真空泵如何选型 真空泵选型方法

便宜的用旋片式真空泵串接扩散泵即可.

泵的抽速选择,由真空室大小以及极限真空确定.

一般是两台旋片式真空泵+一台扩散泵组成.

一台旋片式真空泵直抽真空室,另一台抽扩散泵.

当真空室到5Pa以下,并且扩散泵预热后,

切换到扩散泵抽真空室.因为扩散泵有冷阱,所以泵油不会污染真空室.

假如有钱,就用分子泵代替扩散泵.不用预热.

并且彻底无油.

真空泵类型多，面对的工况和应用领域复杂，因此真空泵选型涉及的因素也非常多。佛山市真空泵厂有限公司与您一起探讨其中需要关注的最基础的六个注意事项。

一、真空泵选型中，确定的产品需保证能顺利抽出工艺过程中释放出来的各种气体。真空泵的应用工艺中，气体介质多种多样，易燃易爆的、易凝结的、易化反、易腐蚀的等，选用的真空泵就需保证适用性。例如，工艺过程会产生大量水蒸气，选用的真空泵就必须适合抽水蒸气。

二、真空泵的极限真空度，必须高于工艺生产要求的真空度，至少要高一个数量级，并且设备适合在要求的工作真空度范围内工作。真空泵的极限真空度是泵抽速为零的时候所能达到的真空度。因此为保证真空泵在工作真空度内的抽速，就需要满足其极限真空度要大于工作真空度，并且在区间内需要有较大的抽速。

三、真空泵的抽速要大于工艺过程中的最大放气量。为保证真空度，真空泵选型中涉及工艺过程中持续放气的，真空泵或者真空系统的抽速要满足大于工艺过程中的最大放气量。如果在系统设有冷阱或档板等，则加阱或挡板之后的有效抽速应大于工艺过程中最大放气量。如果工艺过程中会出现突然大量放气，则系统的有效抽速还要适当加大，通常加大到最大放气量的2—3倍。

四、真空泵选型中，选用的真空泵其工作介质和制造材料须满足工艺要求。真空泵应用，尤其是在医药、化工、电池等领域，抽取的介质往往是具有腐蚀性的气体，这时就要求设备要有相应的防腐措施。如酸碱气体需要有对应的防腐涂层或泵的材质改用不锈钢防腐蚀；带有灰尘或颗粒的气体时，要在泵入口前加除尘器、过滤器或泵本身对其有耐受性等等。  

五、需连续生产的工艺中，所选用的真空泵必须满足连续性生产的需要。必要时，设置自动更换的备用真空泵，减少意外导致的生产中断。如果工艺过程中放气量越来越小，可以设置维持泵，以实现节能降耗。

六、真空泵使用的经济性。真空泵选型过程中，多种真空泵能同时满足工艺需求时，要进行成本和运转费用的经济性分析，选用经济性好，运行可靠，维修量小，使用与维修方便的真空泵。

随着仪器仪表工业的蓬勃发展，体积小巧、无油环保的微型真空泵、微型气泵得到越来越广泛的使用。如何才能在规格繁多的微型泵中选择最恰当的产品呢？

首先要明确微型泵的用途。我们分三大类逐一讨论。

一、如果只是用微型气泵输出压缩空气。

简单地说，就是只用它来打气、充气，泵的抽气口基本不用。这种情况比较简单，按输出压力从大到小依次可选：PCF5015N、FAA8006、FAA6003、FAA4002、FM2002、FM1001。当然还要参考流量指标等相关技术参数。

二、如果是以下几种情况，则应该选用WKA系列产品。

1、用微型泵抽气或抽真空，但有时会有液态水进入泵腔。

2、要求微型泵既能抽气又能抽水。

3、主要用微型泵抽水，但不希望在抽水前靠人工加“引水”。（有些水泵在工作前需要人工加入一些“引水”，这样泵才能把低处的水抽上来，否则泵无法抽水甚至损坏。）WKA系列产品的长处就在于，没有接触到水时，它就抽真空，形成真空后靠气压把水压上来，而后开始抽水。

