无油干式机械真空泵的原理及简介
无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：
1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；
4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；
5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。
水环真空泵主要是有液体做工作液来完成真空作业
其真空度一般
油式真空泵主要是用油密封工作腔来完成真空作业
其真空度高
干式真空泵主要是用两个密合转子旋转压缩来完成真空作业
其真空度较高
因为真空泵是抽气体的所以比较的时候是在同一抽速下比较容易理解
具体设计的使用环境
工作要求
所选择的泵种类也不相同
很多工艺只
有一种泵适合，所以要有业内人士帮你选择比较好。
真空泵的作用是抽真空，抽出工艺系统中的气体而满足使用要求
真空蒸发、真空浓缩、真空回潮、真空浸渍、真空干燥及真空冶炼等
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；
(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；shenhua09
(3)泵腔内无到需用山东油神华密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；
(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；
(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。
vacuum
pump
利用机械、物理、化学、物理化学等方法对容器进行抽
气，以获得和维持真空的装置。真空泵和其他设备（如真空容器、真空阀、真空测量仪表、连接管路等）组成真空系统，广泛应用于电子、冶金、化工、食品、机械、医药、航天等部门。
按其工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。
气体输送泵包括：1、液环真空泵（水环真空泵）2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等
气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。
目前工业中应用最多的是水环式真空泵和旋片式真空泵等。
干式真空泵是相对于湿式真空泵而言的，例如水环真空泵需要水或者其他溶液做工作液，否则无法工作。旋片真空泵或者滑阀真空泵需要油做介质。而干式真空泵不要任何工作液就可以工作。
干式真空泵目前主要有罗茨干式真空泵真空泵，螺杆干式真空泵，爪式干式真空泵。这三类的转子分别是罗茨转子、螺杆转子、爪式转子。名称也是这么来的。
目前国内用的最多的就是螺杆干式真空泵和爪式干式真空泵。故障率都比较高。
罗茨干式真空泵国内能做的了的一个巴掌数的过来。但是在国外，罗茨干式真空泵最广泛。其实在同样加工精度下，罗茨结构更稳定。
上面说的都是真空度比较高的，都是多级转子组合起来的。
另外，罗茨气冷真空泵也可以称作干式真空泵，但是真空度很低。
