半导体真空泵用什么材料

真空泵阀片的材质：

1、弹簧钢65Mn。用于滑阀泵或大型旋片泵、往复泵等。弹簧钢65Mn热处理及冷拔硬化后强度较高，具有一定的韧性和塑性；在相同表面状态和完全淬透情况下疲劳极限与合金弹簧相当。但淬透性差，主要用于较小尺寸的弹簧，如调压调速弹簧、测力弹簧、一般机械上的圆、方螺旋弹簧或拉成钢丝作小型机械上的弹簧。

2、不锈钢1Cr18Ni9Ti。用于水环泵。不锈钢1Cr18Ni9Ti就是普通的不锈钢（SUS321）,其组织类别为奥氏体型。1Cr18Ni9Ti中18、9分别代表铬（%）、镍（%）的含量。是中国的不锈钢材料牌号。用于制作耐酸容器及设备衬里，抗磁仪表、医疗器械，具有较好耐晶间腐蚀性。

3、60Si2Mn弹簧钢。用于滑阀泵或直连旋片泵高级端。60Si2Mn弹簧钢是应用广泛的硅锰弹簧钢，强度、弹性和淬透性较55Si2Mn稍高。60Si2Mn弹簧钢业上制作承受较大负荷的扁形弹簧或线径在30mm以下的螺旋弹簧、也适于制作工作温度在250℃以下非腐蚀介质中的耐热弹簧以及承受交变负荷及在高应力下工作的大型重要卷制弹簧以及汽车减震系统等。

4、氟橡胶。用于旋片泵。氟橡胶（fluororubber）是指主链或侧链的碳原子上含有氟原子的合成高分子弹性体。氟原子的引入赋予橡胶优异的耐热性、抗氧化性、耐油性、耐腐蚀性和耐大气老化性，在航天、航空、汽车、石油和家用电器等领域得到了广泛应用，是国防尖端工业中无法替代的关键材料。

5、氟橡胶覆65Mn。用于直联旋片泵。

6、阀片是放在上轴承排气口位置的，其作用是封闭气缸内的冷媒，气缸内压缩冷媒，当压缩的压力达到一定值时阀片被压开，压缩后的冷媒从上轴承的排气口排出。在压缩的工程中把口堵上，排气的时候把口打开。其动作是靠气缸内部压力决定的。

  真空泵碳片又名真空泵碳精片，雅之雷德真空泵碳片制造材质为石墨材料碳粒子加工制造而成。

二、使用碳片优点

  1.真空泵碳片为自润滑碳片，具有很强的耐磨性；

  2.真空泵碳片为耐高温性，无需用真空泵油和水作介质，节能；

  3.真空泵碳片更具环保性，无污染，因为自润滑碳片有轻度的碳粒子会从排气口排出。

  4.高效，更适用于高速动转的进口真空泵。

  5.适用于式无油旋片式真空泵，无油真空泵专用真空泵碳片、碳精片。

水环式真空泵是用水来作为工作液抽取真空的，在工业生产过程中难免会遇到具有腐蚀性的气体，这个时候需要对水环式真空泵的材质进行正确的选择，上海飞鲁真空泵厂生产销售的水环式真空泵有

灰口铸铁

、球墨铸铁、叶轮不锈钢，铜叶轮，还有过流部件不锈钢，整体

不锈钢材质

的。

水环式真空泵材质之灰口铸铁：

灰口铸铁(gray

cast

iron)是第一阶段

石墨化

过程充分进行而得到的铸铁，全部或大部分碳以片状石墨形态存在，

断口

呈灰暗色，因此得名，它包括一般灰口铸铁(简称

灰铸铁

)、孕育铸铁、稀土灰口铸铁等。

要使泵能安全运行，寿命长，必须注意日常的维护，维护保养应注意以下几个方面：

轴封

的维护：--

水环式真空泵

要定期检测密封水压和水量，要始终保持少量清洁水沿轴流过，定期调填料压盖，检查填料并定期更换填料。轴封水压，轴封水量应符合上述（轴封检查）要求。装有

机械密封

的泵，长期不使用时，机械密封部分应加注满N46号机油，以防止机械密封部件生锈及内部橡胶件失效。

叶轮的调节：

为了保证泵高效运转，就必须及时调整叶轮与前护板的间隙，调节叶轮间隙时首先停泵，松开压紧轴承组件的螺栓，应调整螺栓上的螺母，使轴承组件向前移动，同时用手转动轴按泵的转动方向旋转，直到叶轮与前护板磨擦为止，将前面刚拧紧的螺母放松半圈，再将调整螺栓上前面的螺母拧紧，使轴承组件后移，此时叶轮与前护板间隙在0.51mm之间。调整后，在再次起动前须重新检查叶轮转动是否正常，轴承组件压紧螺栓是否拧紧，然后再启动泵。--水环式真空泵

