年来,干式机械真空泵得到迅速的发展,国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作,如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前,干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等,这类泵的速度较低,适用于小容量高压缩比(单级压缩比)。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等,其速度较高,适用大容量,低压缩比(指单级压缩比)。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。
干式真空泵是相对于湿式真空泵而言的,例如水环真空泵需要水或者其他溶液做工作液,否则无法工作。旋片真空泵或者滑阀真空泵需要油做介质。而干式真空泵不要任何工作液就可以工作。
干式真空泵目前主要有罗茨干式真空泵真空泵,螺杆干式真空泵,爪式干式真空泵。这三类的转子分别是罗茨转子、螺杆转子、爪式转子。名称也是这么来的。
目前国内用的最多的就是螺杆干式真空泵和爪式干式真空泵。故障率都比较高。
罗茨干式真空泵国内能做的了的一个巴掌数的过来。但是在国外,罗茨干式真空泵最广泛。其实在同样加工精度下,罗茨结构更稳定。
上面说的都是真空度比较高的,都是多级转子组合起来的。
另外,罗茨气冷真空泵也可以称作干式真空泵,但是真空度很低。
如果换的勤的话,油钱还是很可观的。
我就有个用户一个月换真空泵油的钱就要十多万,最后只好做技术改造,换了爪型干式真空泵。
结构紧凑,抽速快,效率高。无油运行,设备本身不产生制造污染,噪音小,性能稳定,无需定时保养,节省成本。
泵腔与泵爪含特殊涂层,防腐耐磨,超强的粉尘和腐蚀性气体处理能力,持久耐用,提高生产力。
1、泵腔内不含油,排气口不喷油,对被抽容器和环境均不产生污染;
2、转子悬浮于泵腔内,转子间及其与泵腔间均无摩擦,转子转速高;
3、能抽除腐蚀性、有毒性、放射性及含有粉尘的气体,雅之雷德机电科技无油爪式真空泵适于用作气体输送泵。