4、用微型泵抽水，但有些时候可能泵没有水可抽，处于“干转”状态。某些传统水泵畏惧“干转”，甚至是致命的。而WKA系列产品本质上是一种复合功能泵，它集成了真空泵和水泵的功能，有人把它叫作“真空水泵”。因此，在没有水的情况下，它会抽真空，有水的时候它就抽水。无论是抽气状态还是抽水状态，都属于正常工作范畴，也就无所谓“干转”损伤。

三、如果是用微型泵抽气，情况稍微复杂些。

（一）、判断微型泵抽气端工况

用于抽气的微型泵分为两类：气体采样泵和微型真空泵。虽然通常总是不加区分地把它们简单统称为微型真空泵，但从技术角度二者是有区别的，选型时更要特别注意。

简而言之，气体采样泵只能带小负载（即：泵抽气端阻力不能太大），但价格便宜；严格意义上的微型真空泵可以带大负载（抽气端允许大阻力，甚至完全堵塞），但价格稍贵。二者具体区别可以详见文章《关于微型真空泵与气体采样泵的区别》，不再复述。

气体采样泵有：PM系列、SA系列、SB系列；微型真空泵有： VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列，这些系列下的所有规格都是真正的微型真空泵，如VM7002、VAA6005、PC3025N等。

对于微型泵抽气端阻力的大小可以用仪器测定，把它与泵的技术参数“进气口允许最大阻力”Por值比较就可以知道选型是否合适。通常根据经验采用简便的方法确定，比如下述几种情况都属于负载较大（即泵的抽气端阻力较大），只能在微型真空泵范围内选型：

①在泵的抽气端要接很长的管道，或管道弯曲点多、弯曲厉害甚至会阻塞封闭，或管道内孔很小（比如小于φ2毫米）；

②在管路上有节流阀、电磁阀、气路开关、过滤器等元件；

③泵抽气口与密闭容器连接，或该容器虽未密闭但进气量较小；

④泵抽气口与吸盘连接，用于吸附物体（如集成块、精密工件等）；

⑤泵的抽气端与过滤容器相连，容器口放置滤网，用于加速液体过滤。

（二）、判断微型泵排气端工况

以上都是在讨论微型泵抽气端阻力的问题，根据这些判断条件已经缩小了选型的范围，但还必须考虑排气端阻力问题，这样才能最终确定可选范围。

在实际应用中，微型真空泵面临的排气状况是不一样的：一类是排气很顺畅，直通大气；另一类是排气阻力较大，比如在排气管路上有阀、细小弯管、大阻尼传感器、非专用的消音器、在液面以下排气、气体排往密闭或半密闭容器等。在现代设计制造中，把面对不同排气条件的微型真空泵区别对待。“排气口允许最大阻力Por值”这一参数就是标定泵的排气能力，让我们可以用严格的技术手段确定选型是否恰当。

简单地说，对于排气阻力大的系统，我们的选型范围是：FM系列、FAA系列、PCF系列；对于排气阻力小的系统，选型范围是：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、VBH系列。根据以上几个步骤，我们已经可以确定微型泵的选型范围了。在划定的几个可选系列中，再根据我们对流量和真空度的要求就可以确定具体的型号了。对于质量欠佳的产品未列入本文，尽量不要选用。注意参数选择要留有余量，特别是流量参数。泵接入气路系统后，由于管道、阀门等气路元件要造成压力损失，会衰减流量，因此得到的流量小于泵的标称流量还有一些和选型相关的问题罗列如下，根据使用情况考虑。