无油真空泵叶片也叫真空泵旋片。一般真空泵叶片的材质分为石墨、碳纤维、树脂、铝合金等。干式旋片泵的碳片易磨损，请及时更换。树脂叶片以及铝合金叶片应随其工作情况及时更换。2.进气滤芯：

进气滤芯是安装在进气口空气总成内。材料为纸质。该滤芯一般也应当在4-6个月时间内更换为宜。若生产工艺中脏物质比较多，请视具体情况更换。滤纸破了，堵塞住了，请及时更换。

3.真空泵缸体：

真空泵缸体内部安装有真空泵转子，转子槽内安装有真空泵叶片。叶片在电机的带动下高速旋转，使叶片与缸体发生摩擦，长时间后缸体内部将会出现磨损。表示请务必顶起对真空泵保养，保养项目中含有真空泵缸体的摩擦后修复或深加工等一系列保养工艺。4.滤芯：

单级旋片式真空泵滤芯有两类，一类是进气滤芯，一类是排气滤芯。排气滤芯也可叫做油雾分离器，有谁分离器，油气分离器等称呼。油雾分离器发生堵塞、灼烧等损坏问题后及时更换。一般没有大的问题请在4-6个月内更换一次为宜。

真空泵类型多，面对的工况和应用领域复杂，因此真空泵选型涉及的因素也非常多。佛山市真空泵厂有限公司与您一起探讨其中需要关注的最基础的六个注意事项。

一、真空泵选型中，确定的产品需保证能顺利抽出工艺过程中释放出来的各种气体。真空泵的应用工艺中，气体介质多种多样，易燃易爆的、易凝结的、易化反、易腐蚀的等，选用的真空泵就需保证适用性。例如，工艺过程会产生大量水蒸气，选用的真空泵就必须适合抽水蒸气。

二、真空泵的极限真空度，必须高于工艺生产要求的真空度，至少要高一个数量级，并且设备适合在要求的工作真空度范围内工作。真空泵的极限真空度是泵抽速为零的时候所能达到的真空度。因此为保证真空泵在工作真空度内的抽速，就需要满足其极限真空度要大于工作真空度，并且在区间内需要有较大的抽速。

三、真空泵的抽速要大于工艺过程中的最大放气量。为保证真空度，真空泵选型中涉及工艺过程中持续放气的，真空泵或者真空系统的抽速要满足大于工艺过程中的最大放气量。如果在系统设有冷阱或档板等，则加阱或挡板之后的有效抽速应大于工艺过程中最大放气量。如果工艺过程中会出现突然大量放气，则系统的有效抽速还要适当加大，通常加大到最大放气量的2—3倍。

四、真空泵选型中，选用的真空泵其工作介质和制造材料须满足工艺要求。真空泵应用，尤其是在医药、化工、电池等领域，抽取的介质往往是具有腐蚀性的气体，这时就要求设备要有相应的防腐措施。如酸碱气体需要有对应的防腐涂层或泵的材质改用不锈钢防腐蚀；带有灰尘或颗粒的气体时，要在泵入口前加除尘器、过滤器或泵本身对其有耐受性等等。  

五、需连续生产的工艺中，所选用的真空泵必须满足连续性生产的需要。必要时，设置自动更换的备用真空泵，减少意外导致的生产中断。如果工艺过程中放气量越来越小，可以设置维持泵，以实现节能降耗。

六、真空泵使用的经济性。真空泵选型过程中，多种真空泵能同时满足工艺需求时，要进行成本和运转费用的经济性分析，选用经济性好，运行可靠，维修量小，使用与维修方便的真空泵。

1、制药和化工

真空泵应用领域包括医药、农药、化妆品与盥洗卫生品、肥皂与合成洗涤剂、表面活性剂、印刷油墨及其助剂、粘接剂、感光材料、水处理剂与高分子絮凝剂、造纸助剂、皮革助剂、矿物浮选剂、铸造用化学品、金属表面处理剂。

