真空泵的使用方法是怎样的

旋片式真空泵使用说明：1、与泵联接的管道不宜过长,且不宜小于泵的进气口径。2、被抽气体温度不得高于40℃,否则应把气体冷至常温。3、含有较多尘埃的气体则应加以过滤,有腐蚀性及油起化学反应之气体则应加气体吸收及综合装置,如含水蒸气过多,则应加去湿装置,以防止泵油弄脏,影响其真空性能及泵的使用寿命。4、泵云装过程中油温不能高于70℃,在正常工作时应听到“嗒、嗒、嗒”之排气声,如有异声或温度骤升时应停止工作,检查原因。▲检查油温时,小心接触,以免烫伤。5、泵不使用时,应把进气口盖好,以免污物落入泵内6、停泵前必须关闭其余被抽系统联接之阀门(避免泵油进入被抽系统),然后关闭电机并注意是否打开了充气阀,最后停止冷却水。7、普诺克真空科技本产品使用的真空泵油如为本《使用说明书》上规定性能则能保证产品性能。但如用其它的品种,我们将不能确保泵的性能达到使用要求和寿命要求。8、根据不同的使用环境,油的更换周期不同。更换油时,先敞开进气口,拆下油箱盖,用于旋转皮带轮(按箭头方向),把泵腔油全部排至油箱,用油扫扫出后用布抹干净。如需彻底淸洁,可再在进气口倒适量的清洁油,重复上述过程。清完后,倒入新真空泵油至油镜中线位置(保证正常运行时,油面处于油镜中线高度),注意油量不能过多,否则会影响泵的再次启动及喷油。9、真空泵是用来抽除密封容器中的气体,开机后会从排气口排出油和空气混合的烟雾状气体,俗称“烟”。排“烟”时间长短视容器大小而定。如果在油温不高的情况下长时间有烟,则证明管道或被抽容器漏气直接导致真空度不高,应检查漏气原因。▲泵内部核心部件,非绝对必要,切不可自行拆卸,如有损坏或装配不当,会影响泵的性能。

真空泵使用说明书：

1．查看油位，以停泵时注油至油标中心为宜。过低对排气阀不能起油封作用，影响真空度。过高，可能会引起通大气起动时喷油。运转时，油位有所升高，属正常现象。如是旋片式真空泵真空泵油采用规定牌号的清洁真空泵油，从加油孔加入。加油毕后，应旋一上螺塞。油宜经过滤，以免杂物进入，堵塞油孔。

2．水环式真空泵可在通大气或任何真空度下一次起动。泵口如装接电磁阀，应与泵同时动作。

3．环境温度过高时，油的温度升高，粘度下降，饱和蒸汽压会增大，会引起极限真空有所下降，特别是用热偶计测得的全压强。如加强通风散热，或改善泵油性能，极限真空可得到改善。

4．检查真空泵的极限真空以压缩式水银真空计为准，如计经充分预抽校验，泵温达到稳定，泵口与计直接接通，运转30分钟内，将达到极限真空。总压强计测得之值与泵油和真空计、规管误差有关，有时误差甚至可很大，只能作参考。

5．如相对湿度较高，或被抽气体含较多可凝性蒸汽，接通被抽容器后，宜打开气镇阀，运转20～40分钟后关闭气镇阀。停泵前，可开气镇阀空载运动30分钟，以延长泵油寿命。

6．用油选择：真空泵油的粘度影响起动功率和泵的极限真空，粘度高时对真空度有利，起动功率则大一些。油在泵温下的饱和蒸汽压则会影响泵的极限总压强，越低越好。高速真空泵油和3#扩散泵油的粘度较1号真空泵油大，饱和蒸汽压较1号真空泵油低，但3#扩散泵油价格较高。具体选什么油，可根据上述介绍结合具体使用要求来选择。