1、带负载启动问题。

如果微型气泵在启动前它的抽气口就已经存在真空或排气口已经存在压力，则要考虑泵的另一技术参数：进气口最大启动负载Pis值，排气口最大启动负载Pos值。典型应用事例就是使用微型气泵维持容器内的真空或正压状态，当容器内的真空或正压低于设定值时，需要泵通电启动，高于设定值时停机。可以在自身能达到的极限真空度下启动的产品有：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、VBH系列；可以在自身能达到的最大输出压力下启动的产品有：FM系列、FAA系列、PCF系列。 该性能对制造商的技术水平要求较高。

2、微型泵的介质温度问题。

根据通过泵的介质气体的温度，选择要普通型的还是要高温型的。

3、微型泵的可靠性问题。

根据微型泵出故障后产生后果的严重性而定，完全根据自己的要求。优质品的平均无故障连续运行时间都大于1000小时，有的高到数千小时。特别注意，这项参数是在满负荷、不间断的运行状态下测定的，是最恶劣的工况，如果实际使用不是满载或连续运行，该数值会高一些，高多少视泵的工况而定。该性能完全是考验制造商的技术实力，从产品外观上可以看出一些，如采用特制电机而非普通低价电机、体积相当的情况下重量较重等。根据产品价格也可略知一二。

4、微型泵的电磁干扰问题。

如果有精密电路控制微型泵，视电路抗干扰能力而定，可能需要订购低电磁干扰的微型泵。

详细资料你可以参考气海机电制造公司的网页

然后你得根据工况（介质温度、介质性质、工艺要求）来选择合适的真空泵。

没有一种真空泵是通吃天下的，只有最适合的真空泵，没有最好的真空泵。

无油真空泵，有很多种类，进口国产的都有，看你的预算了。

现在国内主要有曌越的爪泵、智德的螺杆泵，要是预算少，可以选隔膜泵（进口的会比较好，不过很多日货）之类的。看你需求了，具体可以咨询厂家，看看是不是适合。

根据微型泵的用途，可以分为几类来讨论：

一、如果只是用微型气泵输出压缩空气。

简单地说，就是只用它来打气、充气，泵的抽气口基本不用。这种情况比较简单，按输出压力从大到小依次可选：PCF5015N、FAA8006、FAA6003、FAA4002、FM2002、FM1001,当然还要参考流量指标等相关技术参数。

二、如果是用微型泵抽气，情况稍微复杂些，大致可从以下两个方面来决定选型：

1.判断微型泵抽气端工况

用于抽气的微型泵分为两类：气体采样泵和微型真空泵。虽然通常总是不加区分地把它们简单统称为微型真空泵，但从技术角度二者是有区别的，选型时更要特别注意。

简而言之，气体采样泵只能带小负载(即：泵抽气端阻力不能太大)，但价格便宜；严格意义上的微型真空泵可以带大负载(抽气端允许大阻力，甚至完全堵塞)，但价格稍贵。二者具体区别可以详见文章《关于微型真空泵与气体采样泵的区别》，不再复述。

气体采样泵有：SA、SB、PM系列(例如：SA751.5、SB550.5、PM950.2等)；

微型真空泵有： VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列、VBH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列，这些系列下的所有规格都是真正的微型真空泵，如VM7002、VAA6005、PC3025等。

对于微型泵抽气端阻力的大小可以用仪器测定，把它与泵的技术参数“进气口允许最大阻力”Por值比较就可以知道选型是否合适。通常根据经验采用简便的方法确定，比如下述几种情况都属于负载较大(即泵的抽气端阻力较大)，只能在微型真空泵范围内选型：