适用产品：真空机组、水环真空泵系列、滑阀真空泵系列、往复真空泵系列。

2、真空镀膜、真空干燥、表面处理

在真空中制备膜层包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段但一般来说真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空泵应用领域在镀膜行业、表面处理以及干燥环节起着至关重要的作用。

适用产品：真空机组、罗茨真空泵系列、滑阀真空泵系列、旋片真空泵系列等。

3、真空冶炼、砖头、陶瓷制造业

真空泵用途体现在真空技术对于冶金、砖陶行业来说是非常关键的一个部分、它可以用来防止金属在加工过程中因高温而被氧化。通过真空将砖和陶瓷里面的水分和空气排出以确保其拥有最高的品质。

适用产品：滑阀真空泵系列、旋片真空泵系列、真空机组、水环真空泵系列。

4、食品包装、挤奶、饮料行业

真空包装技术起源于20世纪40年代。1950年聚酯、聚乙烯塑料薄膜成功地用于真空包装、此后真空包装便得到迅速发展。真空包装是将包装容器内的空气全部抽出密封、维持袋内处于高度减压状态、空气稀少相当于低氧效果使微生物没有生存条件以达到果品新鲜、无病腐发生的目的。

适用产品：水环真空泵系列、旋片真空泵系列、无油真空泵系列、真空机组。

扩展资料

真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到最佳配置，选择真空系统时，应考虑下述各点：

首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。

在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。

检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。

检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。

参考资料来源：百度百科-真空泵

气体传输泵

气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：

变容真空泵

利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种：

（1）往复式真空泵：是利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。

（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。旋转真空泵又有如下几种形式：

① 油封式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。按其结构特点分为如下五种形式。

a旋片式真空泵：转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近，在转子槽内装有两个（或两个以上）旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，此旋片随转子一起旋转，可将泵腔分成几个可变容积。

b.滑阀式真空泵：在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而泵腔分成两个可变容积。

c.定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上下滑动将泵腔分成两个可变容积。

d.余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。

e.多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。

②干式螺杆真空泵：它是一种不用油类（或液体）密封的变容真空泵。

③液环式真空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体（通常为水或油）抛向泵壳内形成泵壳同心的环液，环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积，故亦称旋转变容真空泵。

④罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子，转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变容真空泵。机械增压泵即为这种形式的真空泵。

动量传输泵：这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型。

（1） 分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式：

① 牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得力量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。

②涡轮分子泵：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。

③ 复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联起来的一种复合式分子真空泵。

（2） 喷射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种：

① 液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。

② 气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。

③ 蒸汽喷射真空泵：以蒸汽（水、油或汞蒸汽）作为工作介质的饿喷射真空泵

（3） 扩散泵：以低压高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：

① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵

② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。

（4） 扩散喷射泵：它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种形式。

（5） 离子传输泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。

气体捕集泵

这种泵是一种是气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。

吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵

吸气剂泵：它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种形式。

吸气剂离子泵：它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下几种型式。

（1）蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。

（2）溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。

低温泵：利用低温表面捕集气体的真空泵

按其真空度可以分为：粗真空、高真空、超高真空三大类。

粗真空系

主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。广泛用于食品、纺织、医药、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工艺过程中。该型泵具有真空度高、结构简单，使用方便、工作可靠、维护方便的特点。

主要用于粗真空。抽气量大的工艺过程中。它主要用来抽除空气和其它无腐蚀，不溶于水，含有少量固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空。所吸气体中允许混有少量液体。它被广泛应用于机械、制药、食品、石油化工等行业中。

是获得粗真空的主要真空设备之一。广泛应用于化工、食品、建材等部门，特别是在真空结晶、干燥、过滤、蒸发等工艺过程中更为适宜。

无油(耐腐蚀)立式往复真空泵是卧式真空泵的更新换代产品，是获得粗真空的主要设备。由于采用全密封装置，实现了曲轴箱和汽缸的完全隔离；加上活塞环使用了自润滑材料，便实现了先进的无油润滑。由于无污水排放，所以该型真空泵特别适用于化工、医药和食品等行业的真空蒸馏、真空蒸发、真空干燥、真空浓缩、真空浸渍等工艺过程中。

