ZJ-300罗茨真空泵设计主要参数

1、对于提高真空度的标识通常有两种方法，一是用绝对压力（即：绝对真空度）标识，二是用相对压力（即：相对真空度）标识。

2、 所谓"绝对压力"是指，真空泵与检测容器相连，经过足够时间连续抽气后，容器内的压力不再继续下降而维持某一定值，这时容器内的气体压力值就是泵的绝对压力。如果容器内绝对没有气体，那么绝对压力就是零，这是理论真空状态。在实际情况中，真空泵的绝对压力值介于0～101.325KPa之间。绝对压力值需要用绝对压力仪表测量，在20℃、海拔高度＝0的地方，仪表的初始值为101.325KPa。简而言之，以“理论真空”作为参照来标识的气压，称为：“绝对压力”或“绝对真空”。

3、"相对真空度"是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。用普通真空表测量。在没有真空的状态下，表的初始值为0。当测量真空时，它的值介于0到－101.325KPa（一般用负数表示）之间。比如，测量值为－30KPa，则表示泵可以抽到比测量地点的大气压低30KPa的真空状态。同一台泵在不同的地点测量，其相对压力值可能是不同的，因为不同测量地点的大气压是不同的，这是各地的海拔高度、温度等不同客观条件造成的。简而言之，以“测量地点大气压”作为参照来标识的气压，称为：“相对压力”或“相对真空”。

4、 国际真空行业通用的、也是最科学的是用绝对压力标识；由于测量相对真空度的方法简便、测量仪器非常普遍、容易买到且价格便宜，因此它也得到广泛应用。当然，理论上二者是可以相互换算的。换算方法如下：绝对压力＝测量地点的气压－相对压力的绝对值。

国产的真空泵型号是根据国家机械行业标准规定编制的，并非各厂自行标注的。

ZJ为罗茨真空泵，又叫机械增压泵，Z是zeng的缩写，表示为“增”压；J是ji的缩写，表示“机"械。

只能找到这个，希望对你有帮助。

设备说明：

JIL-1000型真空镀膜机是立式单开门非平衡磁控反应溅射镀膜机。此设备所沉积的膜层在致密度、均匀度、纯度、硬度等方面均有提高。广泛应用于手表、眼镜、通讯、电子、机械、装饰和交通航空等领域的高档装饰和功能性薄膜。

设备特点

本真空镀膜机镀膜室、阀门、管道均采用不锈钢制造，立式、单开门结构；

1、沉积速率快，温升小，能较好抑制打火及靶中毒现象；

2、溅射释放的高能量使膜层密度和附着力有显著提高；

3、触摸屏+PLC,可实现全自动控制，自动/手动随时切换；

4、镀膜室容积大，装载量大，生产效率高。

5、工件架采用公转结构，可设置自动正反转，产品均匀性好。

6、整机配置合理，抽气速率快，噪声小，耗能低。

7、可根据客户要求配多套靶源

主要技术参数：

●极限真空 5.0 X 10-4Pa

●抽气时间 2 X 10-2Pa≤8min(空载)

●镀制硬膜、黑膜 （膜厚1μm）制程时间大约60分钟左右每炉。

●工件转速1-15r/min连续可调。

●沉积速率 Ti≥500nm/min

●功率 总功率约80KW

●耗 水 量 35m3/h

●设备毛重3500Kg,设备尺寸约5 X 6 X2.3m

设备配置：

镀膜室

真空室结构

不锈钢制造，立式，单开门

真空室规格

Φ1000 X 1000mm

工件架

Φ800 X 850 mm

抽气系统（普通配置）

机械泵 2X-70，罗茨真空泵ZJ-300，油扩散泵KC-500，维持泵2X-8

充气系统

多路质量流量控制仪供气，配备有SMC隔断阀、流量计显示仪

溅射电源

中频溅射电源

可配多套

脉冲偏压电源

1套

电控

触摸屏+PLC，自主设计控制方式镀膜工艺可存储、更换

靶

平面靶4套，90 X 770

真空泵型号及规格的表示方法

根据中华人民共和国机械行业标准JB/T7673-95的规定，国产各种真空泵是由基本型号和辅助型两部分组成，两者中间为一横线。其表达型式为123—456。格中数字123表示基本型号，456表示辅助型号。

国产真空泵的型号通常以表3-2中的汉语拼音字母来表示。若在拼音字母前冠以“2”字，则表示泵在结构上为双级泵。

某些真空泵系列对其抽气速率则以几何级数来分档。其单位是“L/S”。共分18个等级，分别为0.2，0.5，1，2，4，8，15，30，70，150，300，600，1200，2500，5000，10000，20000，40000。真空泵系列有时也可用泵的入口尺寸来表示，其单位是“mm”。由于泵的种类较多，选用时应参阅不同生产厂家的产品说明书式样本，是很重要的。