①在泵的抽气端要接很长的管道，或管道弯曲点多、弯曲厉害甚至会阻塞封闭，或管道内孔很小(比如小于ø2毫米)；

②在管路上有节流阀、电磁阀、气路开关、过滤器等元件；

③泵抽气口与密闭容器连接，或该容器虽未密闭但进气量较小；

④泵抽气口与吸盘连接，用于吸附物体(如集成块、精密工件等)；

⑤泵的抽气端与过滤容器相连，容器口放置滤网，用于加速液体过滤。

2.判断微型泵排气端工况

以上都是在讨论微型泵抽气端阻力的问题，根据这些判断条件已经缩小了选型的范围，但还必须考虑排气端阻力问题，这样才能最终确定可选范围。

在实际应用中，微型真空泵面临的排气状况是不一样的：一类是排气很顺畅，直通大气；另一类是排气阻力较大，比如在排气管路上有阀、细小弯管、大阻尼传感器、非专用的消音器、在液面以下排气、气体排往密闭或半密闭容器等。在现代设计制造中，把面对不同排气条件的微型真空泵区别对待。“排气口允许最大阻力Por值”这一参数就是标定泵的排气能力，让我们可以用严格的技术手段确定选型是否恰当。

简单地说，对于排气阻力大的系统，我们的选型范围是：FM系列、FAA系列、PCF系列；对于排气阻力小的系统，选型范围是：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列、VBH系列。

根据以上几个步骤，我们已经可以确定微型泵的选型范围了。在划定的几个可选系列中，再根据我们对流量和真空度的要求就可以确定具体的型号了。

注意参数选择要留有余量，特别是流量参数。泵接入气路系统后，由于管道、阀门等气路元件要造成压力损失，会衰减流量，因此得到的流量小于泵的标称流量。

三、还有一些和选型相关的问题罗列如下，根据使用情况考虑。

1、带负载启动问题。

如果微型气泵在启动前它的抽气口就已经存在真空或排气口已经存在压力，则要考虑泵的另一技术参数：进气口最大启动负载Pis值，排气口最大启动负载Pos值。典型应用事例就是使用微型气泵维持容器内的真空或正压状态，当容器内的真空或正压低于设定值时，需要泵通电启动，高于设定值时停机。

可以在自身能达到的极限真空度下启动的产品有：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列、VBH系列。；

可以在自身能达到的最大输出压力下启动的产品有：FM系列、FAA系列、PCF系列。

该性能对制造商的技术水平要求较高。

2、微型泵的介质温度问题。

根据通过泵的介质气体的温度，选择要普通型的还是要高温型的。

3、微型泵的可靠性问题。

根据微型泵出故障后产生后果的严重性而定，完全根据自己的要求。优质品的平均无故障连续运行时间都大于1000小时，有的高到数千小时。特别注意，这项参数是在满负荷、不间断的运行状态下测定的，是最恶劣的工况，如果实际使用不是满载或连续运行，该数值会高一些，高多少视泵的工况而定。该性能完全是考验制造商的技术实力，从产品外观上可以看出一些，如采用特制电机而非普通低价电机、体积相当的情况下重量较重等。根据产品价格也可略知一二。

4、微型泵的电磁干扰问题。

如果有精密电路控制微型泵，视电路抗干扰能力而定，可能需要订购低电磁干扰的微型泵。

螺杆真空泵的选型如图所示：

螺杆真空泵是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，它是油封式真空泵的更新换代产品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，在国内制药、化工、半导体等对清洁真空要求较高的企业领域得到广泛应用。

螺杆真空泵的优点：

各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。

国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点得以广泛应用。

干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选真空获得设备，日本在螺杆压缩机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。

德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究。中国企业在2008年也将螺杆真空泵的生产进入批量化生产，在化工制药等行业得到很好的应用。

抽滤啥的用一般的水泵就好了不过容易坏

抽一般的溶剂（如旋蒸、薄膜蒸发）用隔膜泵（耐腐蚀，体积小，废气可收集）

要求高真空度的选择油泵（不耐腐蚀）或者杂交泵（耐腐蚀）

具体的得根据经费预算来选择，好东西贵一点。

我就是做实验室器材的，具体选型可找我-三要⑦⑦八陆贰四三

真空泵在我们的很多领域丢得到广泛的使用，那真空泵机组我们又了解多少呢？接下来我们就通过下面的内容，一起来看看真空泵机组的相关内容介绍。

真空泵机组之立式无油往复泵机组

以ZJ泵为主泵，以WLW型方式无油泵为前级泵串联而成，由于WLW型真空泵采用无油自润滑系统，这样可以获得洁净真空，这样在加装尾气收集装置后，可以收集在高真空系统中无法凝固、无法压缩收集的气体，而又同时避免了水环机组所产生的大量废水的排放而导致污染环境的问题。

真空泵机组之旋片真空机组

以泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空机组选用的旋片泵作为前级泵，因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点，而且同时保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率等优点。因为该机组的结构紧凑、抽速大、占地面积小，所以可以代替多台机械真空泵.