高真空系

滑阀式真空泵

（Rotary Piston Vacuum Pump）

广泛应用于真空拉晶、真空镀膜、真空冶金、真空热处理、真空浸渍、真空干燥、真空蒸馏、真空练泥、航空航天模拟试验等新材料、新技术、新工艺的生产与研制中。

滑阀真空泵可单独使用，也可作为罗茨真空泵、油增压泵、油扩散泵的前级泵的使用。当抽吸对黑色金属有腐蚀、对真空油起化学反应、含大量蒸汽、大量粉尘的气体时，需附加装置。优点：相比旋片式真空泵耐用性要高好几倍且抽气速率大，价格相对高一点。

用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。它可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用。该型泵广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、医药等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理，真空干燥等工艺过程中。

真空泵

旋片式真空泵

( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )

具有结构紧凑，体积小，重量轻，噪音低，振动小等优点。所以，它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如：质谱仪器，冰箱流水线，真空冷冻干燥机等。

罗茨真空泵

( Roots Vacuum Pump )

是一种旋转式变容真空泵，须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内，有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。主要用于真空机组的主泵，需要用前级泵辅助。如：水环式真空泵，滑阀真空泵，立式无油真空泵，分子真空泵等。国内最大罗茨真空泵保持纪录为20000L/S。

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59020945

iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A59020946

iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相

A59020957

功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度    600 m3h-1  

353 cfm  

10000 l min-1  

极限真空    7 x 10-4 mbar  

5.3 x 10-4 Torr  

0.07 Pa  

典型轴封氮流量    4 slm  

进气口连接    ISO100  

出口连接    NW40  

15 psi 压降下典型冷却水流量    240 l h-1  

4 l min-1  

重量    415 kg  

极限功率输入    3.4 kW  

电机额定功率    6.1 kW  

油容量    1.43 l  

所有数字均为无气镇时的典型值。

 性能

尺寸

1    进气口  

2    出口  

3    抽风口  

4    变频器箱（仅限 iH1000）  

名称

应用情况

典型设备

真空度（托）

应用实例

1

宇航环境的模拟

宇航的轨道环境基本上是真空环境，

飞行器在发射之前必须在地面进行空间环境的模拟试验。各种大小不同的模拟器都是真空设备。包括卫星、飞船的热真空模拟、材料的评价以及推进器试验、载人摸拟试验等。综合运用真空获得、测试、检漏、工艺等技术。在地面复现空间环境，评价飞行器，发现和排除故障，提高可靠性。

机械泵

分子泵

低温泵

10-2~10-14

最大宇航环境摸拟设备的容器有1000立方米。

2

加速器技术

带电粒子在加速场条件下被加速。必

须使加速管从离子源到靶室全处于高真空和超高真空条件下。以减少带电粒子与气分子发生碰撞而散射损失其能量。因而，加速器必备真空系统。在真空获得和测量、检漏等技术上都有其特珠要求。

钛泵

低温泵

10-11~10-12

美国已有300直径的不锈钢电子回旋加速器

3

可控热核应用技术

是在有效空间中人为地控制发生热核反应的一种设备、它是高真空、高温技术及电磁技术的结合

机械泵

扩散泵

加冷阱

10-2~10-10

4

真空输送

空气和粒状物料在真空的抽吸作用下一起流动，至限定地点后经离心器将物料和空气分离、真空输送、如谷物、煤粉、烟草，水泥、粉状食品等

真空输送吸入压力通常300~500托或600~700托。前者混合比(被输送材料的重是和空气重量的比例)可达20,输送距离达400~500米。输送能力达200吨/小时后者棍合比达3~5，输送距离不大于30米，输送能力3~10吨/小时，通常混合比多为l~10。真空输送亦可用于某些液态物质的输送

涡轮鼓风机

水环泵（水蒸汽喷射泵）

300~700

(1)在电解铅的生

产中应用真空输送

将电解槽内的铅水

送至铅水包内，采

用的真空泵为2台

SZ~3水环泵

(2)在化工、烟草、

味精工业中亦已获

得应用

5

真空过滤

真空过滤机的过滤滚筒在360度区间内运动，180度区间内为真空吸料过滤，90度区间为真空吸水干燥，90度区间为充气排料，从而在整个360度区间内进行连连续生产。

真空过滤可用以获取混合液中的固状物料或用于滤清，前者如矿山或煤碳工业的洗选等

稀有金属“镍"的生产过程亦采用了

真空过滤、真空输送等工艺

水环泵

水蒸汽喷射泵

50~100

(1)有色金属冶炼的氧化铝采用真空过滤提取AI(OH)3.