表3-2 常用真空泵的汉语拼音代号及名称

代 号 名 称 代 号 名 称

W 往复真空泵 Z 油扩散喷射泵（油增压泵）

D 定片真空泵 S 升华泵

X 旋片真空泵 LF 复合式离子泵

H 滑阀真空泵 GL 锆铝吸气剂泵

ZJ 罗茨真空泵（机械增压泵） DZ 制冷机低温泵

YZ 余摆线真空泵 DG 灌注式低温泵

L 溅射离子泵 IF 分子筛吸附泵

XD 单级多旋片式真空泵 SZ 水环泵

F 分子泵 PS 水喷射泵

K 油扩散真空泵 P 水蒸气喷射泵

什么是罗茨泵，罗茨泵的用途，罗茨泵的优点，真空泵，旋片泵，ZJ 罗茨真空泵，利用一对8字型转子在泵壳中作等速反向转动而产生吸气和排气的作用，每个转子用两个轴承支承，利用一对同步齿轮，使两个转子的相对位置始终保持不变，转子与转子，转子与泵体，转子与侧盖之间都有间隙，因工作腔内没有摩擦，无需润滑。泵转子的支承采用了可靠的消隙结构，转动部件作细致的动平衡，并采用高精度斜齿轮，因此，运行平稳，噪声低，使用更加可靠，可在高压差下长期运行。动密封部位采用了本公司专利技术，泵采用进口油封，控制轴封处的跳动量≤0.02mm，因此油封处不漏油。ZJ 型罗茨真空泵，由于采用数控加工中心加工，泵体与侧盖，侧盖与端盖之间都采用“O”型圈密封，圆柱销定位，零件互换性能好，维修方便，泵采用一个进气口，三个排气口的结构设计，便于用户安装使用。罗茨泵不能单独使用，只有串联前级泵才能使用，可选择螺杆泵、油封泵、液环泵作为前级泵，值得一提的是，当选用螺杆泵、液环泵作为前级泵时，特别适合抽除大量可疑性气体的场合。

“罗茨真空泵”——“机械增压泵”（用最普通的真空泵油或者机油即可）通过机械运转，内部空间变化的物理抽真空。

“罗茨油泵”，这个泵我没听说过，不过有一个泵和你这个泵类似叫“油增压泵”，不知道是不是上述饿那个泵。

这种泵一般是竖直站立型，体积较大，内部加注的是增压泵油，下面有电炉加温，通过真空油的油气分子冷热循环带动增加抽速。

再注明一下：增压泵是大类——分罗茨泵和油增压泵两种

真空获得部分是无油的，但是支撑转子的轴承一般是用油润滑，还有齿轮箱的润滑油可能吸入罗茨泵真空腔，因此他可以算是较清洁的真空，但是不算是洁净真空！他一般是作为增压泵使用，可以显著提高真空系统抽速！一般需要配置前级泵！不算是真正意义上的无油泵。成都超迈机械

罗茨泵广泛用于真空采集的各个方面。它们在较低的入口压力下扩展了油封机械真空泵的工作范围。它们具有体积小，抽速大的特点，在1~100pa的入口压力范围内具有较大的抽气压力。速度，特别适用于在低入口压力下需要高抽速的真空系统，如电力互感器的真空干燥，电力电容器，电力变压器，真空浸渍处理，真空热处理，真空冶炼的排气，真空镀膜设备预抽，大型试验风洞的疏散和照明生产线的排气等。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。

气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：变容真空泵（往复真空泵，旋转真空泵）；动量传输泵（分子真空泵，喷射真空泵，扩散泵，扩散喷射泵，离子传输泵）。

气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有四种类型：吸附泵，吸气剂泵，吸气剂离子泵，低温泵。

常用国产真空泵的汉语拼音代号及名称

W 往复真空泵 Z 油扩散喷射泵（油增压泵）

D 定片真空泵 S 升华泵

X 旋片真空泵 LF 复合式离子泵

H 滑阀真空泵 GL 锆铝吸气剂泵

ZJ 罗茨真空泵（机械增压泵） DZ 制冷机低温泵

YZ 余摆线真空泵 DG 灌注式低温泵

L 溅射离子泵 IF 分子筛吸附泵

XD 单级多旋片式真空泵 SZ 水环泵

F 分子泵 PS 水喷射泵

K 油扩散真空泵 P 水蒸气喷射泵