因此旋片泵机组广泛地用于在真空冶炼、电力电容器、变压器真空热处理、真空镀膜设备的预抽、电真空半导体等行业中抽除密闭容器中含氧不高的、无爆炸性的、对金属无腐蚀性的、与泵油不会起化学反应的也不会含有颗粒尘埃的气体。

真空泵机组之水环真空机组

以罗茨泵为主泵，以水环泵为前级泵串联而成的。水环真空机组选用的水环泵成为前级泵比其它的真空泵更为有利，因为它不但克服了单台水环泵使用时极限压力差（机组的极限压力比水环泵的极限压力有很大的提高），

它能够适应抽除大量的可凝性蒸汽，尤其是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不够，或使用的溶剂能使泵油恶化进而影响性能，或者是真空系统不允许油污染时更为明显。如果配有防爆电机及电器时并遵守相应的安全规则下,还能够抽除易燃易爆的气体。

水环泵机组能够广泛地用于化工行业中的真空蒸馏、真空蒸发、脱水结晶等；食品行业中的冷冻干燥等；医药工业的真空干燥等；轻纺工业的涤纶切片等；高空类比试验等的抽真空系统中等。

关于真空泵机组

负载

启动问题。

如果

微型气泵

在启动前它的抽

气口

就已经存在

真空

或排气口已经存在压力，则要考虑泵的另一技术参数：进气口最大启动负载Pis值，排气口最大启动负载Pos值。典型应用事例就是使用微型气泵维持

容器

内的真空或

正压

状态，当容器内的真空或正压低于设定值时，需要泵通电启动，高于设定值时停机。可以在自身能达到的极限

真空度

下启动的产品有：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、VBH系列；可以在自身能达到的最大

输出压力

下启动的产品有：FM系列、FAA系列、PCF系列。

该性能对

制造商

的技术水平要求较高。

2、

微型泵

的

介质

温度问题。

根据通过泵的介质

气体

的温度，选择要普通型的还是要

高温

型的。

3、微型泵的可靠性问题。

根据微型泵出

故障

后产生后果的严重性而定，完全根据自己的要求。优质品的平均无故障连续运行时间都大于1000小时，有的高到数千小时。特别注意，这项

参数

是在

满负荷

、不间断的

运行状态

下测定的，是最恶劣的

工况

，如果实际使用不是满载或连续运行，该数值会高一些，高多少视泵的工况而定。该性能完全是考验制造商的技术实力，从

产品外观

上可以看出一些，如采用特制

电机

而非普通低价电机、

体积

相当的情况下

重量

较重等。根据产品价格也可略知一二。

4、微型泵的

电磁干扰

问题。

如果有精密

电路

控制微型泵，视电路抗干扰能力而定，可能需要订购低电磁干扰的微型泵。

在此我还要补充说明一点

国内

做

微型真空泵

的企业起步较晚，其产品跟国外的还是有一定差距的，据我公司试用国内外产品的情况看来要想找高性能的还是国外的好；但我们也不要盲目的崇尚国外，这些年国内以“气海机电制造公司”为首的一小部分

厂家

的产品已经突飞猛进，

产品质量

已和国外产品相差无几，价格却比国外的便宜。我公司的选项经验就是能在“气海机电制造公司”产品内选型的就在该公司选项，不能的在考虑别的国内公司，最后才考虑国外的产品。