(2)某钢厂用5台Sz-3水环泵配真空过滤机进行污

水净化处理，净化后作循环水使用.

(3)某选矿厂真空过滤机配1500公斤/小时(100托)

水蒸汽喷射泵，使用效果良好。

6

真空干燥

真空干燥通常指从固体材料中(亦有

液态材料)去除水分或有机溶剂等挥发性

成分，气相中压力低于100托.特别是压

力低于10托时，真空对干燥过程将起显著的影响.真空干燥的特点是在较低的温度下可获得很高的干燥速度，因此特别适合于不宜升温的材料或很难干燥的材料.通常，在进行真空干燥的过程中应供给适当的汽化潜热。

机械泵

水蒸汽喷射泵

几托~几十托

在电气工业中,绝缘纸电缆的真空干燥，合成纤

维工业中锦纶、涤纶生产的切片干燥。食品工业中乳品，茶精、肉类等的真空干燥.其他如在医药、农药、染料等工业中皆有广

泛的应用。

7

真空蒸馏

真空蒸馏的目的是使物质分离精制，

真空蒸馏在石油和化工工业中应用极广，

例如，各种有机油类的蒸馏、可塑剂工业

中磷酸三酯和磷苯二甲酸二丁酯的蒸馏、

合成树脂原料、各种高级酒精、高级脂肪

酸的真空蒸馏等，药品工业中维生素A、

维生素E和苯乙稀的真空蒸馏。香料工业的香乙醇、高级乙醇脂的蒸馏。油脂工业的精制、食品工业中的制酒、香精的蒸馏等。

往复式真空泵

水环式真空泵

旋片式机械泵

760~10

(1)某厂番茄浓缩用水蒸汽喷射系泵(抽气量35公斤/小时)一台，真空度30托，使用效果良好.蕃茄产量提高将近一倍，(2)年产15万吨的真空制盐设备与平锅制盐相比，燃料节约40%。

8

真空制盐

在真空度为50-100托除尽水或可挥

发成分，得到精制盐

滑阀式真空泵

水蒸汽喷射泵

几百托~十几托

某盐厂,真空

制盐（与锅制盐相

比)燃料消耗减少

三分之二，劳动生

产率提高了四倍，

成本减少44%

9

真空浓缩

在食品工业中的应用，如各种果汁、

果酱、蛋品、乳制品(炼乳、奶粉)、水

果糖等.又如化工染料的浓缩、制酸，制

碱，以及造纸工业中纸浆的浓缩等

10

真空除臭

主要用于油脂工业中粗油脂的精制，

在去除油脂中固有的臭气或因气化、分解

所生成的有臭物质的同时也进行真空脱色，以保证油脂制品的质量和色泽

11

真空结晶

真空浓缩和结晶通常在数个“蒸汽罐”内进行，称多效蒸发罐(例如制盐、制糖的真空浓缩结晶常采用4效或5效蒸发罐)。用真空泵在诸罐内造成不同程度的真空:第一效蒸发罐内的压力(或被浓缩结晶液的沸点)高于第二效蒸发罐内的压力(或沸点〕，则第一效蒸发罐内排出的二次蒸气可作为第二效蒸发罐的加热蒸汽，以此类推.因此，真空依缩结晶与常压下的加热结晶相比可大大提高燃料的利用效率。真空浓缩结晶更易于实现机械化、自动化。更利于副产品的综合利用，因此能有效地降低成本，大大提高劳动生产率和综合利用率

12

冷冻干燥

冷冻干燥或称升华干燥.首先将被处理的湿润材料冷却.使其中水分或其他煤质处于冷冻状态.然后迅速置于真空下使其直接从固态升华而获得干燥制品，冷冻干燥的应用:生物材料的脱水生物组织研究中各器官和组织切片的冷冻干燥移植用组织的保存细菌，抗生素、病毒、疫苗经冷冻干燥后，再溶性好血浆、血清、培养液等经冷冻干燥保存期长，组

织成分不变，再溶性良好冷冻干燥工艺在食品工业中也获得迅速发展，大乡数食品(例如肉类、水产、粮食、乳类、水果、蛋类和饮料等)都可以加工成冷冻干燥产品，其独特的优点是食品的营养成分和色、香、味被最大限度的保存下来，而且重量轻、体积小、保藏期长复水率可达9o%以上