(1)一般情况下，凡希望总压强在6X10-2帕以上的应用上海产的高速真空泵油。4升/秒以下小型真空泵也可用1号真空油泵代，8升/秒以上直联泵可用3#扩散泵油代。

(2)如果对真空度要求不高，且油的污染更换频繁，真空泵油供应困难，可采用50号机械油代替。

(3)如果环境温度低，起动困难，极限真空要求不高，可采用粘度较上略低的真空泵油或机械油。

真空泵是用来排除制冷系统中空气的专用工具。对进行维修后的制冷系统进行抽空，将系统内部残留的气体抽出，使系统内部保持干燥。若在抽真空过程中系统真空度一直达不到要求，说明系统存在泄漏，则应进一步检漏。

真空泵抽真空时的连接如图9-14所示，使用方法如下：

图9-14 真空泵抽真空

（1）所使用的真空泵的排气能力应在200L/min以上。

（2）启动真空泵前要仔细检查各连接处及焊口处是否完好，泵的排气口胶塞是否打开。泵的润滑油是否足够。

（3）对于采用复式抽空的设备，可按以下方法进行操作：排除制冷剂气体→抽空20min→充入制冷剂气体20min后→排出→抽空30min，真空度在133Pa以下。

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

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概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

  

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59020945

iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

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iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相

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功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度    600 m3h-1  

353 cfm  

10000 l min-1  

极限真空    7 x 10-4 mbar  

5.3 x 10-4 Torr  

0.07 Pa  

典型轴封氮流量    4 slm  

进气口连接    ISO100  

出口连接    NW40  

15 psi 压降下典型冷却水流量    240 l h-1  

4 l min-1  

重量    415 kg  

极限功率输入    3.4 kW  

电机额定功率    6.1 kW  

油容量    1.43 l  

  

所有数字均为无气镇时的典型值。

 性能

尺寸

1    进气口  

2    出口  

3    抽风口  

4    变频器箱（仅限 iH1000）  

为了使真空泵安全运行，在使用真空泵时，必须严格遵守以下的操作规程。

(1)开泵前的准备工作

①查

认真检查各部分之间的连接是否良好。

②开

打开水箱的进水阀，向水箱灌水至规定水位；打开真空泵的吸人阀和排出阀。

③关

关闭真空罐的进气阀和放油阀。

(2)开泵

一切准备就绪后，即可启动泵。当真空罐达到一定真空度时，可打开抽气阀，对离心泵进行抽气引油；对油罐车抽扫底油时，其真空泵的操作与对离心泵抽气引油的操作相同。

(3)运转中的维护

泵在运转中，司泵员应严守岗位，集中精

力，认真观察，并且做到：①听，随时听泵和电机运转时的声音是

否正常；②看，看真空度、真空罐液面高度、水箱中的循环水、轴

承润滑等是否正常；③摸，用手摸轴承和电机的温度是否正常。

(4)停泵

①先关吸人阀，再打开真空罐的进气阀，最后停泵；

②放空真空罐，关闭有关阀门。

使用旋片式真空泵在起动时应先把系统的连接法门关闭，起动后再慢慢打开连接系统的法门，这样可以避免因进气量过大造成泵内的油液喷出而流失。关闭真空泵之前应先关闭系统连接法门，然后再停泵，这样可以避免系统内反流回气体，破坏系统真空度。