罗茨增压泵+机械泵

油扩散泵+机械泵

水蒸汽喷射泵

1~10-3

某罐头食品厂2吨真空冷冻干燥设备用水蒸汽喷射泵(60托)代替罗茨真空泵-机械泵机组，大幅度降低冷冻干燥产品成本

13

真空浸渍

将浸渍剂浸入被浸渍物质(常是多孔性物

质)中去，以提高被浸渍物品的性能.在真空条件下(或先抽真空然后加工)一定粘度的浸渍剂更容易均匀地充满被浸渍物品的微小孔隙，因而产品性能更好。真空浸渍在电气绝缘工业中获得广泛的应用。如将绝缘材料浸入纤维性材料中去，可大大提高其绝缘性能和使用寿命

旋片泵

滑阀泵（水蒸汽喷射泵）

＜5

＜1

几托~几十托

各电机厂、绝缘材料厂、碳素厂，国内某耐火材料厂在生产钢水包的“

滑动水口”新产品时，成功地采用了真空浸渍技术，水口两配合滑动面大

于8以上，从而解决了钢水泄漏问题

14

真空调湿

自然纤维(如丝)、人造纤维、烟草、纸张等产品需调整其水份含量(主要是增加其水份)，使其含水量均匀和恒定。1,通入水蒸汽2。将热水通过分离器注入3.将蒸汽和水混合并通过分离器注入.丝的调湿通常在注入水或蒸汽后需再次进行真空干燥、冷却、以便调湿均匀与适度

水环式真空泵

蒸汽喷射泵+水环式真空泵

水蒸汽喷射泵

1~20

目前我们烟草工业中，烟草的真空回潮多采用水环式真空泵（SZ-3）。缺点是真空度低，回潮周期在合适的回潮温度下，不易回透，如提高回潮温度，则又会破坏烟叶质量。某烟厂改用水蒸汽喷射泵。提高了处理真空度，改善了回潮质量。

15

真空渗铬

铬在汽化温度(917℃)以上真空度10-2托下产生较大的蒸汽压力、铬蒸汽原子向钢铁表面沉积并进行热扩散，从而表面生成一层牢固的铬铁合金，它具有抗高温氧化、耐腐蚀等性能。真空渗铬是提高零件寿命、节约金属元素的有效途径之一。

旋片泵

滑阀泵

水蒸汽喷射泵

≤10-2

国内有些工厂已成功使用

16

真空热处理

在大气中的热处理，金属加热表面会受到氧、水蒸汽等的氧化而生成氧化物.采用高纯度的隋性气体作为保护气氛，成本很高.真空不但是一种“廉价的”隋性气氛，而且在真空条件下还可去除金属表面原有的氧化物，处理后很少发生变形，从而使加工余量减至最小甚至处理后根本无需加工.由于真空的脱气效果可提高产品的强度和耐磨性，真空热处理工序

稳定，热处理炉几乎可以全部自动化，同时它还是一种安全、无烟、无臭的工艺过程，目前真空热处理的实际应用还仅限于高级工具钢和待殊钢(如高合金钢和高速钢)，特别是形状复杂，处理后无需研磨的制品

机械泵+扩散泵

水蒸汽喷射泵

10-1~10-3〕托先高真空后经常在0.1托左右压力下加热，以免Cr,Mo等高蒸汽压合

金挥发损失

日本对SKH，冷锻用冲模进行盐俗热处理，加工余量为0.15-0.3毫米，处理后再进行研磨、抛光

加工.但改用真空热理处后，加工余量仅为0.08毫米。日本过去用盐浴热处理SKD11冷锻模具钢(生产不锈钢螺钉)模具平均成形总数约2~2.5万件，改真空热处理后，模具在处理

后不必加工即直接使用，模具使用寿命延长3-4倍

17

真空离子氮化

离子氮化是把待处理的工件放在真空容器内.然后充入含氮的气体.通入直流高压电后，使工件表面层轰击渗入氮原子，并形成氮化层的，表面热}Lm的断方法，它具有氮化时间短，变形小，耐磨、耐脆，省氨、省电，改善劳动条件，实现无公害等优点，是一种很有前途的表面热处理的新方法

旋片泵+机械泵

1~10

18

真空制冷

水在不同的压力下有不同的沸点，而在沸点温度时,水变成同温度的蒸汽就需要吸收大盆的汽化热，将常温的水导入低压容器，则水温最终将降至该压力下所对应的沸腾温度

机械泵

水蒸汽喷射泵

4~20

国内已多有应用

19

真空处理

冶金工业中的钢液真空处理至今已有十几种形式，特点是处理批量大、时间短、成本低，钢液质量高，主要是去除钢中气体和部分夹渣，使其含量大大减少.钢液经真空处理进行脱氧，脱氧产物或金属氧化物以气态自钢中逸出.因而处理后钢的纯净度可接近或达到真空感应炉的水平。处理中还可加入大量合金元素，以提高钢的性能。

水蒸汽喷射泵

机械泵+罗茨泵

1~0.1

我国1956年扮抚顺钢厂就有20吨真空处理设备。继有鞍钢建成100吨

D-H真空处理装置。上海重机厂亦有100吨R-H真

空处理装置、西德，日本都有500吨并带等离子加热的真空处理装置

20

真空烧结

在真空条件下，对粉末状金属或氧化物加

温，加压成形(或不加压)进行烧结.其温度

低于熔化温度，高于1ooo℃，尤其适用于高熔点的金属或氧化物制品.真空烧结不氧化、不脱碳、组织致密、质量好。所需真空度:纯铁0.1-0.01托不锈钢0.01托；铝镶钴合金、磁铁0.1-0.01托；WC、Tic、Ti、Cr及以其为基体的硬质合金0.05-0.1托。亦有需要10-5~10-8托高真空烧结的.

水蒸汽喷射泵

机械泵

增压泵

扩散泵

1~10-2

用于提高碳化钦基钢结构硬质合金的质量，微碳铬铁的真空烧结，提高性能

21

真空熔炼

金属通过真空冶炼、烧结、热处理等工艺过程都能提高质量和性能，真空冶金有独特的优点:①使金属及合金中的气体与夹杂含量大大减少，提高性能.②可准确控制化学成分，使合金性能稳定。③提高致密性、均匀性和可塑性，消除钢锭白点、偏析、发裂 ④可熔炼大气中不能熔铸的钦、锆、铀等金属,真空广泛应用于不锈钢、电工钢、轴承钢、高温合金、难熔金属的熔炼和铸造

水蒸汽喷射泵

旋片泵

滑阀泵

增压泵

扩散泵

1~10-5

我国已有几吨的真空感应炉、自耗护，200 - 600千瓦电子轰击炉等冶金设备，国外已有250吨真空电孤方电弧炉，美国有12000千瓦电子轰击炉

22

真空镀膜

在真空中将固体(基体)表面淀积上金属

或非金属（半导体、介质）薄膜的技术。广泛应用在无线电工业(集成电路、电阻、电容)，电真空工业(摄象管的靶、显像管)，光学工业(天文反射镜)及原子工业和字航技术中，轻纺工业中的金丝银线、塑料金属化、商标包装用薄膜、制镜等也都采用真空镀膜技术

旋片泵、增压泵、罗茨泵、扩散泵、离子泵、升华泵

10-2~3*10-9

我国各真空设备厂都有各自系列的真空镀膜机.如蒸发、溅射和离子镀膜机等.实例有滤光膜、激光膜、分光膜、冷光膜、增透膜、磁性膜‘超导膜和以铝代银的镀铝镜等

23

低温绝热

中真空(>l0-3托)绝热已有广泛的应用，如低温液化设备、低温贮运设备、低温模拟试验和超导磁场的保温等

旋片式真空泵、增压泵、扩散泵

10-3~10-5

某厂20m3真空粉末绝热器蒸发率每天0.5%，还有液氨容器等

24

石油工业

从油田开采的油井除气、注水脱氧、贮运

排气到炼油厂的减压蒸馏、石油产品精制以及润滑脂的脱水脱气、真空过滤等都多有应用

往复泵

旋片泵

水环泵

蒸汽喷射泵

10~700

减压蒸馏-每个炼油厂都有各套以上的装置，各种

真空过滤脱气低温装置，已都普遍建成

25

其他

真空的应用范围极为广泛。除上述主要方面以外，还有很多方面都有其具体的应用。如真空包装、真空机械手、真空贮存、农林业中粮食种子树种的真空贮存、电瓷陶瓷和土木建筑中

真空炼泥、真空吸附，水泥石棉制品脱水、铸造生产中的真空负压造型、真空压铸等

详细资料你可以参考下！