首先检查真空泵电机电压是否符合电机要求，并检查电机的转向是否与真空泵所标方向一致，切勿反转（检查时应将真空泵皮带先卸下）。

按照真空泵所标方向旋转皮带轮观察油面位置（油面应处于观察窗上下两条红线之间）和油的质量（油质若为黄白色和黑色则必须更换）。

检查真空泵气镇阀和放油螺塞是否拧紧。

检查真空泵进气口与被抽容器之间连接是否紧密（切勿有漏气点），被抽容器是否密封。

检查真空泵抽气速率是否与被抽容器容积匹配。（不赞成大马拉小车，切勿小马拉大车）

若真空泵使用需要冷却水，则应检查真空泵冷却水进、出口是否畅通。

真空泵所抽介质应符合真空泵的使用要求。

上述条件如均满足即可通电使用。如有条件，最好应先单独测试真空泵的真空度，如符合要求再将其与被抽容器（系统）连接。如不符合要求则应先修理真空泵。

使用时将真空泵排气口连接到室外，防止真空泵排气口排出的气体污染室内环境。

在使用中应根据说明书要求和现场使用环境定期换油。

不知道题主问的是怎样的抽真空，这里以某（Fresh World）款家用型机子为例：

操作步骤：

接通电源

向左转|向右转

将需要抽真空的食物装进袋子，将袋口放入真空腔

向左转|向右转

食物不要超过袋子的四分之三，抚平袋口

向左转|向右转

4. 合上盖子

向左转|向右转

5.锁上锁扣

向左转|向右转

6.选择"干物“

向左转|向右转

7.点击“真空封口”

向左转|向右转

8. 自动跳转“封口”

向左转|向右转

9. 打开旋钮锁扣

向左转|向右转

10.打开盖子，完成

爱德华真空泵保养维护/真空技术/BOC干泵维修</span><br>摘要: 爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵, 日常维护检查的内容为观察泵油颜色, 查看油位, 检查<br>进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后, 维修方法是<br>更换老化的密封部件, 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧, 更换损坏的电源器件和<br>电机线圈等。最后给出真空泵的性能改造位置和方法。<br><span >BOC真空泵检查维护</span><br>为延长真空泵的使用寿命和无故障工作时间, 应当对爱德华旋片真空泵进行日常检查维护, 建议按表1 进行定期检查维护,<br>表中的维护频次可根据维修经验进行适当调整。<br>1、检查真空泵油油位<br>真空PUMP启动前, 应先从油窗检查油位是否可见并在“M IN ”刻线以上, 只有达到这个位置, 真空泵才能正常运转。另外,<br>启动新真空泵或真空泵有相当一段时间没有运行时, 还应在泵启动后检查油位是否有轻微下降(3～ 5 mm ) , 这个下降表明<br>泵是带油启动。当发现油位不在工作刻线范围内时,应及时注油至工作刻线范围内。<br>表1 <span >爱德华真空泵检查维护一览表</span><table cellspacing="1"cellpadding="1" width="640" border="1"><tbody><tr><td>爱德华PUMP维修频次<td>真空泵维护项目<tr><td>1、日常维护<br>2、初始运行100 小时每运行6 个月大修<br>3、6 个月<br>4、12 个月<br><br> <td>1、检查泵油油位和颜色<br>2、换油<br>3、清洗内部油过滤器<br>4、检查排气阀和O 形圈, 必要时更换 检查配油器橡胶封,<br>必要时更换，检查马达部件防泄露油封<br> <tr><td>备注：<td>如果泵使用在易污染的、脏的系统时, 应加大换油、清洗过<br>滤器的频次</table><br><br> <br><br><p>2、观察BOC Edwards真空泵油颜色<br>应定期在油窗内观察泵油颜色, 油应当清澈透明, 呈焦黄色, 如若发现泵油变色或出现浑浊,应当及时更换泵油, 否则会影响真<br>空泵的使用寿命和抽真空效果, 建议使用爱德华泵油。排油时建议让泵运行15 m in, 使泵油变热, 以利于泵油流出。<br>3、检查BOC DRY PUMP进气口、排气口的过滤器或阱<br>当进气口、排气口安装有过滤器或阱, 如捕捉罐、灰尘过滤器、干燥阱、化学阱、油雾过滤器等时, 应当定期检查, 以确保进<br>气口和排气口畅通。进气口或排气口堵塞时, 容易造成真空系统真空抽不上去, 严重时, 可引起真空泵内压力上升, 这将导致密<br>封破坏和油箱破裂, 引起物理损伤。<br>4、检查是否漏油<br>应当经常检查油窗、油箱密封垫处、电机轴承盘处以及泵的其他部位是否有泵油渗出, 发现有漏油时应及时进行维修。